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公開番号2025119933
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-15
出願番号2024015069
出願日2024-02-02
発明の名称感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、パターン形成方法
出願人信越化学工業株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G03F 7/075 20060101AFI20250807BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】遮蔽機能を備えるとともに、ワニスでの分散安定性があり、フィルムでの凝集物を抑えられるとともに微細なパターン形成可能な感光性樹脂皮膜を与え得る感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、及び該組成物を用いるパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】(A)シリコーン骨格含有ポリマー、(B)アントラキノン系染料、及び(C)光酸発生剤を含むものであることを特徴とする感光性樹脂組成物
【選択図】なし

特許請求の範囲【請求項１】
（Ａ）シリコーン骨格含有ポリマー、（Ｂ）アントラキノン系染料、及び（Ｃ）光酸発生剤を含むものであることを特徴とする感光性樹脂組成物。
続きを表示（約 2,000 文字）【請求項２】
前記（Ａ）シリコーン骨格含有ポリマーが、下記式（ａ１）～（ａ４）及び（ｂ１）～（ｂ４）で表される繰り返し単位を含むものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
TIFF
2025119933000034.tif
141
128
（式中、Ｒ
1
～Ｒ
4
は、それぞれ独立に、炭素数１～８の１価炭化水素基である。ｍは、１～６００の整数である。
ａ
1
～ａ
4
及びｂ
1
～ｂ
4
は、０≦ａ
1
＜１、０≦ａ
2
＜１、０≦ａ
3
＜１、０≦ａ
4
＜１、０≦ｂ
1
＜１、０≦ｂ
2
＜１、０≦ｂ
3
＜１、０≦ｂ
4
＜１、０＜ａ
1
＋ａ
2
＋ａ
3
＋ａ
4
＜１、０＜ｂ
1
＋ｂ
2
＋ｂ
3
＋ｂ
4
＜１、及びａ
1
＋ａ
2
＋ａ
3
＋ａ
4
＋ｂ
1
＋ｂ
2
＋ｂ
3
＋ｂ
4
＝１を満たす数である。
Ｘ
1
は、下記式（Ｘ１）で表される２価の基である。Ｘ
2
は、下記式（Ｘ２）で表される２価の基である。Ｘ
3
は、下記式（Ｘ３）で表される２価の基である。Ｘ
4
は、下記式（Ｘ４）で表される２価の基である。）
TIFF
2025119933000035.tif
36
150
（式中、Ｚ
1
は、単結合、メチレン基、プロパン－２,２－ジイル基、１,１,１,３,３,３－ヘキサフルオロプロパン－２,２－ジイル基又はフルオレン－９,９－ジイル基である。Ｒ
11
及びＲ
12
は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基である。Ｒ
13
及びＲ
14
は、それぞれ独立に、炭素数１～４のアルキル基、又は炭素数１～４のアルコキシ基である。ｐ
1
及びｐ
2
は、それぞれ独立に、０～７の整数である。ｑ
1
及びｑ
2
は、それぞれ独立に、０～２の整数である。）
TIFF
2025119933000036.tif
29
150
（式中、Ｚ
【請求項３】
更に、（Ｄ）架橋剤、（Ｅ）溶剤、（Ｆ）クエンチャー、及び（Ｇ）酸化防止剤のいずれか１つ以上を含むものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
（Ｂ）アントラキノン系染料を前記（Ａ）成分１００質量部に対して０．０１～５０質量部含むものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ｂ）アントラキノン系染料の吸収極大波長が８００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
光学部材用途として用いられるものであることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１項に記載の感光性樹脂組成物から得られたものであることを特徴とする感光性樹脂皮膜。
【請求項８】
支持フィルムと該支持フィルム上に請求項７に記載の感光性樹脂皮膜とを備えるものであることを特徴とする感光性ドライフィルム。
【請求項９】
（ｉ）請求項１に記載の感光性樹脂組成物を用いて基板上に感光性樹脂皮膜を形成する工程、
（ii）前記感光性樹脂皮膜を露光する工程、
（iii）前記露光した感光性樹脂皮膜を現像液で現像してパターンを形成する工程、
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法。
【請求項１０】
（ｉ）請求項８に記載の感光性ドライフィルムを用いて基板上に感光性樹脂皮膜を形成する工程、
（ii）前記感光性樹脂皮膜を露光する工程、
（iii）前記露光した感光性樹脂皮膜を現像液で現像してパターンを形成する工程、
を含むことを特徴とする感光性ドライフィルムを用いたパターン形成方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、及び該組成物を用いるパターン形成方法に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
光学デバイスの中にはセンサー周りに形成された隔壁によってカバーガラスと貼り合わせられた中空構造を有するものがあるが、この隔壁は一般的に感光性樹脂組成物のリソグラフィープロセスによって形成される。センサーには通常カバーガラス側から入った光の情報が伝わるが、この時に隔壁側から入ってくる漏れ光も一緒に入ってしまうと画像処理に問題が発生するため遮光機能を備えていることが求められる。このような硬化膜に遮光機能を備えた感光性樹脂組成物としてシルフェニレン骨格含有シリコーン型ポリマーを主成分とした感光性シリコーン組成物にカーボンブラックを添加した材料が提案されている（特許文献１）。
【０００３】
しかしながらワニス中でカーボンブラックが沈降してしまったり、硬化膜中に凝集物が残ってしまったりする問題がある。また、パターン形成による微細化のレベルに関しても更なる向上が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－０１６８７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、遮蔽機能を備えるとともに、ワニスでの分散安定性があり、フィルムでの凝集物を抑えられるとともに微細なパターン形成可能な感光性樹脂皮膜を与え得る感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、及び該組成物を用いるパターン形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、（Ａ）シリコーン骨格含有ポリマー、（Ｂ）アントラキノン系染料、及び（Ｃ）光酸発生剤を含む感光性樹脂組成物を提供する。
【０００７】
本発明の感光性樹脂組成物であれば、遮蔽機能を備えるとともに、ワニスでの分散安定性があり、フィルムでの凝集物を抑えられるとともに微細なパターン形成可能な感光性樹脂皮膜を与え得るアントラキノン系染料を含む感光性樹脂組成物、感光性樹脂皮膜、感光性ドライフィルム、該組成物を用いたパターン形成方法、及び該感光性ドライフィルムを用いたパターン形成方法を提供することができる。
【０００８】
又、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）シリコーン骨格含有ポリマーが、下記式（ａ１）～（ａ４）及び（ｂ１）～（ｂ４）で表される繰り返し単位を含むものであることが好ましい。
TIFF
2025119933000001.tif
141
136
（式中、Ｒ
1
～Ｒ
4
は、それぞれ独立に、炭素数１～８の１価炭化水素基である。ｍは、１～６００の整数である。
ａ
1
～ａ
4
及びｂ
1
～ｂ
4
は、０≦ａ
1
＜１、０≦ａ
2
＜１、０≦ａ
3
＜１、０≦ａ
4
＜１、０≦ｂ
1
＜１、０≦ｂ
2
＜１、０≦ｂ
3
＜１、０≦ｂ
4
＜１、０＜ａ
1
＋ａ
2
＋ａ
3
＋ａ
4
＜１、０＜ｂ
1
＋ｂ
2
＋ｂ
3
＋ｂ
4
＜１、及びａ
1
＋ａ
2
＋ａ
3
＋ａ
4
＋ｂ
1
＋ｂ
2
＋ｂ
3
＋ｂ
4
＝１を満たす数である。
Ｘ
1
は、下記式（Ｘ１）で表される２価の基である。Ｘ
2
は、下記式（Ｘ２）で表される２価の基である。Ｘ
3
は、下記式（Ｘ３）で表される２価の基である。Ｘ
4
は、下記式（Ｘ４）で表される２価の基である。）
TIFF
2025119933000002.tif
49
160
（式中、Ｚ
1
は、単結合、メチレン基、プロパン－２,２－ジイル基、１,１,１,３,３,３－ヘキサフルオロプロパン－２,２－ジイル基又はフルオレン－９,９－ジイル基である。Ｒ
11
及びＲ
12
は、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基である。Ｒ
13
及びＲ
14
は、それぞれ独立に、炭素数１～４のアルキル基、又は炭素数１～４のアルコキシ基である。ｐ
1
及びｐ
2
は、それぞれ独立に、０～７の整数である。ｑ
1
及びｑ
2
は、それぞれ独立に、０～２の整数である。）
TIFF
2025119933000003.tif
35
156
（式中、Ｚ
【０００９】
このような本発明の感光性樹脂組成物であれば、積層体、基板等への良好な密着性、良好なパターン形成能、耐クラック性、及び耐熱性を有する感光性樹脂フィルムを提供することができる。
【００１０】
更に、本発明の感光性樹脂組成物は、（Ｄ）架橋剤、（Ｅ）溶剤、（Ｆ）クエンチャー、及び（Ｇ）酸化防止剤のいずれか１つ以上を含むものであることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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