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公開番号2025090070
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-17
出願番号2023205048
出願日2023-12-05
発明の名称ワークの製造装置と、ワークの製造方法
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類G11B 21/21 20060101AFI20250610BHJP(情報記憶)
要約【課題】脆弱部品にクラックが生じることを抑制でき、かつ、脆弱部品の正常性が保証されるワークの製造装置を提供する。
【解決手段】ワーク製造装置は、シリンダ機構55と、電空レギュレータ60と、荷重センサ65と、撮像装置66などを含んでいる。シリンダ機構55は、電空レギュレータ60から供給される駆動エアによって作動する。脆弱部品の一例である圧電素子17が吸着部50に吸着され、部品搭載部の一例としてのピエゾ搭載部15に配置される。圧電素子17が配置されたときの駆動エアの圧力が記録部35に入力される。また圧電素子17が押されたときの押圧荷重が記録部35に入力される。さらに撮像装置66によって圧電素子17が撮影され、画像に関する情報(例えばクラックの有無等)が記録部35に記録される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
脆弱部品が配置される部品搭載部を備えたワーク、の製造装置であって、
駆動エアによって作動するシリンダ機構と、
前記駆動エアを前記シリンダ機構に供給する電空レギュレータと、
前記シリンダ機構に設けられ、前記脆弱部品を吸着する吸着部と、
前記吸着部によって前記脆弱部品が押されたときに前記脆弱部品が受けた押圧荷重を検出する荷重センサと、
前記部品搭載部に配置された前記脆弱部品を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置によって撮影された前記脆弱部品の画像を処理する画像検査部と、
前記脆弱部品が前記吸着部によって押されたときの前記駆動エアの圧力に関する情報を記録し、前記押圧荷重に関する情報を記録し、前記画像検査部によって画像処理された情報を記録する記録部と、
を具備したことを特徴とするワークの製造装置。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
請求項１に記載された製造装置において、
前記脆弱部品にクラックが生じたか否かの情報が前記記録部に記録される製造装置。
【請求項３】
請求項１に記載された製造装置において、
前記記録部に記録された前記情報を表示する表示部をさらに有した製造装置。
【請求項４】
脆弱部品が配置される部品搭載部を備えたワーク、の製造方法であって、
前記脆弱部品を吸着部に吸着し、
吸着された前記脆弱部品を、電空レギュレータからの駆動エアによって作動するシリンダ機構によって前記部品搭載部に配置し、
前記部品搭載部に配置された前記脆弱部品を前記吸着部が押したときの前記駆動エアに関する情報を記録部に記録し、
前記脆弱部品が受けた押圧荷重を検出し、
前記押圧荷重に関する情報を前記記録部に記録し、
前記部品搭載部に配置された前記脆弱部品を撮像装置によって撮影し、
撮影された画像に関する情報を前記記録部に記録する、
ことを特徴とするワークの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載された製造方法において、
前記押圧荷重が前記電空レギュレータにフィードバックされ、前記押圧荷重が所定の範囲となるように前記シリンダ機構を制御する製造方法。
【請求項６】
請求項４に記載された製造方法において、
前記撮像装置によって撮影された前記脆弱部品にクラックが生じていた場合、その時点での押圧荷重が電空レギュレータにフィードバックされ、前記駆動エアの圧力をクラックが生じない値に調整する製造方法。
【請求項７】
請求項４に記載された製造方法において、
前記記録部に記録された情報に基づいて、前記脆弱部品が搭載された時点でクラックが生じていないことが保証される製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子等の脆弱部品を有するワークの製造方法と製造装置とに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ等の情報処理装置にディスク装置が使用されている。ディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームにディスク装置用サスペンションが設けられている。この明細書では、ディスク装置用サスペンションを単にサスペンションと称すことがある。
【０００３】
ディスク装置用サスペンションは、ベースプレートと、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに沿って配置されたフレキシャ(flexure)などを備えている。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部に、スライダが設けられている。スライダには、ディスクに記録されたデータの読取りや書込み等のアクセスを行なうための素子が設けられている。
【０００４】
ディスクの高記録密度化に対応するためには、ディスクの記録面に対して磁気ヘッドをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。このため特許文献１や特許文献２に開示されているように、アクチュエータとしての圧電素子（Piezoelectric Element）が搭載されたサスペンションが開発されている。これ以降、圧電素子を「ピエゾ」(piezo)と称すことがある。ディスク装置用サスペンションはワークの一例であり、圧電素子は脆弱部品の一例である。
【０００５】
ワークに使われる圧電素子（ピエゾ）は、ワークの部品搭載部に配置される。この圧電素子を部品搭載部に固定する前に、接着剤が部品搭載部に塗布される。この接着剤の上に圧電素子が置かれたのち、接着剤が硬化することにより、圧電素子が部品搭載部に固定される。
【０００６】
小さな電子部品をワークに配置するために、例えば特許文献３に記載されているような吸着ノズルを備えた部品実装装置を使用することが可能である。しかし圧電素子は厚さが例えば数十μｍから数百μｍと薄く、しかも大変にもろいため、僅かな外力が加わっただけでもクラックが生じてしまうことがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００２－５０１４０号公報
特開２０１１－２１６１６０号公報
特開２００６－２８６７８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一連の製造工程を経て完成したサスペンション等のワークは、最終的に検査工程によって検査され、異常が無いか否かが判断される。完成したワークには様々な電子部品が配置されている。前記検査工程においてワークの電気的特性や各種の項目が検査される。完成したワークに異常が発見された場合、その原因を探るために、ワークの製造過程などが追跡される。製造工程に問題があることが判明した場合には、その問題を解決すべく処理が行われる。
【０００９】
サスペンション等のワークは様々な工程を経て製造される。しかも大量のワークが製造される。このためワークの不良品がどの製造工程で生じたかを特定することは容易でない。本発明者達が鋭意研究を行なったところ、圧電素子等の脆弱部品にクラックが生じている事例が少なからず見られた。
【００１０】
クラックが生じた圧電素子は、電気的な特性に異常が認められるため、電気的な検査によって発見することが可能である。しかし完成したワークを検査し不良品が発見されたとしても、それまでに大量のワークが製造されてしまう。このため多量の不良品が発生してしまう可能性がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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