特許ウォッチ

公開番号2025114196
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-05
出願番号2024008724
出願日2024-01-24
発明の名称真空可変コンデンサの駆動制御装置
出願人株式会社明電舎
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01G 5/01 20060101AFI20250729BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】真空可変コンデンサの静電容量の制御応答を高速化する共に真空コンデンサの長寿命化を図る。
【解決手段】真空可変コンデンサ1の駆動制御装置10は、モータ5、レゾルバ6及び制御部8を備える。モータ5は真空可変コンデンサ1の可動電極を駆動させる。レゾルバ6はモータ5の回転位置を検出する。制御部8はレゾルバ6により検出された前記回転位置に基づきモータ5の回転を制御する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
真空可変コンデンサの駆動制御装置であって、
真空可変コンデンサの可動電極を駆動させるモータと、
このモータの回転位置を検出するセンサと、
このセンサにより検出された前記回転位置に基づき前記モータの回転を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする真空可変コンデンサの駆動制御装置。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記センサは、レゾルバであることを特徴とする請求項１に記載の真空可変コンデンサの駆動制御装置。
【請求項３】
前記真空可変コンデンサは、ボールねじ駆動方式の真空可変コンデンサであることを特徴とする請求項１に記載の真空可変コンデンサの駆動制御装置。
【請求項４】
前記モータは、最大静止トルクが１．０Ｎｍ以下のステッピングモータであることを特徴とする請求項１に記載の真空可変コンデンサの駆動制御装置。
【請求項５】
前記モータは、０～１０回転の動作範囲において０～３３００ｒｐｍの回転速度で制御されることを特徴とする請求項１に記載の真空可変コンデンサの駆動制御装置。
【請求項６】
前記可動電極はこの可動電極の可動範囲の一端から他端に至る移動時間が０．５秒以下であることを特徴とする請求項１に記載の真空可変コンデンサの駆動制御装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体やＦＰＤ（ｆｌａｔｐａｎｅｌｄｉｓｐｌａｙ）の薄膜製造装置の高周波整合回路に適用される真空可変コンデンサの制御応答の高速化技術に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
真空可変コンデンサとしては、静電容量の制御応答の高速化を図るために、可動導体にボールねじを備えると共に真空容器の可動側端部に当該ボールねじと螺合して回転可能な回転部を備えたボールねじ駆動方式のものが利用されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４４４９５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、薄膜製造装置の高性能化に伴い、真空可変コンデンサの静電容量を任意に高速制御するために、当該真空コンデンサの固定電極に対する可動電極の指令位置と実際位置とを高速に同期させるニーズが高くなっている。
【０００５】
前記真空可変コンデンサの静電容量をさらに高速制御するには前記可動導体を往復動作させるモータを大型化させる必要がある。また、前記モータを大型化すると、ボールねじや可動導体等の可動電極の駆動部品に対する負荷が増加し、前記真空可変コンデンサの耐久性に支障が生じる。さらに、前記モータを高速化させると前記指令位置と前記実際位置とが同期しなくなる現象（以下、脱調現象）が生じて前記真空可変コンデンサの静電容量の制御応答が低下することがある。
【０００６】
本発明は、以上の事情に鑑み、真空可変コンデンサの静電容量の制御応答を高速化する共に真空コンデンサの長寿命化を図ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明の一態様は、真空可変コンデンサにおいて、真空可変コンデンサの可動電極を動作させるモータと、このモータの回転位置を検出するセンサと、このセンサにより検出された前記回転位置に基づき前記モータの回転を制御する制御部を備える。
【０００８】
本発明の一態様は、前記真空可変コンデンサの駆動制御装置において、前記センサはレゾルバである。
【０００９】
本発明の一態様は、前記真空可変コンデンサの駆動制御装置において、前記真空可変コンデンサは、ボールねじ駆動方式の真空可変コンデンサである。
【００１０】
本発明の一態様は、前記真空可変コンデンサの駆動制御装置において、前記モータは、最大静止トルクが１．０Ｎｍ以下のステッピングモータである。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許