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公開番号2025103481
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023220903
出願日2023-12-27
発明の名称押圧部材および保持装置
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250702BHJP(測定;試験)
要約【課題】押圧対象への均一な押圧と、該押圧対象への効率的な加熱または冷却を両立することができる押圧部材および保持装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る押圧部材は、押圧対象を押圧する押圧部材であって、外部からの荷重を受ける被押圧部と、被押圧部から延び、押圧対象に当接して押圧する押圧部と、を備え、押圧部には、延伸方向に貫通する複数の貫通孔と、貫通孔の貫通方向と直交する方向に延びる孔部と、が形成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
押圧対象を押圧する押圧部材であって、
外部からの荷重を受ける被押圧部と、
前記被押圧部から延び、前記押圧対象に当接して押圧する押圧部と、
を備え、
前記押圧部には、延伸方向に貫通する複数の貫通孔と、
前記貫通孔の貫通方向と交差する方向に延びる孔部と、
が形成される、
ことを特徴とする押圧部材。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
前記複数の貫通孔は、格子状に配列されてなる、
ことを特徴とする請求項１に記載の押圧部材。
【請求項３】
前記孔部は、前記端面に形成されるスリットである、
ことを特徴とする請求項１に記載の押圧部材。
【請求項４】
前記孔部は、前記端面に連なる側面に形成される貫通孔である、
ことを特徴とする請求項１に記載の押圧部材。
【請求項５】
前記被押圧部から前記押圧部側にかけて延びる空間を形成する凹部を有し、
前記押圧部は、前記凹部によって空間が形成されるとともに、前記被押圧部側とは反対側に設けられる底部を有する有底筒状をなし、
前記孔部は、前記凹部を形成する壁面に形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の押圧部材。
【請求項６】
フレームと、
前記フレームを転動自在に支持するベースプレートと、
前記フレームおよび前記ベースプレートの間に設けられ、押圧対象を押圧する押圧部材と、
を備え、
前記押圧部材は、
外部からの荷重を受ける被押圧部と、
前記被押圧部から延び、前記押圧対象に当接して押圧する押圧部と、
を有し、
前記押圧部には、延伸方向に貫通する複数の貫通孔と、
前記貫通孔の貫通方向と交差する方向に延びる孔部と、
が形成される、
ことを特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、押圧部材および保持装置に関するものである。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路などの検査対象の導通状態検査や動作特性検査を行う際には、検査対象と検査用信号を出力する回路基板を有する信号処理装置との間の電気的な接続を図るために、複数のコンタクトプローブが用いられる。この複数のコンタクトプローブは、リッドと呼ばれる検査対象保持装置にセットされたり、ソケットに収容されたりする（例えば、特許文献１、２を参照）。この際、リッドやソケットには、検査対象をコンタクトプローブに押し付ける押圧部材が設けられる。押圧部材には、例えば、検査対象を加熱または冷却する媒体（液体または気体）を通過させる貫通孔が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－１６２２５４号公報
特公平１－９７３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述した押圧部材に形成される貫通孔は、特許文献１、２に記載されているように、当該押圧部材の中央部に設けられている。この際、加熱または冷却の効率的を向上させるために貫通孔の大きさを大きくすると、検査対象への押圧が不安定となる場合があった。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、押圧対象への均一な押圧と、該押圧対象への効率的な加熱または冷却を両立することができる押圧部材および保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る押圧部材は、押圧対象を押圧する押圧部材であって、外部からの荷重を受ける被押圧部と、前記被押圧部から延び、前記押圧対象に当接して押圧する押圧部と、を備え、前記押圧部には、延伸方向に貫通する複数の貫通孔と、前記貫通孔の貫通方向と交差する方向に延びる孔部と、が形成される、ことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係る押圧部材は、上記発明において、前記複数の貫通孔は、格子状に配列されてなる、ことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る押圧部材は、上記発明において、前記孔部は、前記端面に形成されるスリットである、ことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る押圧部材は、上記発明において、前記孔部は、前記端面に連なる側面に形成される貫通孔である、ことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る押圧部材は、上記発明において、前記被押圧部から前記押圧部側にかけて延びる空間を形成する凹部を有し、前記押圧部は、前記凹部によって空間が形成されるとともに、前記被押圧部側とは反対側に設けられる底部を有する有底筒状をなし、前記孔部は、前記凹部を形成する壁面に形成される、ことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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