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公開番号2025093085
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-23
出願番号2023208594
出願日2023-12-11
発明の名称基板アンローダ
出願人株式会社レクザム
代理人個人,個人
主分類B07C 5/36 20060101AFI20250616BHJP(固体相互の分離;仕分け)
要約【課題】簡単な構成によってフットプリントを小さくすることができる基板アンローダを提供する。
【解決手段】基板アンローダ1は、前段の装置から搬送された基板3を、良品基板及び不良基板が収容される、上下方向に並べて配置された1以上のマガジン5に収容する基板収容ユニット12と、基板収容ユニット12を上下方向に移動させる昇降駆動部13と、1以上のマガジン5に収容される基板3の良否を示す良否情報を受け付ける受付部14と、良品基板と不良基板とがそれぞれ区別可能に1以上のマガジン5に収容されるように、基板収容ユニット12及び昇降駆動部13を制御する制御部15とを備える。このような構成により、マガジン5を上下方向に並べて配置するため、フットプリントを小さくすることができ、マガジン5ではなく、基板収容ユニット12を上下方向に移動させるため、より簡単な構成にすることができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
前段の装置から搬送された基板を、良品基板及び不良基板が収容される、上下方向に並べて配置された１以上のマガジンに収容する基板収容ユニットと、
前記基板収容ユニットを上下方向に移動させる昇降駆動部と、
前記１以上のマガジンに収容される基板の良否を示す良否情報を受け付ける受付部と、
良品基板と不良基板とがそれぞれ区別可能に前記１以上のマガジンに収容されるように、前記基板収容ユニット及び前記昇降駆動部を制御する制御部と、を備えた基板アンローダ。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
前記１以上のマガジンは、良品基板が収容される１以上の良品マガジンと、不良基板が収容される１以上の不良マガジンとを含み、
前記制御部は、良品基板が前記１以上の良品マガジンに収容され、不良基板が前記１以上の不良マガジンに収容されるように、前記基板収容ユニット及び前記昇降駆動部を制御する、請求項１記載の基板アンローダ。
【請求項３】
前記１以上のマガジンはそれぞれ、良品基板と不良基板との両方が収容されるものであり、
前記制御部は、良品基板と不良基板の両方が１個のマガジンに収容されるように、前記基板収容ユニット及び前記昇降駆動部を制御し、
前記１以上のマガジンにおける良品基板が収容された収容位置及び不良基板が収容された収容位置を示す収容位置情報を出力する収容位置情報出力部をさらに備えた、請求項１記載の基板アンローダ。
【請求項４】
前記１以上のマガジンにそれぞれ収容可能な基板の個数である収容可能個数が記憶される記憶部と、
前記基板収容ユニットによってマガジンに収容された基板の個数が、当該マガジンに対応する収容可能個数となった場合に、当該マガジンが満杯になった旨を出力する満杯出力部と、をさらに備えた、請求項１から請求項３のいずれか記載の基板アンローダ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、マガジンに基板を収容する基板アンローダに関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板検査装置などの前段の装置から搬送された基板をマガジンに収容する基板アンローダにおいて、良品基板を良品基板用のマガジンに収容し、不良基板を不良基板用のマガジンに収容することが行われていた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平１１－３０９４１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、例えば、図７Ａ、図７Ｂの平面図で示されるように、良品基板が収容される良品マガジン５ａと、不良基板が収容される不良マガジン５ｂとが水平方向に並べて配置されており、従来の基板アンローダ１０１、１０２によって、良品基板が良品マガジン５ａに収容され、不良基板が不良マガジン５ｂに収容されることが行われていた。例えば、図７Ａで示される従来の基板アンローダ１０１では、良品マガジン５ａ、及び不良マガジン５ｂにそれぞれ基板アンローダ１０１によって直接、基板が収容される。一方、図７Ｂで示される従来の基板アンローダ１０２は、まず、基板を不良マガジン５ｂに収容し、その基板が良品基板であれば、その基板を不良マガジン５ｂから押し出して、良品マガジン５ａに収容するものである。図７Ｂで示される基板アンローダ１０２は、上記特許文献１に開示されている基板アンローダである。
【０００５】
しかしながら、従来の基板アンローダ１０１、１０２では、良品マガジン５ａ、及び不良マガジン５ｂを水平方向に並べて配置するため、それに応じて全体としてのフットプリントが大きくなるという問題があった。また、従来の基板アンローダ１０１、１０２では、良品マガジン５ａ、及び不良マガジン５ｂをそれぞれ昇降させて、目的とする位置に基板を収容するため、２個のエレベーション機構を設ける必要があり、装置が複雑化してコストが増大するという問題もあった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、より簡単な構成によって良品基板及び不良基板をマガジンに収容することができると共に、全体としてのフットプリントをより小さくすることができる基板アンローダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様による基板アンローダは、前段の装置から搬送された基板を、良品基板及び不良基板が収容される、上下方向に並べて配置された１以上のマガジンに収容する基板収容ユニットと、基板収容ユニットを上下方向に移動させる昇降駆動部と、１以上のマガジンに収容される基板の良否を示す良否情報を受け付ける受付部と、良品基板と不良基板とがそれぞれ区別可能に１以上のマガジンに収容されるように、基板収容ユニット及び昇降駆動部を制御する制御部と、を備えたものである。
このような構成により、１以上のマガジンを上下方向に配置することによって、従来例と比較して、全体としてのフットプリントをより小さくすることができる。また、２個のマガジンをそれぞれ上下方向に移動させるのではなく、基板収容ユニットを上下方向に移動させるため、より簡単な構成にすることができる。
【０００８】
また、本発明の一態様による基板アンローダでは、１以上のマガジンは、良品基板が収容される１以上の良品マガジンと、不良基板が収容される１以上の不良マガジンとを含み、制御部は、良品基板が１以上の良品マガジンに収容され、不良基板が１以上の不良マガジンに収容されるように、基板収容ユニット及び昇降駆動部を制御してもよい。
このような構成により、良品基板と不良基板とをそれぞれ異なるマガジンに収容することができる。
【０００９】
また、本発明の一態様による基板アンローダでは、１以上のマガジンはそれぞれ、良品基板と不良基板との両方が収容されるものであり、制御部は、良品基板と不良基板の両方が１個のマガジンに収容されるように、基板収容ユニット及び昇降駆動部を制御し、１以上のマガジンにおける良品基板が収容された収容位置及び不良基板が収容された収容位置を示す収容位置情報を出力する収容位置情報出力部をさらに備えてもよい。
このような構成により、１個のマガジンに良品基板と不良基板とを混在させた状態で収容することができる。そのため、効率のよい基板の収容を実現することができる。また、収容位置情報が出力されることによって、基板の収容されたマガジンにおいて、良品基板や不良基板がどこに収容されているのかを知ることができるようになる。
【００１０】
また、本発明の一態様による基板アンローダでは、１以上のマガジンにそれぞれ収容可能な基板の個数である収容可能個数が記憶される記憶部と、基板収容ユニットによってマガジンに収容された基板の個数が、マガジンに対応する収容可能個数となった場合に、マガジンが満杯になった旨を出力する満杯出力部と、をさらに備えてもよい。
このような構成により、マガジンが満杯になった旨の出力に応じて、満杯になったマガジンを空のマガジンに交換することができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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