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公開番号2025119915
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-15
出願番号2024015039
出願日2024-02-02
発明の名称保持具の製造方法及びそれに用いる治具
出願人富士紡ホールディングス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類B24B 37/30 20120101AFI20250807BHJP(研削;研磨)
要約【課題】枠材の内周壁や保持パッドの保持面が接着剤により汚染されることを抑制した保持具の製造方法を提供する。
【解決手段】シート状の治具を、中央部に貫通孔を有する枠材の前記貫通孔内に配置する配置工程S11と、前記枠材の上面に接着剤を塗布する塗布工程S12と、前記治具を前記貫通孔内から除去する除去工程S13と、前記枠材を保持パッドに前記接着剤を介して接着する接着工程S14と、を含む、保持具の製造方法であって、前記保持パッドは、被研磨物を保持するための保持面を有し、前記保持面は、前記枠材と接着する面を有し、前記配置工程S11において、前記治具の外周壁と、前記枠材の内周壁と、は少なくとも一部が接する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
シート状の治具を、中央部に貫通孔を有する枠材の前記貫通孔内に配置する配置工程と、
前記枠材の上面に接着剤を塗布する塗布工程と、
前記治具を前記貫通孔内から除去する除去工程と、
前記枠材を保持パッドに前記接着剤を介して接着する接着工程と、
を含む、保持具の製造方法であって、
前記保持パッドは、被研磨物を保持するための保持面を有し、前記保持面は、前記枠材と接着する面を有し、
前記配置工程において、前記治具の外周壁と、前記枠材の内周壁と、は少なくとも一部が接する、製造方法。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
シート状の治具を、被研磨物を保持するための保持面を有する保持パッドの前記保持面上に、前記保持面の内縁部が露出するように配置する配置工程と、
前記保持面の前記内縁部に接着剤を塗布する塗布工程と、
中央部に貫通孔を有する枠材を前記保持パッドに前記接着剤を介して接着する接着工程と、
前記治具を前記保持面から除去する除去工程と、
を含む、保持具の製造方法であって、
前記接着工程において、前記治具の外周壁と、前記枠材の内周壁と、は少なくとも一部が接する、製造方法。
【請求項３】
前記塗布工程において、前記治具の上面に、少なくとも前記接着剤の一部を塗布する、
請求項１に記載の保持具の製造方法。
【請求項４】
前記塗布工程において、前記治具の上面に、少なくとも前記接着剤の一部を塗布する、
請求項２に記載の保持具の製造方法。
【請求項５】
前記治具が、その上面に前記治具の外周側から中心側に向かって下方に傾斜する面を有する、
請求項１～４のいずれか一項に記載の保持具の製造方法。
【請求項６】
前記傾斜する面の傾斜角度が、１°以上３０°以下である、
請求項５に記載の保持具の製造方法。
【請求項７】
前記傾斜する面の断面が、直線状である、
請求項５に記載の保持具の製造方法。
【請求項８】
前記接着剤が、光硬化性樹脂である、
請求項１～４のいずれか一項に記載の保持具の製造方法。
【請求項９】
前記治具の外周壁の厚さが、前記枠材の内周壁の厚さに対し、９０％以上１１０％以下である、
請求項１～４のいずれか一項に記載の保持具の製造方法。
【請求項１０】
前記治具の前記外周壁の形状と、前記枠材の前記内周壁の形状と、が同一である、
請求項１～４のいずれか一項に記載の保持具の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持具の製造方法及びそれに用いる治具に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体デバイス、電子部品等の材料、特に、Ｓｉ基板（シリコンウェハ）、ＧａＡｓ（ガリウム砒素）基板、レンズ、平行平面板、反射ミラー等の光学材料やＬＣＤ（液晶ディスプレイ）用基板等の薄型基板（被研磨物）の表面（加工面）には、平坦性が求められる。そのような表面を得るために、機械研磨（ラッピング）や、研磨パッドを研磨スラリーと共に用いる化学機械研磨（ＣＭＰ）が行われている。
【０００３】
このような研磨加工では、一般的に、被研磨物を保持するための保持具が用いられる。保持具は、被研磨物を吸着する保持面を有する保持パッドと、保持パッドの表面内縁に固定された枠材とを含み、被研磨物の横ずれ等を抑制することができる。例えば、特許文献１には、被研磨物の研磨される面とは反対側の面を保持する保持シートと、前記保持シート上に固定されており且つ研磨加工時に被研磨物の側部を保持する枠材と、前記枠材を前記保持シート上に固定するための接着剤とを含む、被研磨物の研磨加工時に被研磨物を保持するための保持具が開示されている。
【０００４】
このような保持具において、一般的に保持パッドと枠材とは、接着剤を介して固定される。そのような接着剤として、例えば基材の両面に接着剤を塗布した両面テープや、接着剤をテープ状に加工した接着テープ等が採用されている。例えば、特許文献１には、ポリウレタン発泡シートと枠材とを熱溶着性接着剤を介して１２０℃、圧力１．５ＭＰaで熱圧着させて接着させた保持具の製造方法において、熱溶着型接着剤はシート状であることが好ましいことが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第７１３９１２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
接着剤の接着性、耐薬品性、その他の事情により両面テープや接着テープに加工できない接着剤を採用する際には、液体状の接着剤を採用することになる。そのような液体状の接着剤を採用する場合には、枠材と保持パッドとの接着性を十分に確保するために接着剤をその枠材の接着面に正確に塗布する必要がある。その接着面に十分に接着剤が塗布されていないと、被研磨物を研磨する際に、被研磨物と枠材との接触により、枠材が容易に剥離してしまう。また、枠材と保持パッドとの接着が十分でなく隙間がある場合、化学機械研磨においてその隙間から研磨スラリーが侵入し、接着剤が研磨スラリーに溶解する結果、被研磨物を汚染してしまう。一方、枠材と保持パッドとを十分に接着させるために、接着剤を塗布する面積を十分に確保するように塗布しようとすると、接着剤が枠材の内周壁や保持パッドの保持面における被研磨物と接触する領域にも付着し、その付着した接着剤の乾燥又は硬化物が被研磨物を損傷するスクラッチの原因となる。また、化学機械研磨の場合、研磨スラリーにその接着剤の乾燥又は硬化物の一部が溶解し、不純物となり、被研磨物を汚染するおそれもある。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、枠材の内周壁や保持パッドの保持面が接着剤により汚染されることを抑制した保持具の製造方法、及びそれに用いる治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討したところ、シート状の治具を用いて特定の工程を経ることにより保持具を製造することで上記目的を達成し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち、本発明は以下のとおりである。
【００１０】
［１］
シート状の治具を、中央部に貫通孔を有する枠材の前記貫通孔内に配置する配置工程と、
前記枠材の上面に接着剤を塗布する塗布工程と、
前記治具を前記貫通孔内から除去する除去工程と、
前記枠材を保持パッドに前記接着剤を介して接着する接着工程と、
を含む、保持具の製造方法であって、
前記保持パッドは、被研磨物を保持するための保持面を有し、前記保持面は、前記枠材と接着する面を有し、
前記配置工程において、前記治具の外周壁と、前記枠材の内周壁と、は少なくとも一部が接する、製造方法。
（【００１１】以降は省略されています）

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