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公開番号
2025109601
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-07-25
出願番号
2024003592
出願日
2024-01-12
発明の名称
厚さ測定システム及びプローブ
出願人
株式会社テイエルブイ
代理人
個人
,
個人
主分類
G01B
7/06 20060101AFI20250717BHJP(測定;試験)
要約
【課題】様々な厚さの対象物の厚さ測定を実現する。
【解決手段】厚さ測定システム100は、対象物9に渦電流を誘起させる励磁コイル11と、対象物9の渦電流を検出する検出コイル12と、検出コイル12を介して検出された渦電流に基づいて前記対象物9の厚さを求める導出器86とを備えている。検出コイル12は、渦電流の検出感度を変更可能となっている。
【選択図】図1
特許請求の範囲
【請求項1】
対象物に渦電流を誘起させる励磁器と、
前記対象物の渦電流を検出する検出器と、
前記検出器を介して検出された渦電流に基づいて前記対象物の厚さを求める導出器とを備え、
前記検出器は、渦電流の検出感度を変更可能となっている厚さ測定システム。
続きを表示(約 950 文字)
【請求項2】
請求項1に記載の厚さ測定システムにおいて、
前記検出器は、第1検出器と、前記第1検出器よりも渦電流の検出感度の低い第2検出器とを含む厚さ測定システム。
【請求項3】
請求項2に記載の厚さ測定システムにおいて、
前記第1検出器及び前記第2検出器は、それぞれコイルであり、
前記第1検出器の前記コイルは、前記第2検出器の前記コイルに比べて、巻き数が多い、径が大きい、及び、前記対象物までの距離が短いの少なくとも1つを満たす厚さ測定システム。
【請求項4】
請求項1に記載の厚さ測定システムにおいて、
前記検出器から前記対象物までの距離を変更する調節機構をさらに備え、
前記検出器の前記検出感度は、前記調節機構による前記検出器から前記対象物までの距離の変更によって変更される厚さ測定システム。
【請求項5】
請求項1に記載の厚さ測定システムにおいて、
前記励磁器は、前記対象物に誘起させる渦電流の大きさを変更可能となっている厚さ測定システム。
【請求項6】
請求項5に記載の厚さ測定システムにおいて、
前記励磁器は、第1励磁器と、前記対象物に誘起させる渦電流の大きさが前記第1励磁器よりも小さい第2励磁器とを含む厚さ測定システム。
【請求項7】
請求項6に記載の厚さ測定システムにおいて、
前記第1励磁器及び前記第2励磁器は、それぞれコイルであり、
前記第1励磁器の前記コイルは、前記第2励磁器の前記コイルに比べて、巻き数が多い、及び、前記対象物までの距離が短いの少なくとも1つを満たす厚さ測定システム。
【請求項8】
請求項5に記載の厚さ測定システムにおいて、
前記励磁器は、コイルであり、前記コイルに印加される励磁電流を変更することによって前記対象物に誘起させる渦電流の大きさを変更可能となっている厚さ測定システム。
【請求項9】
対象物に渦電流を誘起させる励磁器と、
前記対象物の渦電流を検出する検出器とを備え、
前記検出器は、渦電流の検出感度を変更可能となっているプローブ。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
ここに開示された技術は、厚さ測定システム及びプローブに関する。
続きを表示(約 1,500 文字)
【背景技術】
【0002】
従来より、渦電流を用いた測定システムが知られている。例えば、特許文献1には、対象物に渦電流を発生させ、発生した渦電流を測定することによって対象物の特性を調べる測定システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2005-106823号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
前述のような渦電流を用いた測定によれば、対象物の厚さを測定できる。渦電流を用いた厚さ測定では、対象物に浸透していく渦電流の経時変化に基づいて対象物の厚さが求められる。ただし、厚さを適切に測定できる対象物の厚さ範囲には限界がある。
【0005】
ここに開示された技術は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、様々な厚さの対象物の厚さ測定を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
ここに開示された厚さ測定システムは、対象物に渦電流を誘起させる励磁器と、前記対象物の渦電流を検出する検出器と、前記検出器を介して検出された渦電流に基づいて前記対象物の厚さを求める導出器とを備え、前記検出器は、渦電流の検出感度を変更可能となっている。
【0007】
ここに開示されたプローブは、対象物に渦電流を誘起させる励磁器と、前記対象物の渦電流を検出する検出器とを備え、前記検出器は、渦電流の検出感度を変更可能となっている。
【発明の効果】
【0008】
前記厚さ測定システムによれば、様々な厚さの対象物の厚さ測定を実現することができる。
【0009】
前記プローブによれば、様々な厚さの対象物の厚さ測定を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
図1は、厚さ測定システムのブロック図である。
図2は、処理装置の処理器の制御系統の構成を示すブロック図である。
図3は、演算装置の処理器の制御系統の構成を示すブロック図である。
図4は、渦電流に対応する電圧信号V(t)の時間変化を示すグラフである。
図5は、厚さ測定のフローチャートである。
図6は、励磁強度及び検出感度が対象物の厚さに対して適切な場合の渦電流に対応する電圧信号V(t)の時間変化を示すグラフである。
図7は、励磁強度及び検出感度に対して対象物の厚さが厚すぎる場合の渦電流に対応する電圧信号V(t)の時間変化を示すグラフである。
図8は、厚い対象物に対して励磁強度又は検出感度を上げた場合の渦電流に対応する電圧信号V(t)の時間変化を示すグラフである。
図9は、図8よりも薄い対象物に対して励磁強度及び検出感度を図8と同じにした場合の渦電流に対応する電圧信号V(t)の時間変化を示すグラフである。
図10は、対象物の厚さと励磁電流と検出コイルとの組み合わせの一例を示す表である。
図11は、変形例1に係る厚さ測定のフローチャートである。
図12は、変形例2に係る厚さ測定システムのブロック図である。
図13は、変形例3に係るプローブの、第1位置に位置するときの模式図である。
図14は、変形例3に係るプローブの、第2位置に位置するときの模式図である。
図15は、変形例4に係るプローブの模式図である。
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)
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