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公開番号2025101813
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-08
出願番号2023218846
出願日2023-12-26
発明の名称真空バルブおよびこの真空バルブを備えた基板処理装置
出願人株式会社キッツエスシーティー
代理人個人
主分類F16K 3/18 20060101AFI20250701BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】コンパクトかつ簡易な構成で、シャッタの移動をガイドするガイドローラに押圧力が掛からないようにして耐久性の向上に寄与することができる真空バルブおよびこの真空バルブを備えた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】真空バルブ1は、シャッタ40と、シャッタリング50と、バルブハウジング10に設けたガイド溝17に沿って転動するガイドローラ61と、ガイドローラ61を流路方向に向いた軸上の所定位置で回転自在に支持し、かつ、下流側の端部を自由端としてバルブハウジング10の内壁面12aに当接する支軸70と、支軸70の上流側の端部を保持しつつ、支軸70に対して相対的に流路方向に移動自在にシャッタ40の上流側の表面40aに固着した軸保持部材80と、を有する。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
バルブハウジングに形成した流路口に対して平行に移動自在に前記バルブハウジング内に設けたシャッタと、
前記バルブハウジング内に流路方向に沿って進退自在に設け、前記シャッタが開いた状態では、先端面を前記バルブハウジングの内壁面に当接して前記流路口に接続した流路を気密に形成し、前記シャッタが閉じた状態では、前記先端面によって前記シャッタを前記内壁面に押圧して前記流路口を気密に閉じるシャッタリングと、
前記バルブハウジングに前記流路口に対して平行に設けたガイド溝に沿って転動するガイドローラと、
前記ガイドローラを流路方向に向いた軸上の所定位置で回転自在に保持し、かつ、下流側の端部を自由端として前記内壁面に当接する支軸と、
前記支軸の上流側の端部を保持しつつ、前記支軸に対して相対的に流路方向に移動自在に前記シャッタの上流側の表面に固着した軸保持部材と、
を有することを特徴とする真空バルブ。
続きを表示（約 510 文字）【請求項２】
前記軸保持部材は、前記支軸の上流側の端部を挿通した状態で保持する請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】
前記ガイドローラは、前記シャッタの表面側から視た場合、一部が前記シャッタに重なるように前記支軸に支持され、
前記シャッタは、該シャッタの表面側から視た場合、前記ガイドローラと重なる部分を切欠いた切欠き部を有し、該切欠き部によって前記ガイドローラとの干渉を避けて前記内壁面に押圧される請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項４】
前記支軸は、前記ガイドローラが下流側に移動することを阻止する下流側係止部および前記ガイドローラが上流側に移動することを阻止する上流側係止部を有し、
前記回転軸の上流側係止部と前記軸保持部材との間で流路方向に伸縮自在に弾性部材を配置した請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項５】
当該真空バルブは、丸型ゲートバルブである請求項１に記載の真空バルブ。
【請求項６】
基板を処理するチャンバの排気接続部と真空ポンプに接続された排気路との間に請求項１又は３に記載の真空バルブを介在させた基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブおよびこの真空バルブを備えた基板処理装置に関し、特に、バルブハウジングの流路口を開閉するシャッタおよびシャッタを流路口に向けて押圧するシャッタリングを備えた真空バルブおよびこの真空バルブを備えた基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ、液晶基板、太陽電池パネル用基板等の基板処理装置の排気系のバルブには、バルブハウジングの流路口を開閉するため略Ｌ字状に移動するシャッタが設けられている。
このシャッタは、流路口に平行に移動されると共に、流路口に対向する位置でシャッタリングによって流路口側に押圧されて流路口を封止する。
例えば、特許文献１には、工程チャンバの基板処理空間のガスを外部に排気するための排気ポンプと、工程チャンバに連結され、基板処理空間と連通する第１流路部と、排気ポンプと結合される第２流路部を、第１流路部と第２流路部との間に配置され、ガスが流れる流路を開閉するバルブモジュールとを含む基板処理装置が記載されている。
この特許文献１に記載されたバルブモジュールは、補強フレーム部に両側部を連結したブレード部（シャッタに相当）が補強フレーム部に設けたガイドローラによってガイドされながら前後に移動されるようになっている。
そして、ブレード部が遮断リング部（シャッタリングに相当）によって流路口に向けて押圧される際、ブレード部が補強フレームに対して流路口に向けて相対的に移動されるため、補強フレームに設けたガイドローラは所定の位置を保持することができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特表２０２２-５２８１６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された基板処理装置では、流路方向でブレード部に干渉しないブレード部の外側の領域に補強フレームを設け、この補強フレームにガイドローラを設けているため、ブレード部と共に流路口に平行に移動する部分が全体的に大きくなり、結果として装置寸法が増大する問題がある。
また、ブレード部が遮断リング部によって押圧された際、ブレード部が補強フレームに対して相対的に移動されるように、補強フレームを第１結合ブロックと第２結合ブロックの２つに分けて設け、その２つの結合ブロックの間にブレード部の一部を配置すると共に、ガイドローラを配置しているため、装置構成が複雑化する問題があった。
【０００５】
本発明は、従来の課題を解決するために開発したものであり、その目的とするところは、コンパクトかつ簡易な構成で、シャッタの移動をガイドするガイドローラに押圧力が掛からないようにして耐久性の向上に寄与することができる真空バルブおよびこの真空バルブを備えた基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、バルブハウジングに形成した流路口に対して平行に移動自在にバルブハウジング内に設けたシャッタと、バルブハウジング内に流路方向に沿って進退自在に設け、シャッタが開いた状態では、先端面をバルブハウジングの内壁面に当接して流路口に接続した流路を気密に形成し、シャッタが閉じた状態では、先端面によってシャッタを内壁面に押圧して流路口を気密に閉じるシャッタリングと、バルブハウジングに流路口に対して平行に設けたガイド溝に沿って転動するガイドローラと、ガイドローラを流路方向に向いた軸上の所定位置で回転自在に支持し、かつ、下流側の端部を自由端として内壁面に当接する支軸と、支軸の上流側の端部を保持しつつ、支軸に対して相対的に流路方向に移動自在にシャッタの上流側の表面に固着した軸保持部材と、を有する真空バルブである。
【０００７】
請求項２に係る発明は、支軸の上流側の端部を挿通した状態で保持する真空バルブである。
【０００８】
請求項３に係る発明は、ガイドローラが、シャッタの表面側から視た場合、一部がシャッタに重なるように支軸に保持され、シャッタが、このシャッタの表面側から視た場合、ガイドローラと重なる部分を切欠いた切欠き部を有し、この切欠き部によってガイドローラとの干渉を避けて内壁面に押圧される真空バルブである。
【０００９】
請求項４に係る発明は、支軸が、ガイドローラが下流側に移動することを阻止する下流側係止部およびガイドローラが上流側に移動することを阻止する上流側係止部を有し、支軸の上流側係止部と保持部材との間で流路方向に伸縮自在に弾性部材を配置した真空バルブである。
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項１に記載の真空バルブが丸型ゲートバルブである真空バルブである。
（【００１１】以降は省略されています）

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