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公開番号2025114246
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-05
出願番号2024008826
出願日2024-01-24
発明の名称液体塗布装置、および表示パネルの製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B05C 11/10 20060101AFI20250729BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】液体塗布装置においてミストをより確実に回収するために有利な技術を提供する。
【解決手段】基板に液体を塗布する液体塗布装置は、前記基板に向けて液滴を吐出する吐出部と、前記吐出部からの液滴の吐出によって発生するミストを収集するミスト収集部とを備え、前記ミスト収集部は、前記ミストを吸引する吸引流路と、前記ミストの凝集により生成される液体を受ける液体受け部を含み、前記吸引流路は、前記ミストを吸引する吸引口と、前記ミストを排出する排出口と、前記排出口に向かって上方に延びる上昇流路と、前記上昇流路に合流するように前記吸引口から前記上昇流路に向かって斜め上方に延びる傾斜流路と、を含み、前記液体受け部は、前記上昇流路の下方に配置されている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板に液体を塗布する液体塗布装置であって、
前記基板に向けて液滴を吐出する吐出部と、
前記吐出部からの液滴の吐出によって発生するミストを収集するミスト収集部と、を備え、
前記ミスト収集部は、前記ミストを吸引する吸引流路と、前記ミストの凝集により生成される液体を受ける液体受け部を含み、
前記吸引流路は、前記ミストを吸引する吸引口と、前記ミストを排出する排出口と、前記排出口に向かって上方に延びる上昇流路と、前記上昇流路に合流するように前記吸引口から前記上昇流路に向かって斜め上方に延びる傾斜流路とを含み、
前記液体受け部は、前記上昇流路の下方に配置されている、
ことを特徴とする液体塗布装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記上昇流路は、部分的に前記傾斜流路に対面する第１壁面を含む複数の壁面によって規定される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体塗布装置。
【請求項３】
前記ミストは、前記第１壁面において凝集し、前記第１壁面を伝って前記液体受け部に移動する、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体塗布装置。
【請求項４】
前記複数の壁面は、前記第１壁面に対向する第２壁面を有し、前記第２壁面は、前記液体受け部の上方に配置されている、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体塗布装置。
【請求項５】
前記第２壁面は、前記第１壁面に平行な部分を含む、
ことを特徴とする請求項４に記載の液体塗布装置。
【請求項６】
前記傾斜流路の上面を構成する傾斜面は、前記第２壁面に接続され、
前記傾斜面と前記第２壁面との接続部は、前記液体受け部の上方に配置されている、
ことを特徴とする請求項４に記載の液体塗布装置。
【請求項７】
前記傾斜面には、前記液体受け部から離れる方向に窪んだ凹部が設けられ、
前記凹部は、水平方向に延在し、前記凹部の少なくとも一部は、前記液体受け部の上方に配置されている、
ことを特徴とする請求項６に記載の液体塗布装置。
【請求項８】
前記凹部と前記傾斜面との境界を形成する第１稜線、および、前記第１稜線と前記吸引口との間に位置し前記凹部と前記傾斜面との他の境界を形成する第２稜線、のうち少なくとも前記第１稜線が前記液体受け部の上方に配置されている、
ことを特徴とする請求項７に記載の液体塗布装置。
【請求項９】
前記第１稜線および前記第２稜線の双方が前記液体受け部の上方に配置されている、
ことを特徴とする請求項８に記載の液体塗布装置。
【請求項１０】
前記液体受け部に溜まった液体を回収する液体回収部を更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体塗布装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体塗布装置、および表示パネルの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット装置を用いて機能素子の材料を基板に塗布して目的とするパターンを形成するインクジェット方式が注目されている。インクジェット方式は、オンデマンドパターニングが可能であるために材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであるために製造装置の小型化に有利であること、大面積の基板に対して高速に液体を塗布できることなどのメリットを有する。
【０００３】
一方、インクジェット方式では、液滴を吐出する際にミストが発生しうる。特許文献１には、ミストトラップ面と、廃液保持部とを有するミスト回収ユニットが記載されている。吸込孔より吸い込まれた空気は、分離壁によって画定される吸引流路を通過し、ミストトラップ面に吹き付けられて、その空気に含まれるミストは、ミストトラップ面に付着する。ミストトラップ面に付着したミストは、集合して液体となり、ミストトラップ面から滴下して廃液保持部によって保持される。しかし、特許文献１に記載されたミスト回収ユニットでは、ミストトラップ面に付着したミストによって形成される液体の一部は、分離壁を伝って吸込孔から基板に落下しうる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許６８００６１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、液体塗布装置においてミストをより確実に回収するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の１つの側面は、基板に液体を塗布する液体塗布装置に係り、前記液体塗布装置は、前記基板に向けて液滴を吐出する吐出部と、前記吐出部からの液滴の吐出によって発生するミストを収集するミスト収集部とを備え、前記ミスト収集部は、前記ミストを吸引する吸引流路と、前記ミストの凝集により生成される液体を受ける液体受け部を含み、前記吸引流路は、前記ミストを吸引する吸引口と、前記ミストを排出する排出口と、前記排出口に向かって上方に延びる上昇流路と、前記上昇流路に合流するように前記吸引口から前記上昇流路に向かって斜め上方に延びる傾斜流路と、を含み、前記液体受け部は、前記上昇流路の下方に配置されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、液体塗布装置においてミストをより確実に回収するために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１乃至第３実施形態の液体塗布装置の構成を例示的に示す図。
第１実施形態のミスト収集部の構成を示す模式的な斜視図。
図２のＡ-Ａ断面を模式的に示す断面図。
図２のＢ－Ｂ断面を模式的に示す断面図。
第２実施形態のミスト収集部の構成を示す模式的な断面図。
第３実施形態のミスト収集部の構成を示す模式的な斜視図。
図６のＡ-Ａ断面を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
図１を参照しながら第１実施形態の液体塗布装置１の構成を説明する。本明細書および添付図面では、図１に示されるように、基板２が配置される面と平行な面をＸＹ平面とするＸＹＺ座標系において方向を示す。液体塗布装置１は、基板２に液体を塗布する装置として構成される。液体塗布装置１は、例えば、機能素子を形成するための材料としての液体４（インク）からなる液滴を基板２に向けて吐出することによって基板２に液体４を塗布しうる。これによって基板２の上に液体４からなるパターンが配置されうる。基板２に塗布された液体４からなるパターンは、例えば、乾燥および焼成されることによって固体の膜あるいはパターンに変換されうる。機能素子は、例えばＯＬＥＤであり、液体４は、例えばＯＬＥＤの複数の有機層のいずれかを形成するための材料である。
（【００１１】以降は省略されています）

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