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公開番号2025093816
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-24
出願番号2023209711
出願日2023-12-12
発明の名称ガラス基板の欠陥検査装置、及びガラス基板の製造方法
出願人日本電気硝子株式会社
代理人弁理士法人矢野内外国特許事務所
主分類G01N 21/958 20060101AFI20250617BHJP(測定;試験)
要約【課題】ガラス基板の欠陥を検査するガラス基板の欠陥検査装置、及び当該欠陥検査装置を用いた検査工程を備えるガラス基板の製造方法であって、ガラス基板の外周縁部における欠陥の有無を精度良く検査することができる、ガラス基板の欠陥検査装置、及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Gを支持するステージ10と、当該ガラス基板Gを一方の主面(表面Ga)側から撮像する撮像手段20と、撮像手段20によって撮像された画像データに基づき、ガラス基板Gの外周端面Gdの状態を判定する制御部50とを備え、ステージ10は、ガラス基板Gの他方の主面(裏面Gb)側よりガラス基板Gの外周縁部Gcを支持する支持面11a1を有し、支持面11a1は、ガラス基板Gの外周端面Gdに沿って設けられ、且つ外周端面Gdに対してガラス基板Gの中央側に離れた位置にて、ガラス基板Gと接触する接触領域11cを有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ガラス基板の欠陥を検査するガラス基板の欠陥検査装置であって、
ガラス基板を支持するステージと、
前記ステージによって支持されたガラス基板を一方の主面側から撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された画像データに基づき、前記ガラス基板の外周縁部の状態を判定する制御部とを備え、
前記ステージは、
前記ガラス基板の他方の主面側より当該ガラス基板の外周縁部を支持する支持面を有し、
前記支持面は、
前記ガラス基板の外周端面に沿って設けられ、且つ当該外周端面に対してガラス基板の中央側に離れた位置にて、ガラス基板と接触する接触領域を有する、
ことを特徴とするガラス基板の欠陥検査装置。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
前記ステージは、傾斜した縦姿勢の状態で前記ガラス基板を支持する、
ことを特徴とする、請求項１に記載のガラス基板の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記ステージによってガラス基板を支持した状態において、
前記支持面は、
前記一方の主面側から見て、前記ガラス基板の外周端面と重なる位置に設けられ、且つ当該外周端面に沿って形成される溝部を有する、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のガラス基板の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記ステージによってガラス基板を支持した状態において、
前記ガラス基板の一方の主面側から見た、前記ガラス基板の外周端面と、前記接触領域における当該外周端面側の第１端面との間の寸法は、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下である、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のガラス基板の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記支持面において、
前記接触領域における、前記ガラス基板の外周端面側の第１端面と、前記ガラス基板の中央側の第２端面との間の幅寸法は、０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下である、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のガラス基板の欠陥検査装置。
【請求項６】
前記ステージによってガラス基板を支持した状態において、
前記支持面は、
前記一方の主面側から見て、前記ガラス基板の外周端面と重なる位置に設けられ、且つ当該外周端面に沿って形成されるとともに、
前記接触領域に対して、前記ガラス基板の他方の主面側に離間した離間領域を有し、
前記接触領域と前記離間領域との間の離間寸法は、１ｍｍ以上である、
ことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のガラス基板の欠陥検査装置。
【請求項７】
ガラス基板を成形する成形工程と、
前記成形工程の終了後、請求項１または請求項２に記載の欠陥検査装置を用いて、得られたガラス基板を検査対象物として、当該ガラス基板の欠陥を検査する検査工程とを備える、
ことを特徴とする、ガラス基板の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の欠陥検査装置、及び当該欠陥検査装置を用いた検査工程を備えるガラス基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来より、薄板状のガラス基板の製造工程において、作製されたガラス基板の欠陥の有無を検査する、ガラス基板の欠陥検査装置が知られている。
例えば、その一例として、特許文献１においては、やや傾斜させた縦姿勢の状態でガラスワーク（ガラス基板）を支持する支持部（ステージ）と、ステージによって支持されたガラス基板に光を照射して照明する光照射部（照明手段）と、照明手段によって照明されたガラス基板を撮像して画像データを取得する画像情報取得部（撮像手段）と、撮像手段によって取得された画像データに基づきガラス基板の欠陥の有無を検査する判定制御部（制御部）とを備える、検査装置（欠陥検査装置）が開示されている。
【０００３】
上記の欠陥検査装置において、ガラス基板は、一方の主面（以下、適宜「表面」と記載）を撮像手段に対向させた状態で、ステージによって支持される。
また、ガラス基板は、他方の主面（以下、適宜「裏面」と記載）において、外周縁部の一部をステージに接触させた状態で、当該ステージによって支持される。
【０００４】
そして、欠陥検査装置は、ガラス基板の外周縁部が撮像された画像データに基づき、例えば二値化処理等を施して当該外周縁部の端面（外周端面）の形状をトレースした輪郭線を抽出し、当該輪郭線上において、破断個所等が確認された場合には、ガラス基板の外周端面に、傷や欠けや汚れ等の欠陥が存在すると判断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２１－１５６７５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述した従来の欠陥検査装置において、例えば経年変化等によって、ステージにおけるガラス基板の裏面の外周縁部と接触する箇所に、塗装の剥離や細かい傷等の欠陥が生じた場合、撮像手段によってガラス基板を撮像する際に、照明手段から照射された光が当該欠陥に反射し、画像データ上における外周端面と重なる位置に、反射光が予期せず写り込むことがある。
この場合、二値化処理が施された画像データ上において、ガラス基板の外周端面の輪郭線は、上記反射光によって破断された状態で抽出される。
【０００７】
その結果、欠陥検査装置は、反射光による輪郭線の破断個所を、ガラス基板の外周端面に生じた欠陥であると誤判断することとなり、ガラス基板の外周縁部における欠陥の有無を、精度良く検査することが困難となる虞があった。
【０００８】
本発明は、以上に示した現状の問題点を鑑みてなされたものであり、ガラス基板の欠陥を検査するガラス基板の欠陥検査装置、及び当該欠陥検査装置を用いた検査工程を備えるガラス基板の製造方法であって、ガラス基板の外周縁部における欠陥の有無を、精度良く検査することができる、ガラス基板の欠陥検査装置、及びガラス基板の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【００１０】
即ち、本発明の態様１に係るガラス基板の欠陥検査装置は、ガラス基板の欠陥を検査するガラス基板の欠陥検査装置であって、ガラス基板を支持するステージと、前記ステージによって支持されたガラス基板を一方の主面側から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された画像データに基づき、前記ガラス基板の外周縁部の状態を判定する制御部とを備え、前記ステージは、前記ガラス基板の他方の主面側より当該ガラス基板の外周縁部を支持する支持面を有し、前記支持面は、前記ガラス基板の外周端面に沿って設けられ、且つ当該外周端面に対してガラス基板の中央側に離れた位置にて、ガラス基板と接触する接触領域を有することを特徴とする。
このような構成からなる、本発明に係るガラス基板の欠陥検査装置によれば、ガラス基板の外周縁部を支持するステージの支持面において、当該ガラス基板と接触する接触領域が、ガラス基板の外周端面に対して、当該ガラス基板の中央側に離れた位置に設けられることとなり、例えば、経年変化等による塗装の剥離や細かい傷等の欠陥が当該接触領域に生じた場合であっても、画像データ上において、当該欠陥に反射した反射光が、ガラス基板の外周端面と重なる位置に写り込むのを抑制することができる。
従って、例えば二値化処理が施された画像データ上において、抽出されたガラス基板の外周端面の輪郭線上に、反射光を要因とする破断個所が発生するのを防止し、ガラス基板の外周縁部における欠陥の有無を、精度良く検査することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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