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公開番号2025148221
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-07
出願番号2024185633
出願日2024-10-22
発明の名称板状ワークの研削方法及び研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 7/04 20060101AFI20250930BHJP(研削;研磨)
要約【課題】中央が盛り上がるように反りを有する板状ワークを研削する際の作業性を向上すること。
【解決手段】本発明は、中央が盛り上がった板状ワーク(W)を研削砥石(97)で研削する板状ワークの研削方法である。この研削方法は、第1チャックテーブル(41)の中央が外周より盛り上がった形状の保持面(46)で板状ワークを吸引保持する第1保持工程と、板状ワークの中央部分(W3)を研削砥石で研削して、板状ワークを平たんにするときの反力を低減させる反力低減研削工程と、第2チャックテーブル(42)の研削砥石の下面に対して平行な保持面(56)で、板状ワークを吸引保持する第2保持工程と、板状ワークを研削砥石で仕上げ研削する仕上げ研削工程とを含む。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
中央が盛り上がった板状ワークを研削砥石で研削する板状ワークの研削方法であって、
第１チャックテーブルの中央が外周より盛り上がった形状の保持面で、該板状ワークを吸引保持する第１保持工程と、
該板状ワークの中央部分を該研削砥石で研削して、該板状ワークを平たんにするときの反力を低減させる反力低減研削工程と、
第２チャックテーブルの該研削砥石の下面に対して平行な保持面で、該板状ワークを吸引保持する第２保持工程と、
該板状ワークを該研削砥石で仕上げ研削する仕上げ研削工程と、からなる、板状ワークの研削方法。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
請求項１記載の板状ワークの研削方法を可能とする研削装置であって、
該研削砥石の下面に対して盛り上がっている該保持面の該第１チャックテーブルと、
該研削砥石の下面に対して平行な該保持面の該第２チャックテーブルと、
該第１チャックテーブルおよび該第２チャックテーブルに吸引保持された該板状ワークを研削する研削機構と、を少なくとも備える研削装置。
【請求項３】
中央が盛り上がった板状ワークを研削砥石で研削する板状ワークの研削方法であって、
チャックテーブルの該研削砥石の下面に対して平行な保持面によって該板状ワークの中央が盛り上がった状態で該板状ワークを吸引保持する第１保持工程と、
該板状ワークの中央部分を該研削砥石で研削して、該板状ワークを平たんにするときの反力を低減させる反力低減研削工程と、
該チャックテーブルの該保持面と該板状ワークの下面との間に隙間無く該保持面で該板状ワークを吸引保持する第２保持工程と、
該板状ワークを該研削砥石で仕上げ研削する仕上げ研削工程と、からなる、板状ワークの研削方法。
【請求項４】
請求項３記載の板状ワークの研削方法を可能とする研削装置であって、
該保持面を有する該チャックテーブルと、
該保持面と吸引源とを連通する吸引路と、
該吸引路に配置し該保持面の負圧値を調整する圧力調整部と、
該チャックテーブルに吸引保持された該板状ワークを研削する研削機構と、を少なくとも備える研削装置。
【請求項５】
請求項３記載の板状ワークの研削方法を可能とする研削装置であって、
同心円状の中央保持面と外周保持面との少なくとも２つの保持面を有するチャックテーブルと、
該中央保持面と吸引源とを連通する中央吸引路と、
該外周保持面と該吸引源とを連通する外周吸引路と、
該保持面の面積を変更する面積変更部と、
該チャックテーブルに吸引保持された板状ワークを研削する研削機構と、を少なくとも備える研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを保持するチャックテーブルを用いた板状ワークの研削方法及び研削装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、反りがある板状ワークを回転する研削砥石で研削する研削方法を開示している。特許文献１では、反りがある板状ワークをチャックテーブルに保持させるため、反りによって凹状となる板状ワークの面の外周部にテープを貼り付けている。かかるテープの貼り付けによって、テープと凹状の面とで閉鎖する空間が形成され、該空間を形成した状態でテープを介して板状ワークをチャックテーブルに保持させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０６２４６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したテープの貼り付けは、貼り付けと同時に閉塞する空間を形成する負担があり、作業性が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、中央が盛り上がるように反りを有する板状ワークを研削する際の作業性を向上することができる板状ワークの研削方法及び研削装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の板状ワークの研削方法は、中央が盛り上がった板状ワークを研削砥石で研削する板状ワークの研削方法であって、第１チャックテーブルの中央が外周より盛り上がった形状の保持面で、該板状ワークを吸引保持する第１保持工程と、該板状ワークの中央部分を該研削砥石で研削して、該板状ワークを平たんにするときの反力を低減させる反力低減研削工程と、第２チャックテーブルの該研削砥石の下面に対して平行な保持面で、該板状ワークを吸引保持する第２保持工程と、該板状ワークを該研削砥石で仕上げ研削する仕上げ研削工程と、からなる。
【０００７】
本発明の一態様の板状ワークの研削装置は、前記板状ワークの研削方法を可能とする研削装置であって、該研削砥石の下面に対して盛り上がっている該保持面の該第１チャックテーブルと、該研削砥石の下面に対して平行な該保持面の該第２チャックテーブルと、該第１チャックテーブルおよび該第２チャックテーブルに吸引保持された該板状ワークを研削する研削機構と、を少なくとも備える。
【０００８】
本発明の他の一態様の板状ワークの研削方法は、中央が盛り上がった板状ワークを研削砥石で研削する板状ワークの研削方法であって、チャックテーブルの該研削砥石の下面に対して平行な保持面によって該板状ワークの中央が盛り上がった状態で該板状ワークを吸引保持する第１保持工程と、該板状ワークの中央部分を該研削砥石で研削して、該板状ワークを平たんにするときの反力を低減させる反力低減研削工程と、該チャックテーブルの該保持面と該板状ワークの下面との間に隙間無く該保持面で該板状ワークを吸引保持する第２保持工程と、該板状ワークを該研削砥石で仕上げ研削する仕上げ研削工程と、からなる。
【０００９】
本発明の他の一態様の研削装置は、前記板状ワークの研削方法を可能とする研削装置であって、該保持面を有する該チャックテーブルと、該保持面と吸引源とを連通する吸引路と、該吸引路に配置し該保持面の負圧値を調整する圧力調整部と、該チャックテーブルに吸引保持された該板状ワークを研削する研削機構と、を少なくとも備える。
【００１０】
本発明の更に他の一態様の研削装置は、前記板状ワークの研削方法を可能とする研削装置であって、同心円状の中央保持面と外周保持面との少なくとも２つの保持面を有するチャックテーブルと、該中央保持面と吸引源とを連通する中央吸引路と、該外周保持面と該吸引源とを連通する外周吸引路と、該保持面の面積を変更する面積変更部と、該チャックテーブルに吸引保持された板状ワークを研削する研削機構と、を少なくとも備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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