特許ウォッチ

公開番号2025093107
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-23
出願番号2023208634
出願日2023-12-11
発明の名称ウェーハ加工システム
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250616BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】スループットを向上させることができるウェーハ加工システムを提供する。
【解決手段】本発明のウェーハ加工システムは、定盤80、定盤80に搭載され、ウェーハWの端部WAを研削加工する研削部16と、定盤80に搭載され、研削加工されたウェーハWの端部WAの形状を測定する測定部20と、研削部16と測定部20との間でウェーハWを搬送するロード部14と、定盤80と測定部20との間に配置された除振台90と、を備える。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
定盤と、
前記定盤に搭載され、ウェーハの端部を研削加工する研削部と、
前記定盤に搭載され、前記研削加工された前記ウェーハの端部の形状を測定する測定部と、
前記研削部と前記測定部との間で前記ウェーハを搬送する搬送部と、
前記定盤と前記測定部との間に配置された除振台と、
を備える、ウェーハ加工システム。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
前記研削部は、
前記ウェーハが載置され、前記ウェーハを回転させる研削テーブルと、
前記研削テーブルに載置された前記ウェーハの端部に相対的に接触されて前記端部を研削加工する砥石と、
を有し、
前記測定部は、
前記ウェーハが載置され、前記ウェーハを回転させる測定テーブルと、
前記測定テーブルに載置された前記ウェーハの端部の形状を測定する形状測定装置と、
を有する、
請求項１に記載のウェーハ加工システム。
【請求項３】
前記測定部は、
前記ウェーハの直径と、前記測定テーブルを基準とした前記ウェーハの中心位置を測定するための第１のセンサを有し、
前記定盤は、
前記定盤を基準とした前記ウェーハの中心位置を測定するための第２のセンサを有し、
前記第１のセンサ及び前記第２のセンサによって測定された２つの中心位置の差と、あらかじめ設定された前記測定テーブルと前記研削テーブルのそれぞれの回転中心の相対位置とに基づいて、前記搬送部による前記ウェーハの搬送量を制御する制御装置を有する、
請求項２に記載のウェーハ加工システム。
【請求項４】
前記測定部には、形状測定装置が設けられ、
前記形状測定装置は、白色干渉顕微鏡である光学ユニットを備える、
請求項１から３のいずれか１項に記載のウェーハ加工システム。
【請求項５】
前記除振台は、非動作位置である着座位置と、前記着座位置の上方に位置し動作位置である浮上位置との間で移動され、
前記除振台を前記浮上位置で固定し、且つ前記固定を解除するロック部材を有する、
請求項１から３のいずれか１項に記載のウェーハ加工システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの端部を研削加工する研削部とウェーハの端部の形状を測定する測定部とを備えたウェーハ加工システムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
円板状のウェーハを研磨装置によって表面加工した場合、ウェーハの端部が先鋭状に加工されるためウェーハの割れ又は欠けの原因となる。このため、ウェーハの端部の先鋭部を除去し、端部をラウンド形状又は面取り形状とする研削加工（面取り加工とも言う。）がウェーハに施される（特許文献１参照）。
【０００３】
研削加工によって成形されるウェーハの端部の形状及び寸法は、業界団体が定める規格又はクライアントの要求により規定されるため、その規定範囲内に端部を研削加工する必要がある。このようなことから、ウェーハの製造工程では、研削加工後にウェーハの端部の形状を測定し、端部の形状が規定範囲内にあるか否かを検査するための形状測定が行われる。
【０００４】
特許文献２には、ウェーハの端部の形状を光投影測定法によって測定する形状測定装置が開示されている。この形状測定装置は、研削加工されたウェーハの端部に対し、ウェーハの表裏各面に略平行な方向から光を投光するとともに、その投光方向に対向する方向からカメラによってウェーハの端部の投影像を撮像し、その投影像に基づいてウェーハの端部の形状を測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００９－７８３２６号公報
特開２００９－１６８６３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般に、ウェーハの研削加工は、加工現場に設置された研削装置にて行われる。また、研削加工後に行われるウェーハの端部の形状測定は、加工現場とは異なる場所の精密測定室に設置された形状測定装置にて行われる。この理由は、加工現場よりも精密測定室の方が、床振動が小さく、床振動に起因する測定誤差を回避するためである。
【０００７】
このように、従来では、研削加工と形状測定とが別々の場所で実施される。このため、加工現場と精密測定室との間でウェーハを搬送するウェーハ搬送工程を、ウェーハ製造工程の中に設けなければならないので、ウェーハの単位時間あたりの生産量（スループット）が低下するという問題がある。具体的に説明すると、従来は、研削加工後のウェーハをカセットに順次収容し、このカセットに１ロット分の複数のウェーハを収容する。この後、このカセットを加工現場から精密測定室に搬送し、カセットからウェーハを取り出して形状測定装置にて形状を測定する必要があった。この場合、研削加工不足があった場合でも、形状測定装置から研削装置にウェーハを戻すのには更に時間を要していた。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、スループットを向上させることができるウェーハ加工システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するために以下の態様からなる。
【００１０】
第１態様に係るウェーハ加工システムは、定盤と、定盤に搭載され、ウェーハの端部を研削加工する研削部と、定盤に搭載され、研削加工されたウェーハの端部の形状を測定する測定部と、研削部と測定部との間でウェーハを搬送する搬送部と、定盤と測定部との間に配置された除振台と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許