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公開番号2025090815
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-17
出願番号2025043073,2021064071
出願日2025-03-18,2021-04-05
発明の名称磁気記録媒体及び磁気記憶装置
出願人株式会社レゾナック・ハードディスク,国立大学法人東北大学
代理人弁理士法人ITOH
主分類G11B 5/738 20060101AFI20250610BHJP(情報記憶)
要約【課題】結晶配向性が高く、欠陥が少ない磁性層を有することができる磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記憶装置を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体1の製造方法は、基板10の表面に、酸化マグネシウムを含むターゲットを用いて、スパッタ法により、酸化マグネシウム下地層20を形成する工程と、酸化マグネシウム下地層20の表面側に、磁性層30を形成する工程と、を含み、酸化マグネシウム下地層20を形成する際、酸化マグネシウムを含むターゲットを600℃以上に加熱する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板の表面に、酸化マグネシウムを含むターゲットを用いて、スパッタ法により、酸化マグネシウム下地層を形成する工程と、
前記酸化マグネシウム下地層の表面側に、磁性層を形成する工程と、
を含み、
前記酸化マグネシウム下地層を形成する際、前記酸化マグネシウムを含むターゲットを６００℃以上に加熱する磁気記録媒体の製造方法。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
前記酸化マグネシウムを含むターゲットは、８００℃以上に加熱する請求項１に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記磁性層は、Ｌ１
０
構造を有するＦｅＰｔ合金及びＣｏＰｔ合金の少なくとも一方を含む請求項１又は２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
酸化マグネシウムを含む酸化マグネシウム下地層と、
Ｌ１
０
構造を有するＦｅＰｔ合金を含む磁性層と、
を備え、
前記酸化マグネシウムは、Ｘ線光電子分光法で測定した時に検出されるＯ１ｓスペクトルのピークが、５３１ｅＶ～５３３ｅＶである磁気記録媒体。
【請求項５】
請求項４に記載の磁気記録媒体を備える磁気記憶装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記憶装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体は、一般に、基板上に、下地層、磁性層及び保護層をこの順に積層することで製造される。磁気記録媒体に磁気情報を記録する方法として、磁気記録媒体にレーザー光等を照射して磁性層表面を局所的に加熱することにより、磁性層の保磁力を低下させて磁気情報を記録する熱アシスト記録方式がある。熱アシスト記録方式は、１Ｔｂｉｔ／ｉｎｃｈ
２
クラスの面記録密度を実現することができることから、磁気記録媒体の小型化、高記録密度化に伴い、記憶容量を高めることができる次世代の磁気記録方式として検討されている。
【０００３】
熱アシスト記録方式に用いることが可能な磁気記録媒体として、例えば、基板と、基板上に形成された複数の下地層と、Ｌ１
0
構造を有する合金を主成分とする磁性層とからなり、複数の下地層が、ＮｉＯ下地層と、配向制御層とを含む磁気記録媒体が開示されている（例えば、特許文献１参照）。この磁気記録媒体では、配向制御層は、ＢＣＣ構造の合金からなる下地層と、ＮａＣｌ構造を有するＭｇＯ等の下地層を含み、ＮｉＯ下地層に（１００）配向をとらせるようにしている。
【０００４】
磁気記録培媒体の磁性層として、Ｌ１
０
構造を有するＦｅＰｔ合金を用いる場合、磁性層の結晶配向面として（００１）面が用いられる。ＦｅＰｔ合金を（００１）配向させるため、下地層としては、一般に、（１００）配向しているＭｇＯが用いられることが多い。即ち、ＭｇＯの（１００）面は、ＦｅＰｔ合金の（００１）面と格子整合性が高いため、ＭｇＯ層の上方に、ＦｅＰｔ合金を含む磁性層を成膜することにより、ＦｅＰｔ合金は、（００１）配向させやすくなる。また、特許文献１の磁気記録媒体では、ＮｉＯ下地層も（１００）配向をとらせるため、配向制御層の下地層として、ＭｇＯが用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１６－０２６３６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
配向制御層の形成にＭｇＯを用いる場合、ＭｇＯ層の形成には一般にスパッタ法が用いられるが、ＭｇＯは融点が高いため焼結性が悪い。焼結性の悪いターゲットを用いてスパッタ法によりＭｇＯ層を形成すると、ターゲット表面で異常放電（アーキング）が生じてターゲット表面が溶融及び飛散することで、スパッタダストが発生し易い、という問題があった。このスパッタダストにより、ＭｇＯ層の結晶配向性が低下すると共に、ＭｇＯ層に欠陥が生じ易くなる。そのため、ＭｇＯ層の上に形成される磁性層の結晶配向性が低下すると共に、磁性層内に欠陥が生じる可能性が高くなる。
【０００７】
本発明の一態様は、結晶配向性が高く、欠陥が少ない磁性層を有することができる磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る磁気記録媒体の製造方法の一態様は、基板の表面に、酸化マグネシウムを含むターゲットを用いて、スパッタ法により、酸化マグネシウム下地層を形成する工程と、前記酸化マグネシウム下地層の表面側に、磁性層を形成する工程と、を含み、前記酸化マグネシウム下地層を形成する際、前記酸化マグネシウムを含むターゲットを６００℃以上に加熱する。
【０００９】
本発明の一態様に係る磁気記録媒体は、酸化マグネシウム下地層と、Ｌ１
０
構造を有するＦｅＰｔ合金を含む磁性層とを備え、前記酸化マグネシウム下地層は、酸化マグネシウムを含み、前記酸化マグネシウムは、ＸＰＳで測定した時のＯ１ｓスペクトルのピークが、５３１ｅＶ～５３３ｅＶである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一態様によれば、結晶配向性が高く、欠陥が少ない磁性層を有することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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