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公開番号2025167248
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024071683
出願日2024-04-25
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20251030BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】載置面における均熱性を向上させることができる保持装置を提供すること。
【解決手段】板状部材10と、ヒータ電極60と、ドライバー電極80とを備え、板状部材10の載置面11上に半導体ウエハWを保持する静電チャック1において、ヒータ電極60は、第1ヒータ電極61と、第1ヒータ電極61と下面12の間に配置され、第1ヒータ電極61より発熱抵抗体を多く備える第2ヒータ電極62とを備え、ドライバー電極80は、第1ヒータ電極61に電気的に接続される第1ドライバー電極81と、第2ヒータ電極62に電気的に接続される第2ドライバー電極82とを備え、板状部材10のZ軸方向における各電極間の距離の関係が、第1ヒータ電極61と第1ドライバー電極81との距離をD1、第2ヒータ電極62と第2ドライバー電極82との距離をD2、第1ドライバー電極81と第2ヒータ電極62との距離をD3とすると、D1<D3、かつ、D1<D2を満たしている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１の方向に略直交する第１の表面および第２の表面を有する板状部材と、
前記板状部材内に配置され、少なくとも１つ以上の発熱抵抗体を備えるヒータ電極と、
前記発熱抵抗体に導通部材を介して電気的に接続され、面方向へ広がるように形成されたドライバー電極と、を備え、
前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ヒータ電極は、
第１ヒータ電極と、
前記第１ヒータ電極と前記板状部材の前記第２の表面との間に配置され、前記第１ヒータ電極より前記発熱抵抗体を多く備える第２ヒータ電極と、を備え、
前記ドライバー電極は、
前記第１ヒータ電極に電気的に接続される第１ドライバー電極と、
前記第２ヒータ電極に電気的に接続される第２ドライバー電極と、を備え、
前記板状部材の前記第１の方向における各電極間の距離の関係が、
前記第１ヒータ電極と前記第１ドライバー電極との距離をＤ１、前記第２ヒータ電極と前記第２ドライバー電極との距離をＤ２、前記第１ドライバー電極と前記第２ヒータ電極との距離をＤ３とすると、
Ｄ１＜Ｄ３、かつ、Ｄ１＜Ｄ２
を満たすことを特徴とする保持装置。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
請求項１に記載する保持装置において、
前記第２ヒータ電極と前記第２ドライバー電極との距離Ｄ２と、前記第１ドライバー電極と前記第２ヒータ電極との距離Ｄ３とが、
Ｄ２≦Ｄ３
を満たすことを特徴とする保持装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する保持装置において、
それぞれの面内における前記第１ドライバー電極の総面積と前記第２ドライバー電極の総面積とを比較すると、前記第１ドライバー電極が前記第２ドライバー電極より大きい
ことを特徴とする保持装置。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載する保持装置において、
前記第２ドライバー電極は、前記第２ヒータ電極と前記板状部材の前記第２の表面との間に配置されている
ことを特徴とする保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、対象物を保持する保持装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
対象物を保持する保持装置として、例えば、静電チャックが知られている。このような静電チャックでは、対象物が載置される載置面における均熱性（温度均一性）が要求されている。温度が均一でないと対象物に熱ひずみ等が発生し、対象物に対する各種処理を高精度に行うことができなくなるからである。
【０００３】
そこで、例えば特許文献１に、第１発熱部（局所加熱用で発熱体数が多い方）と第２発熱部（全体加熱用で発熱体数が少ない方）とを備える静電チャックが開示されている。この静電チャックでは、第２発熱部により載置面の全体を均一に加熱するとともに、第１発熱部で局所的に温度調整を行うことにより、載置面における温度分布を均一にするようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２０－１１５５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の静電チャックでは、第１発熱部（局所加熱用）が、第２発熱部（全体加熱用）よりも載置面側に配置されている。そのため、第１発熱部への給電経路（ビア及びパッド）の存在により、第２発熱部の発熱体を面全域に配置することができない。つまり、第１発熱部は発熱体数が多いため、給電経路数も多くなり、これら多数の給電経路を避けて第２発熱部の発熱体を配置する必要があるため、第２発熱部の発熱体を面全域に配置することができなくなるのである。そのため、第２発熱部によって載置面を均一に加熱することが難しくなる。
【０００６】
ここで、上記の静電チャックにおいて、第２発熱部により載置面を均一に加熱することができたとしても、第１発熱部によって局所的に加熱されてしまうため、載置面における均熱性が低下するおそれがある。さらに、載置面に近い位置において、第１発熱部への給電経路が多く配置されているため、それらの給電経路からの発熱により、載置面における均熱性をさらに低下させてしまうおそれもある。
【０００７】
そこで、本開示は上記した問題点を解決するためになされたものであり、載置面における均熱性を向上させることができる保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本開示の一形態は、
第１の方向に略直交する第１の表面および第２の表面を有する板状部材と、
前記板状部材内に配置され、少なくとも１つ以上の発熱抵抗体を備えるヒータ電極と、
前記発熱抵抗体に導通部材を介して電気的に接続され、面方向へ広がるように形成されたドライバー電極と、を備え、
前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記ヒータ電極は、
第１ヒータ電極と、
前記第１ヒータ電極と前記板状部材の前記第２の表面との間に配置され、前記第１ヒータ電極より前記発熱抵抗体を多く備える第２ヒータ電極と、を備え、
前記ドライバー電極は、
前記第１ヒータ電極に電気的に接続される第１ドライバー電極と、
前記第２ヒータ電極に電気的に接続される第２ドライバー電極と、を備え、
前記板状部材の前記第１の方向における各電極間の距離の関係が、
前記第１ヒータ電極と前記第１ドライバー電極との距離をＤ１、前記第２ヒータ電極と前記第２ドライバー電極との距離をＤ２、前記第１ドライバー電極と前記第２ヒータ電極との距離をＤ３とすると、
Ｄ１＜Ｄ３、かつ、Ｄ１＜Ｄ２
を満たすことを特徴とする。
【０００９】
この保持装置では、第１ヒータ電極が第２ヒータ電極より第１の表面側に配置されることより、第２ヒータ電極への給電経路となる導通部材が、第１ヒータ電極及び第１ドライバー電極の配置に影響を及ぼすことがないため、第１ヒータ電極及び第１ドライバー電極を面内全域に配置することができる。そのため、第１の表面側に配置される第１ヒータ電極により第１の表面を均一に加熱することができる。従って、対象物が載置される第１の表面（載置面）における均熱性を向上させることができる。
【００１０】
そして、各電極間の距離Ｄ１～Ｄ３が、Ｄ１＜Ｄ３、かつ、Ｄ１＜Ｄ２を満たしているため、第１ヒータ電極と第１ドライバー電極との距離Ｄ１が、各電極間では最も小さくなる。そのため、第１ヒータ電極の熱を、第１ドライバー電極によって面方向へ広げることができる。これにより、第１の表面（載置面）における均熱性をより向上させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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