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公開番号2025097412
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-01
出願番号2023213591
出願日2023-12-19
発明の名称ステージ
出願人株式会社メルビル
代理人個人
主分類H01J 37/20 20060101AFI20250624BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】
本発明は、真空等での移送が可能なステージを提供することにある。
【解決手段】
本発明のステージは、試料を搭載する試料台座と、ステージ内部と外部との雰囲気を遮断可能なシャッター機能と、シール部と、を有することを特徴とする。また、本発明のステージの好ましい実施態様において、さらに、自動排気可能な第一の弁を有することを特徴とする。また、本発明のステージの好ましい実施態様において、さらに、開閉程度を調整可能な第二の弁を有することを特徴とする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
試料を搭載する試料台座と、ステージ内部と外部との雰囲気を遮断可能なシャッター機能と、シール部と、を有することを特徴とするステージ。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
さらに、自動排気可能な第一の弁を有することを特徴とする請求項１記載のステージ。
【請求項３】
さらに、開閉程度を調整可能な第二の弁を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のステージ。
【請求項４】
さらに、前記シャッター機能のシャッターを開閉可能なモーターを有することを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のステージ。
【請求項５】
さらに、フィードスルー部を有することを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のステージ。
【請求項６】
さらに、電極部を有することを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載のステージ。
【請求項７】
前記試料台座は、アタッチメント取付け用装置を備えることを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載のステージ。
【請求項８】
さらに、冷却部を有することを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載のステージ。
【請求項９】
前記冷却部に近接して設置された熱電素子を有することを特徴とする請求項７記載のステージ。
【請求項１０】
前記アタッチメント取付け用装置は、ネジ穴、又はクランプであることを特徴とする請求項６～８のいずれか一項に記載のステージ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージに関し、特に、真空下等での移送が可能なステージに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、透過型電子顕微鏡（TEM：Transmission Electron Microscope）、走査透過型電子顕微鏡（STEM：Scanning Transmission Electron Microscope）等の電子顕微鏡における高分解能解析が進んでおり、例えば、ナノオーダーからピコオーダーへと高分解能解析が要望されてきている。昨今、電子顕微鏡内で試料を観察しながら冷却（や加熱、電場印加、磁場印加、回転）などを行う“その場観察”が注目を浴びている。特に、試料の電子線によるダメージを低減させるためには試料冷却は有効と考えられており、この観点からの試料冷却も試されている。
【０００３】
また、SEMはTEMより倍率は落ちるが、観察試料のサイズの制限が少ないため、大きなサンプルを観察する事ができ、TEMよりは簡単に使えるため、観察分析の難易度はTEMより低いため、電子顕微鏡メーカーが種々の対象物を観察する事が出来る製品を開発している。
【０００４】
例えば、冷却手段を有する装置として、走査型電子顕微鏡の試料室内に、水分が昇華された試料を設置する冷却ステージと、この冷却ステージ上に延びて、走査型電子顕微鏡の観察下にて、試料の必要成分を切り出すマニュピレータと、が設けられて成る走査型電子顕微鏡を用いた試料処理装置が知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開昭６２－８５８４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような冷却のニーズがある中で、上述の特許文献１を含め従来技術においては、既存の冷却ステージの試料固定方法は試料台座部の上面に試料を張り付ける方法のみで、試料下面から冷却をおこなうにとどまっている。
【０００７】
また、従来技術においては、液体窒素で冷やしたSEMステージに外部から真空で移送する事で試料の観察を実現させている。すなわち、ロッド等を使用して、SEM中に試料を載せたカートリッジを挿入する手法が採用されているが、これは、電子顕微鏡の外側から移送するため、電気を流すための配線等を真空部に持ち込むことが物理的に不可能である。このため、多くの研究ユーザーは試料を冷やしながら、通電等も行いつつ、試料の観察を行うことが可能なSEMステージを切望している。
【０００８】
そこで、本発明は、真空等での移送が可能なステージを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明者は、ステージの機構について鋭意検討を行った結果、本発明を見出すに至った。
【００１０】
すなわち、本発明のステージは、試料を搭載する試料台座と、ステージ内部と外部との雰囲気を遮断可能なシャッター機能と、シール部と、を有することを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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