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公開番号2025117983
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-13
出願番号2024013017
出願日2024-01-31
発明の名称保持機構及び露光装置
出願人ウシオ電機株式会社
代理人弁理士法人南青山国際特許事務所
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250805BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】様々なワークを適正に吸着することが可能な保持機構及び露光装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一形態に係る保持機構は、吸着部と、弾性シール部材と、クランプ機構とを具備する。前記吸着部は、ワークを真空吸着する吸着面を有する。前記弾性シール部材は、前記吸着面を上側から見た平面視において前記ワークにより少なくとも一部が隠れるように前記吸着面の周りに配置される。前記クランプ機構は、前記ワークが前記弾性シール部材に接触するように前記ワークを押さえるクランプを有し、前記吸着部により前記ワークを吸着する際に前記クランプを駆動して前記ワークを押さえる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワークを真空吸着する吸着面を有する吸着部と、
前記吸着面を上側から見た平面視において前記ワークにより少なくとも一部が隠れるように前記吸着面の周りに配置された弾性シール部材と、
前記ワークが前記弾性シール部材に接触するように前記ワークを押さえるクランプを有し、前記吸着部により前記ワークを吸着する際に前記クランプを駆動して前記ワークを押さえるクランプ機構と
を具備する保持機構。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の保持機構であって、
前記クランプは、前記平面視において前記ワークと前記弾性シール部材とが重なる位置で前記ワークを押さえる
保持機構。
【請求項３】
請求項１に記載の保持機構であって、
前記ワークの平面形状及び前記弾性シール部材の平面形状は、矩形であり、
前記クランプは、前記ワークの外縁となる４辺のうち少なくとも１辺に沿って前記ワークを押さえる
保持機構。
【請求項４】
請求項１に記載の保持機構であって、
前記クランプ機構は、前記吸着部による前記ワークの吸着が完了し前記ワークに対する加工処理が実行される前に、前記クランプにより前記ワークを押さえる動作を解除する
保持機構。
【請求項５】
請求項１から４のうちいずれか一項に記載の保持機構であって、
前記クランプ機構は、前記クランプを開閉して前記ワークを押さえる機構であり、前記クランプを開く動作を少なくとも二度にわけて実行する
保持機構。
【請求項６】
請求項５に記載の保持機構であって、
前記クランプを開く動作は、前記クランプを前記ワークから離れた第１の位置まで離間させる第１の開動作と、前記クランプを前記第１の位置よりも離れた第２の位置まで離間させる第２の開動作とを含む
保持機構。
【請求項７】
請求項６に記載の保持機構であって、
前記クランプ機構は、前記吸着部による前記ワークの吸着が完了し前記ワークに対する加工処理が実行される前に前記第１の開動作を実行し、前記加工処理が実行された後に前記第２の開動作を実行する
保持機構。
【請求項８】
請求項６に記載の保持機構であって、
前記クランプ機構は、前記吸着部による前記ワークの吸着の完了を示す信号、又は、前記ワークに対する前記加工処理の開始を示す信号に基いて、前記第１の開動作を実行する
保持機構。
【請求項９】
請求項６に記載の保持機構であって、
前記加工処理は、前記ワークにパターンを露光する露光部により前記ワークを露光する露光処理であり、
前記クランプ機構は、前記ワークに対する前記露光処理が実行された後に前記露光部の露光位置から前記ワークが離れた場合に前記第２の開動作を実行する
保持機構。
【請求項１０】
請求項６に記載の保持機構であって、
前記第１の位置における前記クランプと前記ワークとの離間距離は、１ｍｍ以下である
保持機構。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを保持する保持機構及び露光装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ワークを真空吸着するステージにワークをクランプで固定する技術が知られている。例えば特許文献１には、多数の吸引穴が形成された設置台にワークを固定するクランプ部を備えるワーク固定装置について記載されている。この装置には、設置台を囲むように幅方向クランプ部及び前後方向クランプ部が設けられる。設置台では各吸引穴によりワークが吸引され、各クランプ部に設けられた屈曲ロッドにより、ワークが設置台に押し付けられる（特許文献１の明細書段落［００３２］、［００３５］、［００４７］、図４、図８等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－２１０４３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようにワークをクランプする場合でも、吸着ステージとワークとの間に隙間があると、ワークを吸着する圧力が下がらずワークを適正に吸着できないことが考えられる。例えばワークのサイズ、厚さ、表面の凹凸、ワーク自体の反りやうねり等によっては、吸着ステージとワークとの間の隙間が発生しやすくなり、ワークの吸着が難しくなる可能性がある。このため、様々なワークを適正に吸着することが可能な技術が求められている。
【０００５】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、様々なワークを適正に吸着することが可能な保持機構及び露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る保持機構は、吸着部と、弾性シール部材と、クランプ機構とを具備する。
前記吸着部は、ワークを真空吸着する吸着面を有する。
前記弾性シール部材は、前記吸着面を上側から見た平面視において前記ワークにより少なくとも一部が隠れるように前記吸着面の周りに配置される。
前記クランプ機構は、前記ワークが前記弾性シール部材に接触するように前記ワークを押さえるクランプを有し、前記吸着部により前記ワークを吸着する際に前記クランプを駆動して前記ワークを押さえる。
【０００７】
この保持機構では、ワークを真空吸着する吸着面の周りに弾性シール部材が設けられる。この弾性シール部材は、吸着面を上側から見た平面視においてワークにより少なくとも一部が隠れるように構成される。ワークを吸着する際には、クランプ機構のクランプにより弾性シール部材に接触するようにワークが押さえられる。これによりワークの真空吸着を妨げる隙間の発生が抑制され、様々なワークを適正に真空吸着することが可能となる。
【０００８】
前記クランプは、前記平面視において前記ワークと前記弾性シール部材とが重なる位置で前記ワークを押さえてもよい。
【０００９】
前記ワークの平面形状及び前記弾性シール部材の平面形状は、矩形であってもよい。この場合、前記クランプは、前記ワークの外縁となる４辺のうち少なくとも１辺に沿って前記ワークを押さえてもよい。
【００１０】
前記クランプ機構は、前記吸着部による前記ワークの吸着が完了し前記ワークに対する加工処理が実行される前に、前記クランプにより前記ワークを押さえる動作を解除してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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