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公開番号2025097660
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-01
出願番号2023213988
出願日2023-12-19
発明の名称試料ホルダー先端部及び試料ホルダー
出願人株式会社メルビル
代理人個人
主分類H01J 37/20 20060101AFI20250624BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】
本発明は、種々の観察が可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダー先端部は、前記試料及び/又は試料メッシュを設置する試料台座と、前記試料台座に設置されており、かつ、前記試料台座を傾斜させることが可能なスリット部と、前記試料台座を保持するフレーム部と、前記フレーム部をガイドするガイド部と、を有することを特徴とする。また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記試料台座は、複数存在することを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
前記試料及び／又は試料メッシュを設置する試料台座と、前記試料台座に設置されており、かつ、前記試料台座を傾斜させることが可能なスリット部と、前記試料台座を保持するフレーム部と、前記フレーム部をガイドするガイド部と、を有することを特徴とする試料ホルダー先端部。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
前記試料台座は、複数存在することを特徴とする請求項１記載の試料ホルダー先端部。
【請求項３】
前記試料台座は、前記スリット部をスライドさせる支持部を有することを特徴とする請求項２記載の試料ホルダー先端部。
【請求項４】
前記試料及び／又は試料メッシュは、固定部材により前記試料台座に固定されることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載の試料ホルダー先端部。
【請求項５】
前記固定部材は、リング形状であることを特徴とする請求項４記載の試料ホルダー先端部。
【請求項６】
さらに、オフセットカム機構を有することを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載の試料ホルダー先端部。
【請求項７】
請求項１～６のいずれか一項に記載の試料ホルダー先端部を有することを特徴とする試料ホルダー。
【請求項８】
さらに、前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダー軸部と、前記試料ホルダー軸部を格納可能な外筒部と、前記試料ホルダー先端部とは反対側の前記試料ホルダー軸部に設置された試料ホルダーハンドル部と、を有する試料ホルダーであって、前記試料ホルダー軸部は、前記試料ホルダー軸を中心に回転可能であることを特徴とする請求項７記載の試料ホルダー。
【請求項９】
前記回転により、試料は、前記試料ホルダー軸部の軸周りに回転可能か、又は前記試料ホルダー軸部の軸方向に直交する軸周りに回転可能であることを特徴とする請求項８記載の試料ホルダー。
【請求項１０】
前記試料ホルダーの軸が、試料ホルダーの長手方向に対して前後することにより、試料台座の位置を変更することを特徴とする請求項８又は９に記載の試料ホルダー。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の可視化、画像形成、又は解析等に用いる試料ホルダー先端部及び試料ホルダーに関し、特に、真空下での試料観察に用いる試料ホルダー先端部及び試料ホルダーに関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
分子や原子のレベルで試料を観察・解析する必要性から、現在では、過酷条件下での高精度な画像形成技術及び解析技術を組み合わせた電子顕微鏡観察が求められている。例えば、透過型電子顕微鏡（以下「ＴＥＭ」という。）では超高真空下又は高真空下で試料の観察を行う。
【０００３】
ＴＥＭの観察位置に試料を位置させるための試料ホルダーとして、例えば、内部に段差を有する第１の開口が形成された試料ホルダー本体と、前記段差によってその周縁の一部が支持されることにより前記第１の開口内に回転可能に収納されかつ中心部に前記試料を保持するための第２の開口を有する試料保持部材と、前記第２の開口を少なくとも一部を残して被覆する非晶質材料膜を備えたカバー部材と、を備える、透過型電子顕微鏡の試料ホルダーが知られている（特許文献１）。
【０００４】
また、例えば、イメージングと解析用装置の少なくとも一つにおいて試料を収容し、冷却し、位置を定める低温試料ホルダーであって、前記試料を収容し保持する容器と、液体冷却媒体のためのコレクションポイントのある液体冷却媒体の保存用の貯蔵容器と、前記液体冷却媒体の容器内量と前記貯蔵容器の空間方向に関係なく、前記液体冷却媒体と前記容器と熱接触している熱伝導体であって、前記コレクションポイントで前記液体冷却媒体と隣接面接触をしている前記熱伝導体と、前記イメージングと解析装置の少なくとも一つ内の予め選んだ場所に前記試料を位置づけるために前記貯蔵容器と前記容器の間に取り付けられた細長バレルと、を有することを特徴とする低温試料ホルダーが知られている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－１７９８０５号公報
特表２０１３－５３７６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１のものを含む従来のＴＥＭ試料ホルダーでは、ＴＥＭ内でホルダーを通して真空が漏れないように大気側と真空側を遮断する必要がある。
【０００７】
昨今、半導体観察において集積が進み、SEMの分解能では観察できない領域になってきており、TEMによる不良解析や構造が出来ているかの確認など、SEMからTEMに移行している。そのため、大量の半導体解析を処理する必要があるが、SEMと違い解析に時間がかかるため、従来のスループットが出せておらず、24時間体制で観察解析し続けても終わらず、観察待ちが増えているという問題がある。
【０００８】
そこで、上記問題点を解決すべく、本発明は、種々の観察が可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明者は、試料ホルダー先端部について鋭意検討を行った結果、本発明を見出すに至った。
【００１０】
すなわち、本発明の試料ホルダー先端部は、前記試料及び／又は試料メッシュを設置する試料台座と、前記試料台座に設置されており、かつ、前記試料台座を傾斜させることが可能なスリット部と、前記試料台座を保持するフレーム部と、前記フレーム部をガイドするガイド部と、を有することを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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