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公開番号2025091995
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2023207603
出願日2023-12-08
発明の名称流体供給装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250612BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ノズルの位置のずれを精度よく検知できる流体供給装置を提供する。
【解決手段】流体供給装置は、対象物に向けて第1流体を供給する第1ノズルと、検知用の光を発する発光部、および光を受光する受光部を含む光センサと、光を遮らない第1非遮光位置と光を遮る第1遮光位置とに配置可能な第1遮光部材と、受光部による受光量に基づいて第1ノズルの変位を検知する検知部と、を備える。第1遮光部材は、第1ノズルの変位に連動して変位することで第1遮光位置と第1非遮光位置を切り替え可能である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
対象物に向けて第１流体を供給する第１ノズルと、
検知用の光を発する発光部、および前記光を受光する受光部を含む光センサと、
前記光を遮らない第１非遮光位置と前記光を遮る第１遮光位置とに配置可能な第１遮光部材と、
前記受光部による受光量に基づいて前記第１ノズルの変位を検知する検知部と、を備え、
前記第１遮光部材は、前記第１ノズルの変位に連動して変位することで前記第１遮光位置と前記第１非遮光位置を切り替え可能である、
流体供給装置。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記対象物に向けて第２流体を供給する第２ノズルと、
前記光を遮らない第２非遮光位置と前記光を遮る第２遮光位置とに配置可能な第２遮光部材と、をさらに備え、
前記第２遮光部材は、前記第２ノズルの変位に連動して変位することで前記第２遮光位置と前記第２非遮光位置を切り替え可能である、
請求項１記載の流体供給装置。
【請求項３】
前記第１遮光部材に、前記光が通過する第１光通過領域が形成されている、請求項１記載の流体供給装置。
【請求項４】
前記第１光通過領域は、開口または透明窓である、請求項３記載の流体供給装置。
【請求項５】
前記第２遮光部材に、前記光が通過する第２光通過領域が形成されている、請求項２記載の流体供給装置。
【請求項６】
前記第２光通過領域は、開口または透明窓である、請求項５記載の流体供給装置。
【請求項７】
前記光センサは、少なくとも一部が前記第１ノズルと前記第２ノズルとの間の空間に配置されている、
請求項２に記載の流体供給装置。
【請求項８】
前記発光部は前記対象物から離れる方向に前記光を照射する、
請求項１項に記載の流体供給装置。
【請求項９】
前記第１遮光部材の少なくとも一部を覆うカバーをさらに備える、
請求項１～８のうちいずれか１項に記載の流体供給装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体供給装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
対象物に向けて流体を供給する供給装置が用いられている。供給装置は、例えば、半導体ウェハ等の基板に流体（例えば、薬液、リンス液など）を供給するノズルを備える（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００２－２１７１５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記装置では、ノズルの位置を正確に定めるのは容易でなかった。ノズルの位置が不正確となると、対象物に対して正しい位置に流体（薬液、リンス液など）を供給することが難しくなることがあった。そのため、ノズルの位置にずれが生じた場合に、このずれを精度よく検知することが求められていた。
【０００５】
本発明は、ノズルの位置のずれを精度よく検知できる流体供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に係る流体供給装置は、対象物に向けて第１流体を供給する第１ノズルと、検知用の光を発する発光部、および前記光を受光する受光部を含む光センサと、前記光を遮らない第１非遮光位置と前記光を遮る第１遮光位置とに配置可能な第１遮光部材と、前記受光部による受光量に基づいて前記第１ノズルの変位を検知する検知部と、を備え、前記第１遮光部材は、前記第１ノズルの変位に連動して変位することで前記第１遮光位置と前記第１非遮光位置を切り替え可能である。
【０００７】
本発明の第２の態様に係る流体供給装置は、第１の態様において、前記対象物に向けて第２流体を供給する第２ノズルと、前記光を遮らない第２非遮光位置と前記光を遮る第２遮光位置とに配置可能な第２遮光部材と、をさらに備え、前記第２遮光部材は、前記第２ノズルの変位に連動して変位することで前記第２遮光位置と前記第２非遮光位置を切り替え可能である。
【０００８】
本発明の第３の態様に係る流体供給装置は、第１の態様において、前記第１遮光部材に、前記光が通過する第１光通過領域が形成されている。
【０００９】
本発明の第４の態様に係る流体供給装置は、第３の態様において、前記第１光通過領域は、開口または透明窓である。
【００１０】
本発明の第５の態様に係る流体供給装置は、第２の態様において、前記第２遮光部材に、前記光が通過する第２光通過領域が形成されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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