特許ウォッチ

公開番号2025130602
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-08
出願番号2024027885
出願日2024-02-27
発明の名称電動アクチュエータ
出願人SMC株式会社
代理人弁理士法人桐朋
主分類F16H 25/22 20060101AFI20250901BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】メンテナンス又はトラブル対応の際に、トップカバーの取り外しを容易にする電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】電動アクチュエータ10は、ボールネジ14の端部を覆うエンドプレート32と、ボールネジ14が貫通するハウジング34と、エンドプレート32の第1上端面38とハウジング34の第2上端面40とに取り付けられてボールネジ14の上方を覆うトップカバー18と、を有し、トップカバー18の長手方向の全長Lは、エンドプレート32とハウジング34の長手方向の間隙Gよりも長く、かつ、第2上端面40の長手方向の長さS2と間隙Gとを加算した寸法Aよりも短い。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
長手方向に延びるボールネジと、
前記ボールネジを回転させる駆動部と、
前記ボールネジによって駆動されるテーブルと、
前記ボールネジの端部を覆うエンドプレートと、
前記駆動部に隣接し、前記ボールネジが貫通するハウジングと、
前記エンドプレートの第１上端面と前記ハウジングの第２上端面とに取り付けられて、前記ボールネジの上方を覆うトップカバーと、を有し、
前記トップカバーの前記長手方向の全長Ｌは、前記エンドプレートと前記ハウジングの前記長手方向の間隙Ｇよりも長く、かつ、前記第２上端面の前記長手方向の長さＳ２と前記間隙Ｇとを加算した寸法Ａよりも短い、電動アクチュエータ。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
請求項１に記載の電動アクチュエータであって、前記トップカバーを前記エンドプレート及び前記ハウジングに固定する固定部材を有し、前記固定部材で固定された前記トップカバーは、前記駆動部から前記長手方向に離間している、電動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載の電動アクチュエータであって、前記エンドプレートの前記第１上端面及び前記ハウジングの前記第２上端面は、前記トップカバーを前記長手方向にスライド可能に支持する、電動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載の電動アクチュエータであって、前記第１上端面の前記長手方向の長さＳ１よりも前記第２上端面の前記長手方向の長さＳ２のほうが長い、電動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の電動アクチュエータであって、前記固定部材を外して前記トップカバーを前記駆動部に向けてスライドさせると、前記トップカバーが前記エンドプレートから外れて前記ボールネジに向けて落下して傾斜する、電動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項５に記載の電動アクチュエータであって、前記駆動部は、前記ハウジングの前記第２上端面よりも上方に突出するとともに、傾斜した前記トップカバーの延長線は、前記駆動部の上方を通過する、電動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項６に記載の電動アクチュエータであって、前記トップカバーは、リニアガイドレールと平行な蓋板部と、前記蓋板部の幅方向の両側部から下方に向けて突出する一対の側壁部とを備え、
前記エンドプレートの前記第１上端面及び前記ハウジングの前記第２上端面は、それぞれ前記蓋板部に向かい合う天面と、一対の前記側壁部に内側から向かい合う一対の側面と、を有する、電動アクチュエータ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、電動アクチュエータに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
工場の自動化生産ライン等において、加工対象物の搬送等に電動アクチュエータが広く用いられている。例えば、特許文献１には、ボールネジでテーブルを駆動する電動アクチュエータが開示されている。この電動アクチュエータは、テーブルにワークが取り付けられる。また、ボールネジへの異物の巻き込みを防ぐために、ボールネジは、トップカバーで覆われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平８－３３２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電動アクチュエータにおいて、メンテナンス又はトラブル対応の際に、ハウジングからトップカバーを取り外して点検を行う場合がある。ところが、従来の電動アクチュエータでは、ワークによって、トップカバーの上方が覆われる。そのため、トップカバーの取り外しに、ワークをテーブルから取り外す必要があり、煩雑な作業を要するという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記した課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様は、長手方向に延びるボールネジと、前記ボールネジを回転させる駆動部と、前記ボールネジによって駆動されるテーブルと、前記ボールネジの端部を覆うエンドプレートと、前記駆動部に隣接し、前記ボールネジが貫通するハウジングと、前記エンドプレートの第１上端面と前記ハウジングの第２上端面とに取り付けられて、前記ボールネジの上方を覆うトップカバーと、を有し、前記トップカバーの前記長手方向の全長Ｌは、前記エンドプレートと前記ハウジングの前記長手方向の間隙Ｇよりも長く、かつ、前記第２上端面の前記長手方向の長さＳ２と前記間隙Ｇとを加算した寸法Ａよりも短い、電動アクチュエータである。
【発明の効果】
【０００７】
上記態様の電動アクチュエータは、テーブルからワークを取り外すことなく、トップカバーを取り外せる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態に係る電動アクチュエータの斜視図である。
図２は、図１の電動アクチュエータの側面図である。
図３は、図１のハウジングの変形例を示す側面図である。
図４は、図１のトップカバーを第１方向へスライドさせて取り外す方法を説明する図である。
図５は、図１の電動アクチュエータの第１方向に障害物がある場合の取り外し方向を説明する図である。
図６は、図５のトップカバーをエンドプレートから脱落させる操作の説明図である。
図７は、図６のトップカバーを斜めに引き抜く操作の説明図である。
図８は、実施形態の変形例に係る電動アクチュエータの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１及び図２に示すように、実施形態に係る電動アクチュエータ１０は、高速かつ正確な動作が可能であるため、例えば半導体製造工場においてウエハの搬送に好適に用いられる。電動アクチュエータ１０は、一対の固定部２８を有するテーブル１６にワークＷ（図４参照）が取り付けられて使用される。ワークＷの一例として、ウエハを保持するチャック等が挙げられる。
【００１０】
以下、電動アクチュエータ１０の詳細について説明が行われる。以下の説明において、電動アクチュエータ１０の構成部材の配置関係を説明するために、長手方向、幅方向及び上下方向との語が使用される。これらの方向は互いに直交する。長手方向は、ボールネジ１４の延在方向に一致し、駆動部１２から離れる方向は第１方向（先端方向）と呼ばれ、その反対方向は第２方向（基端方向）と呼ばれる。上下方向において、リニアガイドレール３０からトップカバー１８に向かう方向は上側又は上方と呼ばれ、その逆方向は下側又は下方と呼ばれる。なお、上、下との用語は、電動アクチュエータ１０の部材の配置関係を説明するために使用されており、電動アクチュエータ１０の配置方向を限定しない。
（【００１１】以降は省略されています）

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