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公開番号2025091040
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-18
出願番号2023206003
出願日2023-12-06
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人東京アルパ特許事務所
主分類B23Q 17/00 20060101AFI20250611BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】必要な情報の選択や履歴情報の解析を短時間で容易に行うことができ、加工装置の稼働状況を直感的に把握すること。
【解決手段】チャックテーブルと、ウェーハ(被加工物)を加工する加工ユニット(粗研削ユニットと仕上げ研削ユニット)と、各種情報を表示するディスプレイと、各構成要素を制御する制御ユニットとを含んで構成される加工装置において、制御ユニットは、ウェーハに対して加工を実施した加工履歴を記憶する加工履歴記憶部と、メンテナンスを実施したメンテナンス履歴を記憶するメンテナンス履歴記憶部と、エラーが発生したエラー履歴を記憶するエラー履歴記憶部と、加工履歴記憶部とメンテナンス履歴記憶部及びエラー履歴記憶部がそれぞれ記憶する履歴情報のカレンダー形式での表示をディスプレイに指令する表示指令部とを備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、
各種情報を表示するディスプレイと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、
を含んで構成される加工装置であって、
前記制御ユニットは、
被加工物に対して加工を実施した加工履歴を記憶する加工履歴記憶部と、
メンテナンスを実施したメンテナンス履歴を記憶するメンテナンス履歴記憶部と、
エラーが発生したエラー履歴を記憶するエラー履歴記憶部と、
前記加工履歴記憶部と前記メンテナンス履歴記憶部及び前記エラー履歴記憶部がそれぞれ記憶する履歴情報のカレンダー形式での表示を前記ディスプレイに指令する表示指令部と、
を備えることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記表示指令部は、前記加工履歴、前記メンテナンス履歴及び前記エラー履歴の各項目のそれぞれ異なるマークによるカレンダー形式での表示を前記ディスプレイに指令することを特徴とする請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
前記制御ユニットは、メンテナンス管理部をさらに備え、
該メンテナンス管理部は、
メンテナンスが必要なメンテナンス項目を記憶するメンテナンス項目記憶部と、
前記メンテナンス項目のメンテナンス周期を記憶するメンテナンス周期記憶部と、
前記メンテナンス項目と前記メンテナンス周期とに基づいて次回のメンテナンスが必要なメンテナンス日付を算出するメンテナンス日付算出部と、
を備え、
前記表示指令部は、前記加工履歴、前記メンテナンス履歴、前記エラー履歴及び前記メンテナンス日付の各項目のカレンダー形式での表示を前記ディスプレイに指令することを特徴とする請求項１記載の加工装置。
【請求項４】
前記表示指令部は、前記加工履歴、前記メンテナンス履歴、前記エラー履歴及び前記メンテナンス日付の各項目のそれぞれ異なるマークによるカレンダー形式での表示を前記ディスプレイに指令することを特徴とする請求項３記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブルに保持されたウェーハなどの被加工物を加工する加工装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、携帯電話（スマートフォン）やパソコン（パーソナルコンピュータ）などの電子機器に用いられる半導体チップの製造工程においては、薄い円板状の半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」と称する）の表面が格子状に配列されたストリートと称される分割予定ラインによって多数の矩形領域に区画され、各矩形領域にＩＣやＬＳＩなどのデバイスがそれぞれ実装されている。そして、半導体チップの小型化と軽量化のために、ウェーハの裏面（デバイスが実装された面とは反対側の面）が研削装置によって研削されて該ウェーハが所定の厚みまで薄化された後、このウェーハをダイサーと称される切削装置の切削ブレードで分割予定ラインに沿って切削することによって、複数の半導体チップが得られる。
【０００３】
ところで、研削装置や切削装置などの加工装置においては、ウェーハの品種に合わせた加工条件を設定して該ウェーハの加工を行うため、加工装置には複数の加工条件が登録されている（例えば、特許文献１参照）。また、ウェーハを加工した際の加工履歴（ログ）を記録し、この加工履歴が品質の安定性確認や不具合発生時の状況調査に使用されている。
なお、加工装置に登録される加工履歴（ログ）には、上記のような加工履歴の他、切削ブレードや研削ホイールなどの消耗品の交換などのメンテナンス履歴や、加工時に発生したエラーのエラー履歴などが含まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１４－０１８９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来、加工装置に登録される加工履歴やメンテナンス履歴、エラー履歴などは、文字情報によって一覧表示されるのが一般的であるため、必要な情報の選択や履歴情報の解析に時間と手間が掛かるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、必要な情報の選択や履歴情報の解析を短時間で容易に行うことができ、稼働状況を直感的に把握することができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための請求項１発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、各種情報を表示するディスプレイと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を含んで構成される加工装置であって、前記制御ユニットは、被加工物に対して加工を実施した加工履歴を記憶する加工履歴記憶部と、メンテナンスを実施したメンテナンス履歴を記憶するメンテナンス履歴記憶部と、エラーが発生したエラー履歴を記憶するエラー履歴記憶部と、前記加工履歴記憶部と前記メンテナンス履歴記憶部及び前記エラー履歴記憶部がそれぞれ記憶する履歴情報のカレンダー形式での表示を前記ディスプレイに指令する表示指令部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記表示指令部は、前記加工履歴、前記メンテナンス履歴及び前記エラー履歴の各項目のそれぞれ異なるマークによるカレンダー形式での表示を前記ディスプレイに指令することを特徴とする。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記制御ユニットは、メンテナンス管理部をさらに備え、該メンテナンス管理部は、メンテナンスが必要なメンテナンス項目を記憶するメンテナンス項目記憶部と、前記メンテナンス項目のメンテナンス周期を記憶するメンテナンス周期記憶部と、前記メンテナンス項目と前記メンテナンス周期とに基づいて次回のメンテナンスが必要なメンテナンス日付を算出するメンテナンス日付算出部と、を備え、前記表示指令部は、前記加工履歴、前記メンテナンス履歴、前記エラー履歴及び前記メンテナンス日付の各項目のカレンダー形式での表示を前記ディスプレイに指令することを特徴とする。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記表示指令部は、前記加工履歴、前記メンテナンス履歴、前記エラー履歴及び前記メンテナンス日付の各項目のそれぞれ異なるマークによるカレンダー形式での表示を前記ディスプレイに指令することを特徴とする。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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