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公開番号2025109275
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-25
出願番号2024003035
出願日2024-01-12
発明の名称磁気検出システム
出願人TDK株式会社
代理人個人,個人
主分類G01N 27/72 20060101AFI20250717BHJP(測定;試験)
要約【課題】異物検知システムとして利用可能な磁気検出システムにおいて、静電気による検出感度の低下を防止する。
【解決手段】磁気検出システム100は、測定空間230を囲む磁気シールドS1～S3を有するシールドボックス200と、測定空間230内においてシールドボックス200に固定された磁気センサ40と、少なくとも一部が測定空間230内に挿入される試料ステージ300と、試料ステージ300に固定され、試料320が載置されるテーブル310と、試料ステージ300の位置を変化させる駆動機構141,142と、を備える。テーブル310は、試料ステージ300と重なることなく試料ステージ300から突出する突出部311を有し、テーブル310の少なくとも突出部311は、試料ステージ300を構成する材料よりも帯電列表においてプラス側に位置する材料からなる。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
測定空間を囲む磁気シールドを有するシールドボックスと、
前記測定空間内において前記シールドボックスに固定された磁気センサと、
少なくとも一部が前記測定空間内に挿入される試料ステージと、
前記試料ステージに固定され、試料が載置されるテーブルと、
前記試料ステージの位置を変化させる駆動機構と、
を備え、
前記テーブルは、前記試料ステージと重なることなく前記試料ステージから突出する突出部を有し、
前記テーブルの少なくとも前記突出部は、前記試料ステージを構成する材料よりも帯電列表においてプラス側に位置する材料からなる、
磁気検出システム。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記テーブルの少なくとも前記突出部は、仕事関数が４ｅＶ以下の材料からなる、
請求項１に記載の磁気検出システム。
【請求項３】
前記テーブルの少なくとも前記突出部は、帯電列表においてアルミニウムよりもプラス側に位置する材料からなる、
請求項１に記載の磁気検出システム。
【請求項４】
前記テーブルの少なくとも前記突出部は、ガラスからなる、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の磁気検出システム。
【請求項５】
前記テーブルの少なくとも前記突出部は、透明な２枚のガラス板からなり、前記２枚のガラス板の間に前記試料が挟まれる、
請求項４に記載の磁気検出システム。
【請求項６】
測定空間を囲む磁気シールドを有するシールドボックスと、
前記測定空間内において前記シールドボックスに固定された磁気センサと、
少なくとも一部が前記測定空間内に挿入される試料ステージと、
前記試料ステージに固定され、試料が載置されるテーブルと、
前記試料ステージの位置を変化させる駆動機構と、
を備え、
前記試料ステージ及び前記テーブルは、いずれも仕事関数が４ｅＶ以下の材料からなる、
磁気検出システム。
【請求項７】
前記試料ステージ及び前記テーブルは、いずれも帯電列表においてアルミニウムよりもプラス側に位置する材料からなる、
請求項６に記載の磁気検出システム。
【請求項８】
前記テーブルは、前記試料ステージを構成する材料よりも帯電列表においてプラス側に位置する材料からなる、
請求項６に記載の磁気検出システム。
【請求項９】
前記テーブルは、ガラスからなる、
請求項６乃至８のいずれか一項に記載の磁気検出システム。
【請求項１０】
前記テーブルは、透明な２枚のガラス板からなり、前記２枚のガラス板の間に前記試料が挟まれる、
請求項９に記載の磁気検出システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は磁気検出システムに関し、特に、異物検知システムとして利用可能な磁気検出システムに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、磁気センサが固定されたシールドボックスと試料ステージとの相対的な位置関係を変化させる駆動機構を備えた磁気検出システムが開示されている。また、特許文献２には、磁気センサが配置された磁気シールドボックス内に被検査物を搬入する前に、静電気除去装置を用いて被検査物が帯びている静電気を除去する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２３／２０４１３５号
特開２０１４－２２４８１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された装置においては、試料ステージの移動によって生じる空気との摩擦によって、試料ステージ自体が静電気を帯びる可能性があった。試料ステージが静電気を帯びると、静電気によって生じる磁界がノイズとなるため、検出感度が低下するという問題が生じる。このような静電気は、特許文献２に記載された静電気除去装置を用いて除去することが可能であるものの、試料ステージと空気との摩擦は測定時において常時発生するため、シールドボックス内に試料ステージを搬入する前に静電気を除去するのみでは、静電気の除去が不十分となるおそれがある。
【０００５】
本開示においては、異物検知システムとして利用可能な磁気検出システムにおいて、静電気による検出感度の低下を防止する技術が説明される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施形態による磁気検出システムは、測定空間を囲む磁気シールドを有するシールドボックスと、測定空間内においてシールドボックスに固定された磁気センサと、少なくとも一部が測定空間内に挿入される試料ステージと、試料ステージに固定され、試料が載置されるテーブルと、試料ステージの位置を変化させる駆動機構と、を備え、テーブルは、試料ステージと重なることなく試料ステージから突出する突出部を有し、テーブルの少なくとも突出部は、試料ステージを構成する材料よりも帯電列表においてプラス側に位置する材料からなる。
【０００７】
本開示の他の実施形態による磁気検出システムは、測定空間を囲む磁気シールドを有するシールドボックスと、測定空間内においてシールドボックスに固定された磁気センサと、少なくとも一部が測定空間内に挿入される試料ステージと、試料ステージに固定され、試料が載置されるテーブルと、試料ステージの位置を変化させる駆動機構と、を備え、試料ステージ及びテーブルは、いずれも仕事関数が４ｅＶ以下の材料からなる。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、異物検知システムとして利用可能な磁気検出システムにおいて、静電気による検出感度の低下を防止する技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、本発明の一実施形態による磁気検出システム１００の外観を示す略斜視図である。
図２は、シールドボックス２００の構造を説明するための略斜視図である。
図３は、シールドボックス２００の構造を説明するための略斜視図である。
図４は、試料ステージ３００の構造を説明するための略斜視図である。
図５は、試料ステージ３００を測定空間２３０内に挿入した状態を示す略斜視図である。
図６は、帯電列表である。
図７は、センサホルダー４００の構造を説明するための略斜視図である。
図８は、センサ本体部１０の構造を説明するための略斜視図である。
図９は、センサ本体部１０の構造を説明するための略分解斜視図である。
図１０は、磁気センサ４０から磁性ヨークＭ１～Ｍ３を取り除いた状態を示す略斜視図である。
図１１は、センサ本体部１０による試料３２０のスキャン方法を説明するための模式図である。
図１２は、金属異物３２１によって生じる磁界を説明するための模式図である。
図１３は、テーブル３１０の突出部３１１の長さと、試料３２０が存在しない場合におけるセンサ出力との関係を示すグラフである。
図１４は、保持部３０３を有する試料ステージ３００の構造を説明するための略斜視図である。
図１５は、第１の変形例を説明するための略斜視図である。
図１６は、第２の変形例を説明するための略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しながら、本開示に係る技術の実施形態について詳細に説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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