特許ウォッチ

公開番号2025139437
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-26
出願番号2024038368
出願日2024-03-12
発明の名称弾性波装置
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類H03H 9/25 20060101AFI20250918BHJP(基本電子回路)
要約【課題】弾性波装置の周波数特性を改善する。
【解決手段】弾性波装置は、圧電体と、前記圧電体の近傍に位置しているIDT電極と、前記圧電体の下方に位置している音響反射膜と、を有している。前記音響反射膜は、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層との積層構造を有している。前記音響反射膜は、全ての前記低音響インピーダンス層および前記高音響インピーダンス層のうち、前記圧電体の最も近くに位置している前記低音響インピーダンス層である第1層と、前記第1層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第2層と、前記第2層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第3層と、を有している。前記第1層の厚みをT1と表記し、前記第3層の厚みをT3と表記した場合に、T1<T3である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
圧電体と、
前記圧電体の近傍に位置しているＩＤＴ電極と、
前記圧電体の下方に位置している音響反射膜と、を有しており、
前記音響反射膜は、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層との積層構造を有しており、
前記音響反射膜は、
全ての前記低音響インピーダンス層および前記高音響インピーダンス層のうち、前記圧電体の最も近くに位置している前記低音響インピーダンス層である第１層と、
前記第１層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第２層と、
前記第２層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第３層と、を有しており、
前記第１層の厚みをＴ１と表記し、
前記第３層の厚みをＴ３と表記した場合に、
Ｔ１＜Ｔ３
である、弾性波装置。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
Ｔ１＜Ｔ３≦２．９５０×Ｔ１
である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
圧電体と、
前記圧電体の近傍に位置しているＩＤＴ電極と、
前記圧電体の下方に位置している音響反射膜と、を有しており、
前記音響反射膜は、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層との積層構造を有しており、
前記音響反射膜は、
全ての前記低音響インピーダンス層および前記高音響インピーダンス層のうち、前記圧電体の最も近くに位置している前記低音響インピーダンス層である第１層と、
前記第１層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第２層と、
前記第２層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第３層と、
前記第３層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第４層と、
前記第４層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第５層と、
前記第５層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第６層と、を有しており、
前記第２層の厚みをＴ２と表記し、
前記第４層の厚みをＴ４と表記し、
前記第６層の厚みをＴ６と表記した場合に、
Ｔ６＜Ｔ２
および、
Ｔ６＜Ｔ４
のうちの少なくとも一方が満たされている、弾性波装置。
【請求項４】
Ｔ６＜Ｔ２≦２．７６４×Ｔ６
および、
Ｔ６＜Ｔ４≦１．４８５×Ｔ４
のうちの少なくとも一方が満たされている、請求項３に記載の弾性波装置。
【請求項５】
圧電体と、
前記圧電体の近傍に位置しているＩＤＴ電極と、
前記圧電体の下方に位置している音響反射膜と、を有しており、
前記音響反射膜は、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層との積層構造を有しており、
前記音響反射膜における前記低音響インピーダンス層の数と前記高音響インピーダンス層の数との和は、４以上かつ５以下であり、
前記音響反射膜は、
全ての前記低音響インピーダンス層および前記高音響インピーダンス層のうち、前記圧電体の最も近くに位置している前記低音響インピーダンス層である第１層と、
前記第１層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第２層と、
前記第２層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第３層と、
前記第３層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第４層と、を有しており、
前記第１層の厚みをＴ１と表記し、
前記第２層の厚みをＴ２と表記し、
前記第４層の厚みをＴ４と表記した場合に、
０．８２５×Ｔ１＜Ｔ２
および、
０．８２５×Ｔ１＜Ｔ４
のうちの少なくとも一方が満たされている、弾性波装置。
【請求項６】
０．８２５×Ｔ１＜Ｔ２≦２．２８×Ｔ１
および、
０．８２５×Ｔ１＜Ｔ４≦１．２２５×Ｔ１
のうちの少なくとも一方が満たされている、請求項５に記載の弾性波装置。
【請求項７】
前記低音響インピーダンス層の主成分は、ＳｉＯ
２
であり、
前記高音響インピーダンス層の主成分は、ＨｆＯ
２
、Ｔａ
２
Ｏ
５
、ＺｒＯ
２
、ＳｉＮ、ＡｌＮ、Ａｌ
２
Ｏ
３
、Ｗ、Ｐｔ、Ｔａ、およびＨｆのうちの少なくとも１つである、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項８】
前記低音響インピーダンス層の主成分は、ＳｉＯ
２
であり、
前記高音響インピーダンス層の主成分は、ＨｆＯ
２
である、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項９】
前記ＩＤＴ電極は、板波を励振するように構成されている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項１０】
前記板波は、Ａ１Ｌａｍｂ波である、請求項９に記載の弾性波装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の一態様は、弾性波装置に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１には、弾性波装置の一構成例が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開ＷＯ２０２３／０３３０３２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
弾性波装置の周波数特性を改善することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様に係る弾性波装置は、圧電体と、前記圧電体の近傍に位置しているＩＤＴ電極と、前記圧電体の下方に位置している音響反射膜と、を有しており、前記音響反射膜は、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層との積層構造を有しており、前記音響反射膜は、全ての前記低音響インピーダンス層および前記高音響インピーダンス層のうち、前記圧電体の最も近くに位置している前記低音響インピーダンス層である第１層と、前記第１層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第２層と、前記第２層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第３層と、を有しており、前記第１層の厚みをＴ１と表記し、前記第３層の厚みをＴ３と表記した場合に、Ｔ１＜Ｔ３である。
【０００６】
本開示の一態様に係る弾性波装置は、圧電体と、前記圧電体の近傍に位置しているＩＤＴ電極と、前記圧電体の下方に位置している音響反射膜と、を有しており、前記音響反射膜は、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層との積層構造を有しており、前記音響反射膜は、全ての前記低音響インピーダンス層および前記高音響インピーダンス層のうち、前記圧電体の最も近くに位置している前記低音響インピーダンス層である第１層と、前記第１層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第２層と、前記第２層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第３層と、前記第３層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第４層と、前記第４層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第５層と、前記第５層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第６層と、を有しており、前記第２層の厚みをＴ２と表記し、
前記第４層の厚みをＴ４と表記し、前記第６層の厚みをＴ６と表記した場合に、
Ｔ６＜Ｔ２
および、
Ｔ６＜Ｔ４
のうちの少なくとも一方が満たされている。
【０００７】
本開示の一態様に係る弾性波装置は、圧電体と、前記圧電体の近傍に位置しているＩＤＴ電極と、前記圧電体の下方に位置している音響反射膜と、を有しており、前記音響反射膜は、低音響インピーダンス層と高音響インピーダンス層との積層構造を有しており、前記音響反射膜における前記低音響インピーダンス層の数と前記高音響インピーダンス層の数との和は、４以上かつ５以下であり、前記音響反射膜は、全ての前記低音響インピーダンス層および前記高音響インピーダンス層のうち、前記圧電体の最も近くに位置している前記低音響インピーダンス層である第１層と、前記第１層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第２層と、前記第２層の下面と接している前記低音響インピーダンス層である第３層と、前記第３層の下面と接している前記高音響インピーダンス層である第４層と、を有しており、前記第１層の厚みをＴ１と表記し、前記第２層の厚みをＴ２と表記し、前記第４層の厚みをＴ４と表記した場合に、
０．８２５×Ｔ１＜Ｔ２
および、
０．８２５×Ｔ１＜Ｔ４
のうちの少なくとも一方が満たされている。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の一態様によれば、弾性波装置の周波数特性を改善できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態１の弾性波装置の一構成例を示す。
第１の検討において得られた、弾性波装置におけるピッチと周波数特性との関係の例を示す。
第１の検討において得られた、弾性波装置におけるＤｕｔｙと周波数特性との関係の例を示す。
第１の検討において得られた、弾性波装置における圧電体の厚みと周波数特性との関係の例を示す。
第１の検討において得られた、弾性波装置におけるＩＤＴ電極の厚みと周波数特性との関係の例を示す。
第２の検討において得られた、弾性波装置におけるＴ１と周波数特性との関係の例を示す。
第２の検討において得られた、弾性波装置におけるＴ２と周波数特性との関係の例を示す。
第２の検討において得られた、弾性波装置におけるＴ３と周波数特性との関係の例を示す。
第２の検討において得られた、弾性波装置におけるＴ４と周波数特性との関係の例を示す。
第２の検討において得られた、弾性波装置におけるＴ５と周波数特性との関係の例を示す。
第２の検討において得られた、弾性波装置におけるＴ６と周波数特性との関係の例を示す。
第２の検討において得られた、弾性波装置におけるＴ７と周波数特性との関係の例を示す。
第２の検討において得られた、弾性波装置におけるＴ８と周波数特性との関係の例を示す。
第３の検討において得られた、弾性波装置における周波数特性の例を示す。
第４の検討において得られた、弾性波装置における周波数特性の例を示す。
第５の検討において得られた結果を概略的に示す。
第６の検討において得られた結果を概略的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
〔実施形態１〕
実施形態１について以下に説明する。説明の便宜上、実施形態１にて説明したコンポーネント（構成要素）と同じ機能を有するコンポーネントについては、以降の各実施形態では同じ符号を付し、その説明を繰り返さない。簡潔化のため、公知の技術事項についても説明を適宜省略する。本明細書において述べる各コンポーネント、各材料、および各数値はいずれも、内容上矛盾のない限り、単なる例示である。それゆえ、内容上矛盾のない限り、例えば各コンポーネントの位置関係および接続関係は各図の例に限定されない。また、各図は必ずしもスケール通りに図示されていない。
（【００１１】以降は省略されています）

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