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公開番号2025112971
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-01
出願番号2024007559
出願日2024-01-22
発明の名称塗工装置
出願人中外炉工業株式会社
代理人個人,個人
主分類B05C 13/02 20060101AFI20250725BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】減圧による吸着力によって、基板と囲み部材との間に形成される隙間に塗工液が入り込むことを防止する塗工装置を提供する。
【解決手段】基板30が載置される基板載置部16と、基板30の周囲を取り囲む囲み部材20:61,62が載置される周囲載置部17と、を有するステージ10と、基板の表面の全部および囲み部材の表面の内側部に塗工液Pを塗布して塗工膜40を形成する塗工部7と、を備え、基板載置部は、基板の裏面を吸着する基板吸着部12を有し、周囲載置部は、囲み部材の裏面を吸着する周囲吸着部13を有し、基板と囲み部材との間に形成される隙間26には、大気と連通した大気連通部18が配設される。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板が載置される基板載置部と、前記基板の周囲を取り囲む囲み部材が載置される周囲載置部と、を有するステージと、
前記基板の表面の全部および前記囲み部材の表面の内側部に塗工液を塗布して塗工膜を形成する塗工部と、を備え、
前記基板載置部は、前記基板の裏面を吸着する基板吸着部を有し、
前記周囲載置部は、前記囲み部材の裏面を吸着する周囲吸着部を有し、
前記基板と前記囲み部材との間に形成される隙間には、大気と連通した大気連通部が配設される、塗工装置。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
前記囲み部材は、前記基板を収容する開口部を有する吸着板であり、
前記大気連通部は、前記開口部につながるように前記吸着板の裏面に形成された裏面凹部と、前記裏面凹部と大気との間を接続するように前記吸着板に形成された大気接続部と、を有する、請求項１に記載の塗工装置。
【請求項３】
前記大気接続部は、前記吸着板を厚み方向に貫通した開口穴である、請求項２に記載の塗工装置。
【請求項４】
前記裏面凹部は、前記開口部を囲むように形成された裏面溝を有する、請求項２に記載の塗工装置。
【請求項５】
前記囲み部材は、複数のダミー基板が配設されることによって構成され、
前記囲み部材は、前記大気連通部として、前記周囲載置部と前記基板載置部とを区切るように形成されたステージ凹部を有し、
前記ステージ凹部は大気と連通している、請求項１に記載の塗工装置。
【請求項６】
前記周囲載置部は、前記複数のダミー基板のそれぞれに対応するように構成される、請求項５に記載の塗工装置。
【請求項７】
前記隙間は、前記基板と前記囲み部材とが隣接するように構成される、請求項１に記載の塗工装置。
【請求項８】
前記囲み部材は、前記基板と同じ厚みを有する、請求項１に記載の塗工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、ステージに吸着保持された基板に塗工を行う塗工装置に関し、特に、基板よりも大きめサイズの塗工膜を形成する塗工装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、基板の側面にダミー基板を密着させ、基板およびダミー基板に跨がるように塗工液を塗布することによって、基板端部での膜厚変化を抑制して均一な膜厚の塗工膜を形成することを開示している。
【０００３】
基板の側面とダミー基板の側面とを互いに密着させたとしても、両者の側面の間には、微小な隙間が形成されてしまう。特許文献１は、基板およびダミー基板をステージに対してどのような方法で保持するかについて具体的に開示していないが、例えば、特許文献２は、吸着によって基板を保持することを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－１０６２０３号公報
特開２０１６－１９７６２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
吸着による保持方法では、基板と、基板を取り囲む囲み部材との間に形成された微小な隙間に対して、減圧による吸着力が作用すると、塗工液が隙間に入り込んでしまう。そして、隙間に入り込んだ塗工液は、基板の裏面やステージの載置面に回り込み、基板の裏面やステージの載置面を汚してしまうという問題を有する。
【０００６】
そこで、この発明の課題は、減圧による吸着力によって、基板と囲み部材との間に形成される隙間に塗工液が入り込むことを防止する塗工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、この発明の一態様に係る塗工装置は、
基板が載置される基板載置部と、前記基板の周囲を取り囲む囲み部材が載置される周囲載置部と、を有するステージと、
前記基板の表面の全部および前記囲み部材の表面の内側部に塗工液を塗布して塗工膜を形成する塗工部と、を備え、
前記基板載置部は、前記基板の裏面を吸着する基板吸着部を有し、
前記周囲載置部は、前記囲み部材の裏面を吸着する周囲吸着部を有し、
前記基板の側面と前記囲み部材の側面との間に形成される隙間には、大気と連通した大気連通部が配設されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、基板と囲み部材との間に形成される隙間に対して、減圧による吸着力が作用しても、隙間が大気連通部によって大気開放されているので、塗工液が隙間に入り込むことを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施の形態１に係る塗工装置を模式的に説明する図である。
図１に示した塗工装置を用いた塗工を説明する平面図である。
図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線で切断した断面図である。
図３において破線で囲まれた部分の要部拡大図である。
図３に示した吸着板の平面図である。
図３に示した吸着板の下面図である。
図５に示した吸着板をＶＩＩ－ＶＩＩ線で切断した断面図である。
実施の形態２に係る塗工装置を用いた塗工を説明する平面図である。
図８のＩＸ－ＩＸ線で切断した断面図である。
実施の形態２に係る塗工装置のステージの平面図である。
図１０のＸＩ－ＸＩ線で切断した断面図である。
実施の形態３に係る塗工装置を用いた塗工を説明する平面図である。
図１２のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線で切断した断面図である。
実施の形態３に係る塗工装置のステージの平面図である。
図１４のＸＶ－ＸＶ線で切断した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しながら、この発明に係る塗工装置１の実施の形態を説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」、「前」、「後」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は、図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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