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公開番号2025109404
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-25
出願番号2024003271
出願日2024-01-12
発明の名称ワークチャック装置及びワーク加工方法
出願人株式会社デンソー
代理人弁理士法人サトー
主分類B24B 37/30 20120101AFI20250717BHJP(研削;研磨)
要約【課題】ワークの加工中に、電解液や研削屑が吸着部とワークとの間に侵入することを防止できるワークチャック装置を提供する。
【解決手段】スピンドル1に着脱可能に連結されてウエハ5を吸着する真空チャック2を備え、その真空チャック2は、スピンドル1を介してウエハ5に電圧を印加するための導電ポーラス6を有し、砥石9側がアースに接続される。また、真空チャック2では、吸着されたウエハ5の外周側に複数のエアパージ口19を設け、スピンドル1を介して正圧エアカプラ22より正圧エアを供給する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
スピンドル（１）に着脱可能に連結されてワーク（５）を吸着する吸着部（２）を備え、前記ワークを回転加工するためのワークチャック装置であって、
前記吸着部は、
前記スピンドルを介して、前記ワークに電圧を印加するための正極用又は負極用電極（６）と、
負圧エアを、前記スピンドルを介して供給するための負圧エア供給部（２１）と、
前記負圧エアにより前記ワークを吸着する吸着口（１０）と、
正圧エアを、前記スピンドルを介して供給するための正圧エア供給部（２２）と、
吸着されたワークの外周側に複数設けられ、前記外周側に前記正圧エアを供給する正圧エア供給口（１９）と、を備えるワークチャック装置。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記吸着部は、前記ワークを吸着する面側に形成された溝部（５０）を備え、
前記正圧エア供給口は、前記溝部に形成されている請求項１記載のワークチャック装置。
【請求項３】
前記負圧エアが流通する経路（１１）中に、前記ワークの加工に使用される電解液を分離して貯留する電解液分離部（１２）が設けられている請求項１記載のワークチャック装置。
【請求項４】
前記電解液分離部は、前記負圧エアを流通させる流通口を閉止した状態で、貯留されている電解液を外部に排水する排水機構（３２）を備えている請求項３記載のワークチャック装置。
【請求項５】
前記吸着部が前記スピンドルより分離された際に、前記ワークを吸着するための負圧エアを供給する補助負圧エア供給部（２４）を備える請求項１記載のワークチャック装置。
【請求項６】
前記負圧エア供給部を介して、前記吸着部を洗浄するための洗浄液が供給される請求項１記載のワークチャック装置。
【請求項７】
前記負圧エア供給部を介して、洗浄されたワークを乾燥させるための乾燥用エアが供給される請求項６記載のワークチャック装置。
【請求項８】
着脱可能に連結された吸着部によりワークを吸着し、前記ワークに電圧を印加しながら回転加工する方法であって、
前記スピンドルを介して負圧エアを供給することで前記ワークを吸着し、
前記スピンドルを介して正圧エアを吸着されたワークの外周側の複数個所に供給しながら、前記ワークを加工するワーク加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに電圧を印加しながら加工するために吸着するチャック装置、及び前記ワークの加工方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
ＥＣＭＧ／Ｐ（Electro Chemical Mechanical Grinding/Polishing）加工とは、図２１に示すように、電極を内蔵した真空チャックにより、ワークとしての例えばシリコン等の半導体ウエハを吸着し、ウエハの表面を陽極酸化することで加工面を軟化させ、高速・高平坦度な鏡面加工を行う方法である。真空チャックによりチャックされたウエハに対しては、外周の銅リングからチャック用電極に通電し、研削や研磨加工を行う。なお、特許文献１は、真空チャック装置の一例が開示されている公報である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１４２６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ウエハの加工中に電解液が飛散して、銅リングと真空チャックを構成するＳＵＳインターフェース間、または吸着面とウエハとの隙間からポーラスチャックの内部に電解液が侵入すると、図２２に示すように、ポーラスチャックとＳＵＳインターフェースとが導通してしまう。すると、加工に必要な電流をウエハに供給できなくなり、ウエハの加工精度や加工時間に影響を与えることになる。また、研削屑がポーラスチャックの内部に侵入して堆積すると、研削屑を吸着面とウエハとの間に挟んだ状態で加工することになり、ウエハの平坦度が悪化したり、割れの原因となってしまう。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ワークの加工中に、電解液や研削屑が吸着部とワークとの間に侵入することを防止できるワークチャック装置及びワーク加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載のワークチャック装置は、スピンドル（１）に着脱可能に連結されてワーク（５）を吸着し、ワークを回転加工するための吸着部（２）を備える。その吸着部は、スピンドルを介してワークに電圧を印加するための正極用又は負極用電極（６）を有しており、負極用又は正極用電極は、ワークを加工するツール側等に設けられている。また、吸着部では、スピンドルを介して正圧エア供給部（２２）より、ワークの外周側に複数設けられた正圧エア供給口（１９）に正圧エアを供給する。
【０００７】
このように構成すれば、ワークを吸着した吸着部をスピンドルに結合し、ワークに電圧を印加しながら回転加工する際に、電解液や研削屑は正圧エアによってワークの外周側より除去される。したがって、それらが吸着部とワークとの間に侵入することを防止でき、ワークの加工精度を向上させることが可能になる。
【０００８】
請求項２記載のワークチャック装置によれば、吸着部のワークを吸着する面側に溝部（５０）を形成し、正圧エア供給口を溝部に形成する。このように構成すれば、正圧エアを溝部に沿ってワークの外周側に供給することができる。
【０００９】
請求項３記載のワークチャック装置によれば、負圧エアが流通する経路中に、ワークの加工に使用される電解液を分離して貯留する電解液分離部（１２）を設ける。すなわち、負圧エアが流通する経路には電解液も吸い込まれて流通するので、電解液分離部にて吸い込まれた電解液を分離して貯留することができる。
【００１０】
請求項４記載のワークチャック装置によれば、電解液分離部は、排水機構（３２）によって、負圧エアを流通させる流通口を閉止した状態で、貯留されている電解液を外部に排水することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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