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公開番号
2025119447
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-08-14
出願番号
2024014339
出願日
2024-02-01
発明の名称
粒子径分布測定装置、及び、試料中の粒子群の拡散状態判定方法
出願人
株式会社島津製作所
代理人
弁理士法人クシブチ国際特許事務所
主分類
G01N
15/0205 20240101AFI20250806BHJP(測定;試験)
要約
【課題】試料中の粒子群の拡散状態を確認する作業におけるユーザーの手間を軽減する。
【解決手段】粒子径分布測定装置100は、光源11から試料SPに光を照射し、試料SPで回折及び散乱した光を複数の受光素子171で受光して得られる光強度分布DLに基づいて、試料SP中の粒子群の粒子径分布DPを測定する粒子径分布測定装置100であって、第N期間における光強度分布DLと、第N期間よりも後の第(N+1)期間における光強度分布DLと、に基づいて、試料SP中の粒子群の拡散状態を判定する指標PRを生成する生成部512と、指標PRに基づいて、試料SP中の粒子群の拡散状態が安定したか否かを判定する判定部513と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲
【請求項1】
光源から試料に光を照射し、前記試料で回折及び散乱した光を複数の受光素子で受光して得られる光強度分布に基づいて、前記試料中の粒子群の粒子径分布を測定する粒子径分布測定装置であって、
第1期間における前記光強度分布と、前記第1期間よりも後の第2期間における前記光強度分布と、に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態を判定する指標を生成する生成部と、
前記指標に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態が安定したか否かを判定する判定部と、を備える、
粒子径分布測定装置。
続きを表示(約 1,000 文字)
【請求項2】
前記判定部が前記試料中の粒子群の拡散状態が安定したと判定した場合に、前記光強度分布に基づいて、前記粒子径分布の測定を開始する測定実行部、を備える、
請求項1に記載の粒子径分布測定装置。
【請求項3】
前記生成部は、
前記複数の受光素子のうち、予め設定された少なくとも1つの受光素子である特定受光素子が検出した光強度の前記第1期間における標準偏差である第1標準偏差と、前記特定受光素子が検出した光強度の前記第2期間における標準偏差である第2標準偏差との差を、前記指標として生成する、
請求項1、又は請求項2に記載の粒子径分布測定装置。
【請求項4】
前記生成部は、
前記複数の受光素子のうち、予め設定された少なくとも1つの受光素子である特定受光素子が検出した光強度の前記第1期間における最大値と最小値との差である第1差分と、前記特定受光素子が検出した光強度の前記第2期間における最大値と最小値と差であるである第2差分との差を、前記指標として生成する、
請求項1、又は請求項2に記載の粒子径分布測定装置。
【請求項5】
前記特定受光素子は、前記複数の受光素子のうち、入射角が予め設定された第1角度以下の受光素子である、
請求項3に記載の粒子径分布測定装置。
【請求項6】
前記判定部は、前記第1標準偏差と前記第2標準偏差との差が、予め設定された閾値以下である場合に、前記試料中の粒子群の拡散状態が安定したと判定する、
請求項3に記載の粒子径分布測定装置。
【請求項7】
光源から試料に光を照射し、前記試料で回折及び散乱した光を複数の受光素子で受光して得られる光強度分布に基づいて、前記試料中の粒子群の粒子径分布を測定する粒子径分布測定装置において、前記試料中の粒子群の拡散状態を判定する判定方法であって、
第1期間における前記光強度分布と、前記第1期間よりも後の第2期間における前記光強度分布と、に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態を判定する指標を生成する生成ステップと、
前記指標に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態が安定したか否かを判定する判定ステップと、を含む、
試料中の粒子群の拡散状態判定方法。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、粒子径分布測定装置、及び、試料中の粒子群の拡散状態判定方法に関する。
続きを表示(約 1,800 文字)
【背景技術】
【0002】
従来、粒子径分布測定装置において、作業者の手間を軽減する種々の技術が知られている。
例えば、特許文献1には、複数の測定セルを備える粒子径分計測装置において、ユーザーの希望する順番で用いて測定を行いたい場合に、各測定セルの物理的配置を意識しない分析設計を可能とすることでユーザーの負担を軽減することができる粒子径分布測定装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2019-163942号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、粒子径分布装置は測定セルに粒子を配置すれば、分析を開始できる訳ではなく、例え測定セルがひとつであったとしても、分析準備が完了するまでは分析を開始できなかった。例えば、分析準備のひとつに、粒子の散乱状態を安定させるまで待機するステップが存在する。測定対象である試料は、装置に投入した直後では、凝固している可能性があり、凝固したまま分析してしまうと誤った分析結果になり、所望の分析データを獲得できなかった。また、このような散乱状態の安定化の重要性を知っているユーザーであったとしても、散乱状態が安定したか否か判定は、目視によることが多く、ユーザーに熟練した知識が必要であった。
【0005】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、試料中の粒子群の拡散状態を確認する作業におけるユーザーの手間を軽減することの可能な粒子径分布測定装置、及び、試料中の粒子群の拡散状態判定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明の第1態様に係る粒子径分布測定装置は、光源から試料に光を照射し、前記試料で回折及び散乱した光を複数の受光素子で受光して得られる光強度分布に基づいて、前記試料中の粒子群の粒子径分布を測定する粒子径分布測定装置であって、第1期間における前記光強度分布と、前記第1期間よりも後の第2期間における前記光強度分布と、に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態を判定する指標を生成する生成部と、前記指標に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態が安定したか否かを判定する判定部と、を備える。
【0007】
本発明の第2態様に係る試料中の粒子群の拡散状態判定方法は、光源から試料に光を照射し、前記試料で回折及び散乱した光を複数の受光素子で受光して得られる光強度分布に基づいて、前記試料中の粒子群の粒子径分布を測定する粒子径分布測定装置において、前記試料中の粒子群の拡散状態を判定する判定方法であって、第1期間における前記光強度分布と、前記第1期間よりも後の第2期間における前記光強度分布と、に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態を判定する指標を生成する生成ステップと、前記指標に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態が安定したか否かを判定する判定ステップと、を含む。
【発明の効果】
【0008】
本発明の第1態様に係る粒子径分布測定装置、及び、本発明の第2態様に係る試料中の粒子群の拡散状態判定方法は、第1期間における光強度分布と、第1期間よりも後の第2期間における光強度分布と、に基づいて、試料中の粒子群の拡散状態を判定する指標を生成し、前記指標に基づいて、前記試料中の粒子群の拡散状態が安定したか否かを判定する。
よって、試料中の粒子群の拡散状態を判定する指標を、適正に生成することが可能になる。また、指標に基づいて、試料中の粒子群の拡散状態が安定したか否かを判定するため、試料中の粒子群の拡散状態が安定したか否かを、適正に判定できる。したがって、試料中の粒子群の拡散状態を確認する作業におけるユーザーの手間を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
本実施形態に係る粒子径分布測定装置の構成の一例を示す図である。
制御部の構成の一例を示す図である。
第1期間における光強度分布の一例を示すグラフである。
指標の変化の一例を示すグラフである。
制御部の処理の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、図面を参照して本実施形態について説明する。
(【0011】以降は省略されています)
この特許をJ-PlatPat(特許庁公式サイト)で参照する
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