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公開番号2025156187
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-14
出願番号2025053625
出願日2025-03-27
発明の名称ゴム部材、及び、半導体製造関連装置
出願人ダイキン工業株式会社
代理人弁理士法人WisePlus
主分類C08L 15/02 20060101AFI20251002BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】耐腐食性に優れるゴム部材、及び、それを用いた半導体製造関連装置を提供する。
【解決手段】塩素、臭素及びヨウ素からなる群より選択される少なくとも1種を含むハロゲン系ゴムを含むゴム部材であって、前記ゴム部材が、建装資材用部材、モビリティ用部材、航空宇宙用部材、半導体用部材、及び情報通信用部材からなる群より選択される少なくとも1つであり、腐食性物質と接触するゴム部材。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
塩素、臭素及びヨウ素からなる群より選択される少なくとも１種を含むハロゲン系ゴムを含むゴム部材であって、
前記ゴム部材が、建装資材用部材、モビリティ用部材、航空宇宙用部材、半導体用部材、及び、情報通信用部材からなる群より選択される少なくとも１つであり、
腐食性物質と接触するゴム部材。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記ハロゲン系ゴムがクロロスルホン化エチレンゴム及び塩素化ポリエチレンゴムからなる群より選択される少なくとも１種である請求項１記載のゴム部材。
【請求項３】
鉛化合物及びエポキシ化合物からなる群より選択される少なくとも１種の受酸剤を含む請求項１又は２記載のゴム部材。
【請求項４】
前記受酸剤が、酸化鉛及びエポキシ化ポリブタジエンからなる群より選択される少なくとも１種である請求項３記載のゴム部材。
【請求項５】
前記ハロゲン系ゴムに対し、前記受酸剤を１～３５質量％含む請求項３記載のゴム部材。
【請求項６】
前記ハロゲン系ゴムに対し、前記受酸剤を１０～３０質量％含む請求項３記載のゴム部材。
【請求項７】
前記ハロゲン系ゴムが、過酸化物架橋剤及び／又は硫黄系架橋剤によって架橋されている請求項１又は２記載のゴム部材。
【請求項８】
前記ゴム部材が、容器、配管、ノズル、チューブ、タンク、継手、バルブ、ポンプ、スピンチャック、Ｏ－リング、パッキン、ガスケット、ワッシャー、及び、シール材からなる群より選択される少なくとも１つである請求項１又は２記載のゴム部材。
【請求項９】
前記ゴム部材が、容器、配管、ノズル、チューブ、タンク、継手、バルブ、ポンプ、スピンチャック、Ｏ－リング、ガスケット、ワッシャー、及び、シール材からなる群より選択される少なくとも１つである請求項１又は２記載のゴム部材。
【請求項１０】
前記腐食性物質のｐＨが６以下又は８以上である請求項１又は２記載のゴム部材。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ゴム部材、及び、半導体製造関連装置に関する。
続きを表示（約 900 文字）【背景技術】
【０００２】
ゴムローラー等の用途において、耐久性向上のために塩素化ポリオレフィン組成物を用いることが提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－９６８２４号公報
国際公開第２０２２／１４５４４７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、耐腐食性に優れるゴム部材、及び、それを用いた半導体製造関連装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示（１）は、塩素、臭素及びヨウ素からなる群より選択される少なくとも１種を含むハロゲン系ゴムを含むゴム部材であって、
前記ゴム部材が、建装資材用部材、モビリティ用部材、航空宇宙用部材、半導体用部材、及び、情報通信用部材からなる群より選択される少なくとも１つであり、
腐食性物質と接触するゴム部材である。
【０００６】
本開示（２）は、前記ハロゲン系ゴムがクロロスルホン化エチレンゴム及び塩素化ポリエチレンゴムからなる群より選択される少なくとも１種である本開示（１）記載のゴム部材である。
【０００７】
本開示（３）は、鉛化合物及びエポキシ化合物からなる群より選択される少なくとも１種の受酸剤を含む本開示（１）又は（２）記載のゴム部材である。
【０００８】
本開示（４）は、前記受酸剤が、酸化鉛及びエポキシ化ポリブタジエンからなる群より選択される少なくとも１種である本開示（３）記載のゴム部材である。
【０００９】
本開示（５）は、前記ハロゲン系ゴムに対し、前記受酸剤を１～３５質量％含む本開示（３）又は（４）記載のゴム部材である。
【００１０】
本開示（６）は、前記ハロゲン系ゴムに対し、前記受酸剤を１０～３０質量％含む本開示（３）又は（４）記載のゴム部材である。
（【００１１】以降は省略されています）

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