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公開番号2025112776
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-01
出願番号2024007228
出願日2024-01-22
発明の名称クリーンルームの空調システム
出願人三機工業株式会社
代理人弁理士法人山田特許事務所
主分類F24F 3/167 20210101AFI20250725BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】省スペース且つ安価にて好適にクリーンルームを実現し得るクリーンルームの空調システムを提供する。
【解決手段】対象空間の平面視における一部の領域に送風ユニットを備え、送風ユニットは浄化された空気を下方の衝突面に向かって送り出すよう配置されると共に、送風ユニットの吹出口の衝突面からの高さは0.5m以上3.0m以下であり、且つ、送風ユニットにおける吹出風速は0.15m/s以上1.5m/s以下である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
対象空間の平面視における一部の領域に送風ユニットを備え、
前記送風ユニットは浄化された空気を下方の衝突面に向かって送り出すよう配置されると共に、
前記送風ユニットの吹出口の前記衝突面に対する高さは０．５ｍ以上３．０ｍ以下であり、且つ、
前記送風ユニットにおける吹出風速は０．１５ｍ／ｓ以上１．５ｍ／ｓ以下であること
を特徴とするクリーンルームの空調システム。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
前記送風ユニットの上方に、対象空間内の空気を冷却する冷却ユニットを備えたこと
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの空調システム。
【請求項３】
対象空間から吸い出した空気を冷却する冷却ユニットを対象空間の外に備えると共に、
対象空間内の空気を吸い出して前記冷却ユニットに導く吸込口と、
前記冷却ユニットからの空調空気を対象空間に供給する供給口とを備えたこと
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの空調システム。
【請求項４】
前記送風ユニットは対象空間の壁に沿って配列されていること
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの空調システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの空調システムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
図８はクリーンルームにおける空調システムの一例を示している。対象空間Ｓはボールルーム方式の工業用クリーンルームとして構成されており、天井１には複数の送風ユニット２が設置されている。送風ユニット２は、天井１の上方の空気をファンにより筐体内に吸い込んでフィルタに吹き付け、該フィルタを通って浄化された空気を下方の対象空間Ｓへ送り出すようになっている。
【０００３】
対象空間Ｓの床３は、パンチングパネルやグレーチング等を素材とする上げ床として構成されている。送風ユニット２から対象空間Ｓに送り込まれた空気は、床３の開孔を通って還気として床下の空間に抜け、床下と天井裏を連通するレタンシャフト４を通って天井裏の空間へ送られ、再度送風ユニット２から対象空間Ｓに供給される。
【０００４】
工業用クリーンルームである対象空間Ｓでは生産装置等の機器５が稼働しており、室内の空気は、機器５の排熱を受け取り昇温した状態となり、還気として床下へ抜ける。昇温した還気は、床下から天井裏へ戻って再度送風ユニット２から送り出されるまでの間に、機器５の稼働に適した温度まで冷却される必要がある。ここに示した例では、レタンシャフト４の入口付近にドライコイルである冷却ユニット６を備え、対象空間Ｓの床３を抜けた後の還気を冷却するようになっている。
【０００５】
こうして、図８に示す空調システムでは、対象空間Ｓにおいては清浄な空気を送風ユニット２から供給しつつ、対象空間Ｓを含む設備全体で空気を循環させるようになっている。このような空気の循環において、送風ユニット２は対象空間Ｓに対し空気を概ね下向きに送り出すが、これによって形成される気流は一方向の押し出し流ではなく、室内で生じた塵埃を清浄空気により希釈混合するような非一方向の気流である。
【０００６】
尚、ここに示した例は模式化した図であって、実際の工業用クリーンルームには、図示されている以外に、例えば外調機や加湿器といった設備がさらに設けられることが通常であるが、ここでは図示を省略している。
【０００７】
この種のクリーンルームの空調システムに関連する先行技術文献としては、例えば、下記の特許文献１等がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２００８－１２８６１８号公報
特開２０２３－１４６６６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述の如き従来のクリーンルームでは、空気の循環やメンテナンス等のため、対象空間Ｓの周囲に、該対象空間Ｓから区画された空間がある程度の広さで必要である。多数の送風ユニット２が設置された天井１の上方には、送風ユニット２への空気の流れを確保し、且つ送風ユニット２のメンテナンスを可能とするために天井裏の空間が必要であるし、上げ床として設置された床３の下方にも、空気の流路として、また用力スペースあるいはメンテナンス用のスペースとして、ある程度の高さの床下空間を設ける必要がある。結果として、クリーンルームとして利用し得る領域が制限され、また設備全体の巨大化も招いていた。
【００１０】
また、対象空間Ｓに上述の如き非一方向の気流を広く供給するためには、広い面積の天井１をセル天井として構築し、そこに送風ユニット２を配置する必要がある。尚、クリーンルームの構成によっては、送風ユニットが天井に疎らに配置されるような場合もあるが、そういった場合でも、送風ユニットを一定の間隔で配置するため、送風ユニットとブランクパネルにより、やはり広い面積の天井を構築する必要がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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