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公開番号2025089771
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-16
出願番号2023204618
出願日2023-12-04
発明の名称試料保持具
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250609BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】試料を均一に加熱する試料保持具を提供する。
【解決手段】本開示による試料保持具は、セラミック基板と、発熱抵抗体と、遮熱板とを備える。セラミック基板は、第1面と第2面とを有する。発熱抵抗体は、セラミック基板の内部または第2面に位置する。遮熱板は、セラミック基板の第2面に対向して位置する。遮熱板は、複数の板部材で構成される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と第２面とを有するセラミック基板と、
前記セラミック基板の内部または前記第２面に位置する発熱抵抗体と、
前記セラミック基板の前記第２面に対向して位置する遮熱板と
を備え、
前記遮熱板は、複数の板部材で構成される
試料保持具。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
前記セラミック基板は、円板形状を有し、
前記複数の板部材は、前記セラミック基板の周方向に並ぶ、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項３】
前記セラミック基板は、円板形状を有し、
前記複数の板部材は、同心円状に並ぶ、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項４】
前記複数の板部材のうち少なくとも一つは、他の前記板部材と厚みが異なる、請求項３に記載の試料保持具。
【請求項５】
前記複数の板部材は、
第１板部材と、
前記第１板部材の外方に位置する複数の第２板部材と
を含み、
前記第１板部材は、円板形状または円環形状を有し、
前記複数の第２板部材は、環状扇形状を有し、前記第１板部材の周方向に並ぶ、請求項３に記載の試料保持具。
【請求項６】
前記複数の板部材の前記セラミック基板の外周側に対応する部分は、他の部分よりも厚みが大きい、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項７】
前記複数の板部材の前記セラミック基板との対向面は、前記セラミック基板の中心から外周側に向かうにつれて前記セラミック基板に近づく方向に傾斜する、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項８】
隣り合う２つの前記板部材は、空間を介して隣り合う、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項９】
前記発熱抵抗体を複数備え、
前記空間は、隣り合う２つの前記発熱抵抗体の境界に対応する位置に位置する、請求項８に記載の試料保持具。
【請求項１０】
前記発熱抵抗体を複数備え、
前記板部材は、隣り合う２つの前記発熱抵抗体の境界に対応する位置に位置する、請求項８に記載の試料保持具。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、試料保持具に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品などの製造工程において、半導体ウェハや液晶基板、回路基板などの平板状の試料を保持する試料保持具が用いられている。特許文献１には、セラミック基板の表面に設けられた抵抗発熱体を用い、セラミック基板上に載置されたシリコンウエハ等の試料を加熱する半導体製造・検査装置が開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載された半導体製造・検査装置は、セラミック基板の一方の主面と対向して位置し、底板または遮熱板として機能する板状体を具備する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００２－０６４１３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示は、試料を均等に加熱することができる試料保持具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様による試料保持具は、セラミック基板と、発熱抵抗体と、遮熱板とを備える。セラミック基板は、第１面と第２面とを有する。発熱抵抗体は、セラミック基板の内部または第２面に位置する。遮熱板は、セラミック基板の第２面に対向して位置する。遮熱板は、複数の板部材で構成される。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、試料を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、第１実施形態に係る試料保持具の構成例を示す模式的な断面図である。
図２は、第１実施形態に係る遮熱板の構成を示す模式的な平面図である。
図３は、第２実施形態に係る遮熱板の構成を示す模式的な平面図である。
図４は、第３実施形態に係る遮熱板の構成を示す模式的な平面図である。
図５は、第４実施形態に係る遮熱板の構成を示す模式的な断面図である。
図６は、第４実施形態に係る遮熱板の構成を示す模式的な断面図である。
図７は、第５実施形態に係る遮熱板の構成を示す模式的な断面図である。
図８は、第６実施形態に係る遮熱板の構成を示す模式的な断面図である。
図９は、第７実施形態に係る遮熱板の構成を示す模式的な平面図である。
図１０は、第８実施形態に係る遮熱板と発熱抵抗体との構成を示す模式的な平面図である。
図１１は、第９実施形態に係る遮熱板と発熱抵抗体との構成を示す模式的な平面図である。
図１２は、第１０実施形態に係る遮熱板の構成例を示す模式的な平面図である。
図１３は、図１２に示す遮熱板の模式的な側面図である。
図１４は、第１１実施形態に係る遮熱板と板状体との構成例を示す模式的な斜視図である。
図１５は、図１４に示す遮熱板と板状体との模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本開示による試料保持具を実施するための形態（以下、「実施形態」と記載する）について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示が限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。
【００１０】
また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、例えば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。
（【００１１】以降は省略されています）

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