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公開番号2025082067
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-28
出願番号2023195296
出願日2023-11-16
発明の名称液体吐出装置、液体吐出方法及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H10K 71/13 20230101AFI20250521BHJP()
要約【課題】複数の画素を有するディスプレイパネルを製造するための基板に対して液体を吐出する液体吐出装置を提供する。
【解決手段】液体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対して前記基板を相対的に駆動する駆動機構と、前記吐出ヘッドに対して前記基板を相対的に第1方向に走査する走査駆動を複数回行いながら、前記基板上で画素領域となる目標領域に前記液体が供給されるように、前記吐出ヘッド及び前記駆動機構を制御する制御部と、を有し、前記吐出ヘッドは、前記第1方向に交差する第2方向に配列されて前記液体を吐出するための複数のノズルを含み、前記制御部は、前記目標領域の前記第1方向の幅に関する幅情報、及び、前記複数のノズルのうち同時に使用可能なノズル間の前記第2方向における距離に関する距離情報に基づいて、前記目標領域に予め定められた量の前記液体が供給されるように、前記走査駆動を行うべき走査回数を決定する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
複数の画素を有するディスプレイパネルを製造するための基板に対して液体を吐出する液体吐出装置であって、
前記液体を吐出する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドに対して前記基板を相対的に駆動する駆動機構と、
前記吐出ヘッドに対して前記基板を相対的に第１方向に走査する走査駆動を複数回行いながら、各走査駆動において、前記基板上で画素領域となる目標領域に前記液体が供給されるように、前記吐出ヘッド及び前記駆動機構を制御する制御部と、
を有し、
前記吐出ヘッドは、前記第１方向に交差する第２方向に配列されて前記液体を吐出するための複数のノズルを含み、
前記制御部は、前記目標領域の前記第１方向の幅に関する幅情報、及び、前記複数のノズルのうち同時に使用可能なノズル間の前記第２方向における距離に関する距離情報に基づいて、前記目標領域に予め定められた量の前記液体が供給されるように、前記走査駆動を行うべき走査回数を決定する、
ことを特徴とする液体吐出装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記走査回数及び前記距離情報に基づいて、前記複数のノズルから、各走査駆動において前記液体を吐出するノズルの組み合わせを決定する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記複数のノズルのうち互いに隣接するノズルを含まないように、前記ノズルの組み合わせを決定する、ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記走査駆動は、第１走査駆動と、第２走査駆動と、を含み、
前記制御部は、前記第１走査駆動において前記液体を吐出するノズルと、前記第２走査駆動において前記液体を吐出するノズルとが異なるように、前記ノズルの組み合わせを決定する、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記画素領域のサイズ及び配置に関する画素情報から、前記幅情報を取得する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記目標領域に供給される前記液体の前記第１方向の位置ずれの許容値、前記吐出ヘッドから吐出される前記液体の位置のばらつき、及び、前記複数のノズルのうち互いに隣接するノズル間の干渉による吐出量の変動の許容値に基づいて、前記距離情報を求める、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記目標領域に供給される前記液体の前記第１方向の位置ずれの許容値、前記吐出ヘッドから吐出される前記液体の位置のばらつき、前記複数のノズルのうち互いに隣接するノズル間の干渉による吐出量の変動の許容値、及び、前記液体の物性値に関する特性情報に基づいて、前記距離情報を求める、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記吐出量の変動の許容値を前記特性情報で補正して補正許容値を求め、前記位置ずれの許容値、前記ばらつき及び前記補正許容値から前記距離情報を求める、ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記走査回数が予め定められた上限回数以下の回数で決定されるように、各走査駆動において前記複数のノズルのそれぞれから吐出する前記液体の吐出量を決定する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記目標領域は、前記第１方向に沿って配列された、前記基板上で画素領域となる第１目標領域、及び、前記基板上で画素領域となる第２目標領域を含み、
前記吐出ヘッドは、前記第１方向に沿って配列された、前記第１目標領域に対して第１液体を吐出するための複数の第１ノズルを含む第１吐出ヘッド、及び、前記第２目標領域に対して第２液体を吐出するための複数の第２ノズルを含む第２吐出ヘッドを含み、
前記制御部は、各走査駆動において、前記第１液体を吐出する前記第１ノズルの数と前記第２液体を吐出する前記第２ノズルの数とが異なるように、前記ノズルの組み合わせを決定する、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、液体吐出方法及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際に、インクジェット装置（液体吐出装置）を用いて機能素子の材料を基板上に付与してパターンを形成すること（パターニング）が試みられている。インクジェット装置を用いたパターニングは、オンデマンドパターニングが可能であるため材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであるため製造装置が比較的小型になること、材料を大面積に高速に付与できることなどのメリットを有している。
【０００３】
このようなインクジェット装置を表示装置の製造過程に適用することが考えられている。表示装置においては、様々な表示方式が提案され、特に、有機ＥＬ素子を用いた表示装置の開発が進められている。有機ＥＬ素子の材料は高価であるため、材料の使用効率が高く、材料を大面積に高速に付与できるインクジェット装置は、有機ＥＬ素子の製造に好適である。
【０００４】
また、近年では、有機ＥＬ素子の材料における赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色の発光効率の違いに対応するために、ＲＧＢごとに画素の幅（画素幅）を異ならせた有機ＥＬディスプレイが開発されている。このような有機ＥＬディスプレイを製造する場合、インクジェット装置から吐出する液体（各色のインク）の量を、ＲＧＢの画素幅に応じて変更する必要がある。具体的には、画素幅が狭い画素には少量の液体を吐出し、画素幅が広い画素には多量の液体を吐出する必要がある。一方、ＲＧＢの画素幅が異なると、各画素に対してインクジェット装置に求められる液体の吐出精度（着弾精度）が異なり、画素幅の狭い画素については、画素幅が広い画素よりも高い吐出精度が必要となる。
【０００５】
インクジェット装置においては、例えば、吐出ヘッドの第１ノズルから液体を吐出すると、圧力波が液室を伝搬して、第１ノズルの近傍の第２ノズルからの液体の吐出が不安定になるクロストーク現象が発生する。クロストーク現象は、吐出ヘッドの各ノズルの吐出精度を向上させる上で大きな課題とされており、クロストーク現象の影響を低減するための技術が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１には、液体を吐出するノズルを複数回の走査に分けることで、クロストーク現象の影響を低減する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００３－２６６６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しなしながら、従来技術においては、クロストークの影響を低減させることができる一方で、走査回数が増加して生産性の低下を招く虞がある。
【０００８】
本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされ、吐出ヘッドに対して基板を相対的に走査する走査回数を決定するのに有利な技術を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての液体吐出装置は、複数の画素を有するディスプレイパネルを製造するための基板に対して液体を吐出する液体吐出装置であって、前記液体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに対して前記基板を相対的に駆動する駆動機構と、前記吐出ヘッドに対して前記基板を相対的に第１方向に走査する走査駆動を複数回行いながら、各走査駆動において、前記基板上で画素領域となる目標領域に前記液体が供給されるように、前記吐出ヘッド及び前記駆動機構を制御する制御部と、を有し、前記吐出ヘッドは、前記第１方向に交差する第２方向に配列されて前記液体を吐出するための複数のノズルを含み、前記制御部は、前記目標領域の前記第１方向の幅に関する幅情報、及び、前記複数のノズルのうち同時に使用可能なノズル間の前記第２方向における距離に関する距離情報に基づいて、前記目標領域に予め定められた量の前記液体が供給されるように、前記走査駆動を行うべき走査回数を決定する、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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