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公開番号2025121002
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-19
出願番号2024016126
出願日2024-02-06
発明の名称チャックテーブル及びハーフカット方法
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 41/06 20120101AFI20250812BHJP(研削;研磨)
要約【課題】反りが有るワークの下面全面を吸引保持することが可能なチャックテーブルを提供する。
【解決手段】保持面で板状ワーク(11)を吸引保持するチャックテーブル(16、80)であって、上面に保持面を有する基台(51)と、保持面に複数配置され下面に貫通し吸引源(63)に連通可能な吸引孔(60)と、保持面全面に所定の厚みに配置したエラストマーの弾性部材(70、82)と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
保持面で板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、
上面に該保持面を有する基台と、該保持面に複数配置され下面に貫通し吸引源に連通可能な吸引孔と、該保持面全面に所定の厚みに配置したエラストマーの弾性部材と、からなるチャックテーブル。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
該弾性部材は、温度が２０℃から３０℃のときの動的粘弾性が０．１ｔａｎδ以上０．４ｔａｎδ以下である請求項１記載のチャックテーブル。
【請求項３】
該弾性部材は、熱可塑性エラストマーである、請求項１または２記載のチャックテーブル。
【請求項４】
該弾性部材は、発泡エラストマーである、請求項１または２記載のチャックテーブル。
【請求項５】
該板状ワークは、一方の面にバンプを備え、該バンプを該弾性部材に接触させて保持する請求項１または２記載のチャックテーブル。
【請求項６】
請求項１記載のチャックテーブルに保持された板状ワークを切削ブレードで、該板状ワークの厚みに満たない深さの切削溝を形成するハーフカット方法であって、
該チャックテーブルに該板状ワークを吸引保持させる保持工程と、
該保持工程で保持された該板状ワークを切削送り方向に移動させ、該切削ブレードに対する該切削送り方向の複数の位置での該板状ワークの上面高さを測定する、ワークの上面高さ測定工程と、
該上面高さ測定工程で測定した複数の上面高さを基に、該上面から所定の深さの該切削溝となるように該板状ワークを切削送り方向に移動させつつ該切削ブレードを昇降させて該切削溝を形成する切削工程と、
からなる、ハーフカット方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状のワークを保持するチャックテーブル、及び、板状のワークをハーフカットするハーフカット方法に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１や特許文献２に開示のように、板状のワークを切削加工する際には、ワークの下面をチャックテーブルの保持面に吸引保持し、ワークの上面側から切削ブレードを切り込ませて切削溝（加工溝）を形成する。切削加工では、例えば、ワークの厚みに満たない深さの切削溝を形成するハーフカットが行われる。しかし、ワークの反りによって、ワークの下面全面がチャックテーブルの保持面に接触していない場合に、ワークを保持面に十分に吸引保持できないことがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－０８２６２７号公報
特開２０２０－０６２７２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
チャックテーブルの保持面にワークを十分に吸引保持できない状態では、切削加工の際にワークにズレが生じ、切削ブレードが破損するなどの問題が発生することがある。
【０００５】
従って、ワークに対して切削加工などの加工を行う加工装置において、反りが有るワークの下面全面を吸引保持するチャックテーブルを提供するという解決すべき課題がある。
【０００６】
また、反りが有るワークを切削加工する際に、ワークの反りの影響を加味せずに加工を行ってしまうと、切削加工で形成する切削溝の深さがばらつくおそれがある。
【０００７】
従って、切削装置においては、反りが有るワークの切削加工の際に、ワークの厚みに満たない深さの切削溝を高い精度で形成するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、保持面で板状ワークを吸引保持するチャックテーブルであって、上面に該保持面を有する基台と、該保持面に複数配置され下面に貫通し吸引源に連通可能な吸引孔と、該保持面全面に所定の厚みに配置したエラストマーの弾性部材と、からなる。
【０００９】
該弾性部材は、温度が２０℃から３０℃のときの動的粘弾性が０．１ｔａｎδ以上０．４ｔａｎδ以下であることが好ましい。
【００１０】
該弾性部材は、例えば、熱可塑性エラストマー、あるいは、発泡エラストマーであることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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