特許ウォッチ

公開番号2025112113
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-31
出願番号2024006208
出願日2024-01-18
発明の名称液体吐出装置、および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B41J 2/17 20060101AFI20250724BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】液体吐出装置において、吐出部材から吐出された液体が吐出部材の側面と枠部材との隙間から侵入することを防止するとともに、吐出部材の交換を容易にするために有利な技術を提供する。
【解決手段】液体吐出装置は、第1液体を吐出する複数の吐出孔を有する吐出部材と、前記吐出部材が配置される開口部を有する枠部材と、前記開口部に配置された前記吐出部材の側面と前記枠部材との隙間に第2液体を供給する供給部と、を備え、前記供給部により前記隙間に供給された前記第2液体が前記隙間に保持されている状態で、前記吐出部材における前記複数の吐出孔の各々から前記第1液体を吐出する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１液体を吐出する複数の吐出孔を有する吐出部材と、
前記吐出部材が配置される開口部を有する枠部材と、
前記開口部に配置された前記吐出部材の側面と前記枠部材との隙間に第２液体を供給する供給部と、を備え、
前記供給部により前記隙間に供給された前記第２液体が前記隙間に保持されている状態で、前記吐出部材における前記複数の吐出孔の各々から前記第１液体を吐出する、ことを特徴とする液体吐出装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記供給部は、前記隙間に配置された供給ノズルを介して前記隙間に前記第２液体を供給する、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記隙間に連通する閉空間を前記枠部材の上面側に規定するように前記開口部を覆うカバー部材と、前記第２液体が前記隙間に保持されるように前記閉空間の気圧を調整する気圧調整部と、を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記気圧調整部は、前記隙間に保持されている前記第２液体の下面が凹メニスカス形状になるように前記閉空間の気圧を調整する、ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記気圧調整部は、前記隙間に前記第２液体を供給する供給処理において、前記供給部により前記隙間に供給される前記第２液体を前記隙間に保持させるように、前記隙間の前記第２液体の量が増えるにつれて前記閉空間の気圧を減少させる、ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記気圧調整部は、前記隙間から前記第２液体を除去する除去処理において、前記隙間の下端から前記第２液体を排出させるように、前記隙間に前記第２液体を保持させるときよりも前記閉空間の気圧を増加させる、ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記隙間の下端から排出された前記第２液体を受け取る受取部と、前記受取部を駆動する駆動部とを更に備え、
前記駆動部は、前記除去処理において前記隙間の下方に前記受取部が配置されるように前記受取部を駆動する、ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記隙間から前記第２液体を除去する除去処理において前記隙間の前記第２液体を吸引する吸引部を更に備える、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記吸引部は、前記隙間に配置された吸引ノズルを介して前記隙間から前記第２液体を吸引する、ことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記枠部材は、第１高さ位置の方が第２高さ位置よりも前記開口部の開口面積が小さくなるように前記開口部の内側に向かって突出した突出部を下部に有し、
前記第１高さ位置は前記枠部材の下面の位置であり、前記第２高さ位置は前記第１高さ位置よりも上側の位置である、ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置、および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、種々の機能素子を製造する際、機能素子の材料となる液体をインクジェット法により基板上に液滴として吐出（供給）する液体吐出装置を用いて、基板上にパターンを形成すること（パターニング）が試みられている。このような液体吐出装置を用いたパターニングは、オンデマンドパターニングが可能であるため材料の使用効率が高いこと、非真空プロセスであり製造装置が比較的小型になること、大面積を高速に塗布可能であることなどのメリットを有している。
【０００３】
液体吐出装置の液体吐出ヘッド（インクジェットヘッド）では、基板上に吐出する液滴を高密度化するため、液体を吐出する複数の吐出孔を有する吐出部材が、枠部材における複数の開口部の各々に配置されうる。この場合、枠部材の各開口部に配置された吐出部材の相対位置を調整可能にするため、吐出部材の側面と枠部材との間に隙間（ギャップ）が設けられうる。しかしながら、当該隙間が設けられると、インク吐出時に発生するミストが当該隙間から液体吐出ヘッドの内部に侵入して電気接点などに付着し、液体吐出ヘッドの動作不具合が引き起こされうる。特許文献１には、当該隙間から液体吐出ヘッドの内部へのミストの侵入を防止することを目的として、当該隙間を弾性部材で封止することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－１０７４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されているように弾性部材により吐出部材の側面と枠部材との隙間を封止する方法では、吐出部材の交換において、枠部材への吐出部材の取り付けや枠部材からの吐出部材の取り外しが困難になりうる。
【０００６】
そこで、本発明は、液体吐出装置において、吐出部材から吐出された液体が吐出部材の側面と枠部材との隙間から侵入することを防止するとともに、吐出部材の交換を容易にするために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての液体吐出装置は、第１液体を吐出する複数の吐出孔を有する吐出部材と、前記吐出部材が配置される開口部を有する枠部材と、前記開口部に配置された前記吐出部材の側面と前記枠部材との隙間に第２液体を供給する供給部と、を備え、前記供給部により前記隙間に供給された前記第２液体が前記隙間に保持されている状態で、前記吐出部材における前記複数の吐出孔の各々から前記第１液体を吐出する、ことを特徴とする。
【０００８】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、液体吐出装置において、吐出部材から吐出された液体が吐出部材の側面と枠部材との隙間から侵入することを防止するとともに、吐出部材の交換を容易にするために有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態の液体吐出装置の構成例を示す概略図
第１実施形態の吐出ヘッドの構成例を示す概略図
第１実施形態の供給処理を示す図
第１実施形態における気体調整方式の除去処理を示す図
第１実施形態における液体吸引方式の除去処理を示す図
第２実施形態の吐出ヘッドにおける吐出部材とその周辺の構造を示す図
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許