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公開番号2025035671
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-14
出願番号2023142876
出願日2023-09-04
発明の名称固体チップ検査方法
出願人学校法人近畿大学,株式会社オプト・システム
代理人個人
主分類G01N 29/24 20060101AFI20250307BHJP(測定;試験)
要約【課題】外観検査が容易でないほど小型で、脆性があり、欠けや割れといった欠損が生じるデバイスに検査中のダメージが少ないようにして、正常品か異常品を区別する要求があった。
【解決手段】固体チップの欠損を検出し、正常品か異常品かを判断する固体チップ検査方法であって、前記固体チップを、接着層を介して振動材に接着させる工程と、前記振動材を振動させながら、前記固体チップの振動を検出する工程と、前記振動を周波数信号へと変換する工程と、前記周波数信号を主成分分析し、前記固体チップの第1主成分と第2主成分を算出する主成分分析工程と、前記第1主成分と前記第2主成分において前記正常品が存在する範囲と前記異常品が存在する範囲を表した主成分プロットと、前記固体チップの第1主成分と第2主成分を比較することで前記固体チップが正常品か異常品のどちらであるかを判断する判断工程を有する固体チップ検査方法。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
固体チップの欠損を検出し、正常品か異常品かを判断する固体チップ検査方法であって、
前記固体チップを、接着層を介して振動材に接着させる工程と、
前記振動材を振動させながら、前記固体チップの振動を検出する工程と、
前記振動を周波数信号へと変換する工程と、
前記周波数信号に基づいて前記固体チップが正常品か異常品のどちらであるかを判断する工程を有する固体チップ検査方法。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記固体チップが正常品か異常品のどちらであるかを判断する工程は、
前記周波数信号を主成分分析し、前記固体チップの第１主成分と第２主成分を算出する主成分分析工程と、
前記第１主成分と前記第２主成分において前記正常品が存在する範囲と前記異常品が存在する範囲を表した主成分プロットと、前記固体チップの第１主成分と第２主成分を比較する工程を含む、前記固体チップが正常品か異常品のどちらであるかを判断する判断工程である請求項１に記載された固体チップ検査方法。
【請求項３】
前記振動材は、２種類の振動材を重ねている請求項１または２に記載された固体チップ検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体チップ状のデバイスの検査方法に係るものであり、特に固体チップの破損を回路基板等に実装する前に検出する検査方法に係る。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体のような小型でチップ状のデバイス（以下「固体チップ」と呼ぶ。）の検査装置については、多くの提案がされている。通常は回路基板に実装する前に行われる通電試験を行う装置等が知られている。一方、固体チップの欠損や傷については、三面外観検査装置による外観検査に頼っている。
【０００３】
欠損や傷については、被検査物を振動させ、その振動周波数を分析することで検出することが行われてきた。特許文献１では、被検査体に電磁超音波を照射し、その箇所にレーザー超音波を当て、その反射信号に基づいて被検査体の欠陥部、板厚などを検出する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開昭６２－１７７４４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の方法は、ガスパイプ等の比較的大きな物に対しては有効であると考えられる。しかし、加振手段として超音波を利用しているので、１ｍｍ角以下といった小型の固体チップの加振手段としては、照射範囲が広がるため好適なものとは言えない。
【０００６】
加振手段として、レーザーを利用することが考えられるが、レーザーによる加振はレーザー出力を高くする必要があり、レーザー自体で固体チップを傷つけるといった課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みて想到されたものであり、レーザーで直接被検体である固体チップを加振することなく、固体チップ自体の欠損や傷を検出する方法を提供するものである。
【０００８】
より具体的に本発明に係る固体チップ検査方法は、
固体チップの欠損を検出し、正常品か異常品かを判断する固体チップ検査方法であって、
前記固体チップを、接着層を介して振動材に接着させる工程と、
前記振動材を振動させながら、前記固体チップの振動を検出する工程と、
前記振動を周波数信号へと変換する工程と、
前記周波数信号に基づいて前記固体チップが正常品か異常品のどちらであるかを判断する工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る固体チップ検査方法は、固体チップを振動材上に載置し、振動材を加振することで固体チップに振動を与え、その振動を解析することで固体チップの異常を判断するので、固体チップ自体にダメージを与えないという効果がある。
【００１０】
また、周波数信号に基づいて前記固体チップが正常品か異常品のどちらであるかを判断する工程を、周波数信号を主成分分析し、固体チップの第１主成分と第２主成分を算出する主成分分析工程と、第１主成分と第２主成分において正常品が存在する範囲と異常品が存在する範囲を表した主成分プロットと、固体チップの第１主成分と第２主成分を比較することで固体チップが正常品か異常品のどちらであるかを判断するようにすれば、予め主成分プロットを保持しておくことで、迅速に被検査体が正常品か異常品を判断することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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