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公開番号2025125647
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-28
出願番号2024021703
出願日2024-02-16
発明の名称クリーンルームの風量制御システム
出願人三機工業株式会社
代理人弁理士法人高田・高橋国際特許事務所
主分類F24F 7/06 20060101AFI20250821BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】クリーンルーム内に給気装置から独立して配置されるファンフィルタユニットを利用して省エネルギ化を図ることが可能なクリーンルームの風量制御システムを提供する。
【解決手段】クリーンルームの風量制御システムは、空調された清浄空気を給気ダクトを介してクリーンルームに給気する給気装置と、クリーンルーム内に給気装置から独立して配置され、クリーンルーム内に清浄空気を供給するファンフィルタユニットと、給気装置の運転を制御する制御装置と、を備える。制御装置は、ファンフィルタユニットの非作動時には、クリーンルームの容積に基づいて設定された固定風量で前記給気装置を運転し、ファンフィルタユニットが作動すると、固定風量からファンフィルタユニットの風量を減算した風量で給気装置を運転し、クリーンルーム内の温度および湿度を取得した後、取得した温度および湿度に応じた可変風量で給気装置を運転する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
安全キャビネットが配置されたクリーンルームの風量制御システムであって、
空調された清浄空気を給気ダクトを介して前記クリーンルームに給気する給気装置と、前記クリーンルーム内に前記給気装置から独立して配置され、前記クリーンルーム内に清浄空気を供給するファンフィルタユニットと、前記給気装置の運転を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記ファンフィルタユニットの非作動時には、前記クリーンルームの容積Ｖｒに基づいて設定された固定風量Ｑ
ＡＣ１
で前記給気装置を運転し、
前記ファンフィルタユニットが作動すると、前記固定風量Ｑ
ＡＣ１
から前記ファンフィルタユニットの風量Ｑ
ＦＦＵ
を減算した風量で前記給気装置を運転し、前記クリーンルーム内の温度および湿度を取得した後、取得した温度および湿度に応じた可変風量Ｑ
ＡＣ２
で前記給気装置を運転する、クリーンルームの風量制御システム。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
請求項１に記載のクリーンルームの風量制御システムであって、前記クリーンルーム内の温度および湿度を計測するセンサをさらに備えるものにおいて、
前記制御装置は、
前記センサから取得した前記クリーンルーム内の温度および湿度に基づき前記可変風量Ｑ
ＡＣ２
を算出し、前記クリーンルームの設定換気回数をＮｖとし、（Ｑ
ＡＣ２
＋Ｑ
ＦＦＵ
）Ｖｒ＞Ｎｖの条件を満たさない場合には、算出した前記可変風量Ｑ
ＡＣ２
を補正する、クリーンルームの風量制御システム。
【請求項３】
請求項１に記載のクリーンルームの風量制御システムであって、前記給気装置が、前記給気ダクトに設けられる定風量装置を備えるものにおいて、
前記制御装置は、
前記ファンフィルタユニットの非作動時には、前記定風量装置を前記固定風量Ｑ
ＡＣ１
に応じた開度に制御し、
前記ファンフィルタユニットの作動時には、前記定風量装置を全開に制御する、クリーンルームの風量制御システム。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のクリーンルームの風量制御システムであって、前記クリーンルーム内に前記安全キャビネットに対向させて隔壁装置が設置され、前記安全キャビネットと前記隔壁装置とで空間が画成されるものにおいて、
前記隔壁装置は、前記ファンフィルタユニットを備え、前記空間に前記ファンフィルタユニットから清浄空気が供給される、クリーンルームの風量制御システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、安全キャビネットが配置されたクリーンルームの風量制御システムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
この種の風量制御システムは、例えば、下記特許文献１に開示されている。このものでは、クレームルームでの作業工程を、安全キャビネットで細胞加工が行われる細胞加工工程と、インキュベータにて細胞培養を行う細胞培養工程とに分け、各工程で給気装置の運転を異なる運転モードで制御している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１３６７１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、クリーンルーム内に給気装置から独立したファンフィルタユニットを配置し、このファンフィルタユニットからクリーンルーム内に清浄空気を供給することがある。ファンフィルタユニットの風量を利用して省エネルギ化を図ることについては従来不知である。
【０００５】
本開示は、上述のような課題に鑑みてなされたものである。本開示は、クリーンルーム内に給気装置から独立して配置されるファンフィルタユニットを利用して省エネルギ化を図ることが可能なクリーンルームの風量制御システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本開示の第１の観点は、安全キャビネットが配置されるクリーンルームの風量制御システムに関連する。風量制御システムは、空調された清浄空気を給気ダクトを介してクリーンルームに給気する給気装置と、クリーンルーム内に給気装置から独立して配置され、クリーンルーム内に清浄空気を供給するファンフィルタユニットと、給気装置の運転を制御する制御装置と、を備える。制御装置は、ファンフィルタユニットの非作動時には、クリーンルームの容積Ｖｒに基づいて設定された固定風量Ｑ
ＡＣ１
で給気装置を運転し、ファンフィルタユニットが作動すると、固定風量Ｑ
ＡＣ１
からファンフィルタユニットの風量Ｑ
ＦＦＵ
を減算した風量で給気装置を運転し、クリーンルーム内の温度および湿度を取得した後、取得した温度および湿度に応じた可変風量Ｑ
ＡＣ２
で給気装置を運転する。
【０００７】
第２の観点は、第１の観点に加えて、次の特徴を更に有する。風量制御システムは、クリーンルーム内の温度および湿度を計測するセンサをさらに備える。制御装置は、センサから取得したクリーンルーム内の温度および湿度に基づき可変風量Ｑ
ＡＣ２
を算出し、クリーンルームの設定換気回数をＮｖとし、（Ｑ
ＡＣ２
＋Ｑ
ＦＦＵ
）／Ｖｒ＞Ｎｖの条件を満たさない場合には、算出した可変風量Ｑ
ＡＣ２
を補正する。
【０００８】
第３の観点は、第１の観点に加えて、次の特徴を更に有する。給気装置は給気ダクトに設けられる定風量装置を備える。制御装置は、ファンフィルタユニットの非作動時には、定風量装置を固定風量Ｑ
ＡＣ１
に応じた開度に制御し、ファンフィルタユニットの作動時には、定風量装置を全開に制御する。
【０００９】
第４の観点は、第１から第３のいずれか１つの観点に加えて、次の特徴を更に有する。クリーンルーム内に安全キャビネットに対向させて隔壁装置が設置され、安全キャビネットと隔壁装置とで空間が画成される。隔壁装置はファンフィルタユニットを備え、上記空間にファンフィルタユニットから清浄空気が供給される。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、ファンフィルタユニットの作動時に、ファンフィルタユニットの風量を利用することで、給気装置からの給気風量を減らすことができ、省エネルギ化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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