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公開番号2025152206
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-09
出願番号2024053991
出願日2024-03-28
発明の名称電子銃部品、電子銃、及び、電子線装置
出願人デンカ株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01J 37/073 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】電子を好適に放出することが可能な電子銃部品を提供する。
【解決手段】電子を放出する電子放出部材と、開口を有するサプレッサ電極と、を備え、電子放出部材が前記開口に挿通されており、前記開口の開口面及び断面のうちの最小面Bにおいて、電子放出部材が占める領域Aの中心C1と最小面Bの中心C2との距離D、及び、電子放出部材の領域Aの半径R1の和の、最小面Bの半径R2に対する割合([(D+R1)/R2]×100)が80.0%以下である、電子銃部品。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
電子を放出する電子放出部材と、開口を有するサプレッサ電極と、を備え、
前記電子放出部材が前記開口に挿通されており、
前記開口の開口面及び断面のうちの最小面において、前記電子放出部材が占める領域の中心と前記最小面の中心との距離Ｄ、及び、前記電子放出部材の前記領域の半径Ｒ１の和の、前記最小面の半径Ｒ２に対する割合（［（Ｄ＋Ｒ１）／Ｒ２］×１００）が８０．０％以下である、電子銃部品。
続きを表示（約 360 文字）【請求項２】
前記半径Ｒ２に対する前記距離Ｄの割合（［Ｄ／Ｒ２］×１００）が３０．０％以下である、請求項１に記載の電子銃部品。
【請求項３】
前記半径Ｒ２に対する前記半径Ｒ１の割合（［Ｒ１／Ｒ２］×１００）が５０．０％以下である、請求項１に記載の電子銃部品。
【請求項４】
前記距離Ｄが６０μｍ以下である、請求項１に記載の電子銃部品。
【請求項５】
前記半径Ｒ１が１２５μｍ以下であり、前記半径Ｒ２が５００μｍ以下である、請求項１に記載の電子銃部品。
【請求項６】
請求項１～５のいずれか一項に記載の電子銃部品と、前記サプレッサ電極に対向する引出電極と、を備える、電子銃。
【請求項７】
請求項６に記載の電子銃を備える、電子線装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、電子銃部品、電子銃、電子線装置等に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
電子銃は、電子顕微鏡、半導体検査装置等の電子線装置に使用されている。電子銃は、電子銃部品と、引出電極と、を備えており、電子銃部品は、電子を放出する電子放出部材と、開口を有するサプレッサ電極と、を備えている。電子銃の構成としては、各種構成が検討されている（例えば、下記特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－２５０４９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電子銃部品において、電子放出部材がサプレッサ電極の開口に挿通されている場合がある。この場合、サプレッサ電極の開口において電子放出部材とサプレッサ電極とが近接していると、電子放出部材とサプレッサ電極との間で放電が生じる等して電子の放出が妨げられる場合がある。
【０００５】
本開示の一側面は、電子を好適に放出することが可能な電子銃部品を提供することを目的とする。本開示の他の一側面は、このような電子銃部品を備える電子銃を提供することを目的とする。本開示の他の一側面は、このような電子銃を備える電子線装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］電子を放出する電子放出部材と、開口を有するサプレッサ電極と、を備え、前記電子放出部材が前記開口に挿通されており、前記開口の開口面及び断面のうちの最小面において、前記電子放出部材が占める領域の中心と前記最小面の中心との距離Ｄ、及び、前記電子放出部材の前記領域の半径Ｒ１の和の、前記最小面の半径Ｒ２に対する割合（［（Ｄ＋Ｒ１）／Ｒ２］×１００）が８０．０％以下である、電子銃部品。
［２］前記半径Ｒ２に対する前記距離Ｄの割合（［Ｄ／Ｒ２］×１００）が３０．０％以下である、［１］に記載の電子銃部品。
［３］前記半径Ｒ２に対する前記半径Ｒ１の割合（［Ｒ１／Ｒ２］×１００）が５０．０％以下である、［１］又は［２］に記載の電子銃部品。
［４］前記距離Ｄが６０μｍ以下である、［１］～［３］のいずれか一つに記載の電子銃部品。
［５］前記半径Ｒ１が１２５μｍ以下であり、前記半径Ｒ２が５００μｍ以下である、［１］～［４］のいずれか一つに記載の電子銃部品。
［６］［１］～［５］のいずれか一つに記載の電子銃部品と、前記サプレッサ電極に対向する引出電極と、を備える、電子銃。
［７］［６］に記載の電子銃を備える、電子線装置。
【発明の効果】
【０００７】
本開示の一側面によれば、電子を好適に放出することが可能な電子銃部品を提供することができる。本開示の他の一側面によれば、このような電子銃部品を備える電子銃を提供することができる。本開示の他の一側面によれば、このような電子銃を備える電子線装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、電子銃部品の一例を模式的に示す端面図である。
図２は、サプレッサ電極の開口の開口面及び断面のうちの最小面を見たときの一例を示す図である。
図３は、サプレッサ電極の開口の開口面及び断面のうちの最小面を見たときの他の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
数値範囲の「Ａ以上」とは、Ａ、及び、Ａを超える範囲を意味する。数値範囲の「Ａ以下」とは、Ａ、及び、Ａ未満の範囲を意味する。本明細書に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値と任意に組み合わせることができる。本明細書に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてよい。「Ａ又はＢ」とは、Ａ及びＢのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてよい。本明細書に例示する材料は、１種単独で用いられてよく、２種以上を組み合わせて用いられてよい。
【００１０】
本実施形態に係る電子銃部品は、電子を放出する電子放出部材と、開口を有するサプレッサ電極と、を備え、電子放出部材がサプレッサ電極の開口に挿通されている。本実施形態に係る電子銃部品では、サプレッサ電極の開口の開口面及び断面のうちの最小面（以下、場合により、単に「サプレッサ電極の最小面Ｂ」という）において、電子放出部材が占める領域Ａの中心とサプレッサ電極の最小面Ｂの中心との距離Ｄ、及び、領域Ａの半径Ｒ１の和の、サプレッサ電極の最小面Ｂの半径Ｒ２に対する割合Ｘ１（Ｘ１＝［（Ｄ＋Ｒ１）／Ｒ２］×１００）は、８０．０％以下である。
（【００１１】以降は省略されています）

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