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公開番号2025116595
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-08
出願番号2024011107
出願日2024-01-29
発明の名称圧電振動片集合ウェハおよび圧電振動片
出願人株式会社大真空
代理人
主分類H03H 3/02 20060101AFI20250801BHJP(基本電子回路)
要約【課題】圧電振動片の製造途中に、圧電振動片が支持体部から脱落することを抑制できる圧電振動片集合ウェハおよび該圧電振動片集合ウェハから得られた圧電振動片を提供する。
【解決手段】
複数の圧電振動片部2と、圧電振動片部2を支持する支持体部3と、個々の圧電振動片部2と支持体部3とを連結する連結部4とを有する圧電振動片集合ウェハ1であって、第1連結部4Aは、その厚み方向と直交する主面21Aと、主面21Aに設けられ、厚み方向に凹となり、第1連結部4Aの幅方向を長手方向とする凹部5Aと、凹部5Aの長手方向の両側から、凹部5Aを挟むように設けられた第1幅狭部46Aおよび第2幅狭部47Aと、幅方向の少なくとも一方の端面に設けられた補強部48Aとを有し、補強部48Aは、第1連結部4Aの幅方向の端部に向かって漸次薄肉となる形状を有する圧電振動片集合ウェハ1とした。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
複数の圧電振動片部と、前記圧電振動片部を支持する支持体部と、個々の前記圧電振動片部と前記支持体部とを連結する連結部とを有する圧電振動片集合ウェハであって、
前記連結部は、
その厚み方向と直交する主面と、
前記主面に設けられ、前記厚み方向に凹となり、前記連結部の幅方向を長手方向とする凹部と、
前記凹部の長手方向の両側から、前記凹部を挟むように設けられた第１幅狭部および第２幅狭部と、
前記連結部の幅方向の少なくとも一方の端面に設けられた補強部とを有し、
前記補強部は、前記連結部の幅方向の端部に向かって漸次薄肉となる形状を有する
圧電振動片集合ウェハ。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
前記一方の端面とは前記連結部の幅方向において反対側となる他方の端面と、前記圧電振動片部の外周面とが、平面視で連続した直線状に形成され、
前記連結部は、前記圧電振動片部側から前記支持体部側にかけて漸次幅広となる拡幅部を有する
請求項１記載の圧電振動片集合ウェハ。
【請求項３】
前記凹部は、底部を有し、前記凹部の長手方向と直交する短手方向の断面視において前記底部を１つの頂点とした略三角形の形状を有する
請求項１記載の圧電振動片集合ウェハ。
【請求項４】
請求項１から３いずれかに記載の圧電振動片集合ウェハから得られた
圧電振動片。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体に複数の圧電振動片が保持されている圧電振動片集合ウェハおよび該圧電振動片集合ウェハから得られた圧電振動片に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
圧電デバイスとして使用される圧電振動片の製造においては、水晶ウェハをエッチングして多数の圧電振動片を得る方法が知られている。このとき、効率化のため多数の圧電振動片が連結部を介して支持体部に支持された構成とし、この連結部から個々の圧電振動片を折り取って個片化する方法が用いられる。
【０００３】
このような圧電振動片集合ウェハとして、支持体部から水晶で形成された圧電振動片を連結部の所で折り取るに際し、その折り取りを容易にするため、連結部に溝状のスリットを形成したものが開示されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
実開平０３－０３９９２２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年は、より高い周波数に対応した圧電振動片が通信モジュール等に使用されている。このとき、例えば、圧電振動片としてＡＴカット水晶振動片を用いた場合、圧電振動片の厚みは、周波数が高くなるほど薄くなる傾向にある。しかし、得ようとする圧電振動片の厚みが薄くなるにつれて、特許文献１に記載されているようなスリットを連結部に設ける技術を適用した場合、スリットが形成された部分の連結部の強度が低くなり、製造途中で連結部が折れて圧電振動片が支持体部から脱落することがあった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、圧電振動片の製造途中に、圧電振動片が支持体部から脱落することを抑制できる圧電振動片集合ウェハおよび該圧電振動片集合ウェハから得られた圧電振動片を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、複数の圧電振動片部と、前記圧電振動片部を支持する支持体部と、個々の前記圧電振動片部と前記支持体部とを連結する連結部とを有する圧電振動片集合ウェハであって、前記連結部は、その厚み方向と直交する主面と、前記主面に設けられ、前記厚み方向に凹となり、前記連結部の幅方向を長手方向とする凹部と、前記凹部の長手方向の両側から、前記凹部を挟むように設けられた第１幅狭部および第２幅狭部と、前記連結部の幅方向の少なくとも一方の端面に設けられた補強部とを有し、前記補強部は、前記連結部の幅方向の端部に向かって漸次薄肉となる形状を有する圧電振動片集合ウェハであることを特徴としている。
【０００８】
すなわち、本発明の圧電振動片集合ウェハは、連結部の幅方向を長手方向とする凹部と、凹部の長手方向の両側から、凹部を挟むように設けられた第１幅狭部および第２幅狭部と、連結部の幅方向の少なくとも一方の端部に設けられた補強部とを有する構成である。このような構成により、凹部（スリット）を設けた連結部の強度が向上し、製造途中において連結部が折れることによって圧電振動片部が支持体部から脱落することを抑制することができる。
【０００９】
また、前記一方の端面とは前記連結部の幅方向において反対側となる他方の端面と、前記圧電振動片部の外周面とが、平面視で連続した直線状に形成され、前記連結部は、前記圧電振動片部側から前記支持体部側にかけて漸次幅広となる拡幅部を有する構成であってもよい。このような構成であれば、連結部において凹部に沿って破断することを狙っているにも関わらず、連結部と支持体部との接続部付近で破断されるおそれを低減できる。すなわち、圧電振動片の破断形状および外観形状を制御することができる。
【００１０】
また、前記凹部は、底部を有し、前記凹部の長手方向と直交する短手方向の断面視で前記底部を１つの頂点とした略三角形の形状を有する構成であってもよい。このような構成であれば、圧電振動片の折り取りの際に応力を凹部の底部に集中させて、より確実に凹部に沿って連結部を破断することができる。すなわち、圧電振動片の破断面の形状をより確実に制御することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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