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公開番号2025132576
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-10
出願番号2024030239
出願日2024-02-29
発明の名称複層管、および配管構造
出願人積水化学工業株式会社
代理人弁理士法人新樹グローバル・アイピー
主分類F16L 9/133 20060101AFI20250903BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】施工不良を容易に判断することが可能な複層管を提供する。
【解決手段】複層管2、2´は、第1層61と第2層62と、を備える。第1層61は、最内層を構成し、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分とする。第2層62は、第1層61の外側に配置され、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分とする。第1層61の、SEMI F-57に準拠して測定されるカルシウム溶出量が30μg/m²未満である。第1層61と第2層62の色差ΔEは、0.5以上である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
最内層を構成し、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分とする第１層と、
前記第１層の外側に配置され、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分とする第２層と、を備え、
前記第１層の、ＳＥＭＩＦ－５７に準拠して測定されるカルシウム溶出量が３０μｇ／ｍ
２
未満であり、
前記第１層と前記第２層の色差ΔＥは、０．５以上である、
複層管。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第１層と前記第２層の厚みの合計に対する、前記第１層の厚みの比が、０．０１１以上、０．５００以下である、
請求項１に記載の複層管。
【請求項３】
前記第１層の厚みは、０．０６ｍｍ以上、５．０ｍｍ以下である、
請求項１に記載の複層管。
【請求項４】
前記第２層の、ＳＥＭＩＦ－５７に準拠して測定されるカルシウム溶出量が３０μｇ／ｍ
２
以上である、
請求項１に記載の複層管。
【請求項５】
前記第１層と前記第２層の色差ΔＥは、１．０以上である、
請求項１に記載の複層管。
【請求項６】
前記第２層の外側に配置されたガスバリア層を更に備えた、
請求項１に記載の複層管。
【請求項７】
半導体洗浄液の輸送に用いられる、
請求項１に記載の複層管。
【請求項８】
最内層を構成し、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分とする第１層と、
前記第１層の外側に配置され、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分として含み、顔料を含む第２層と、を備えた、
複層管。
【請求項９】
請求項１～８のいずれか１項に記載の一対の複層管と、
各々の前記複層管が挿入される継手受口部を両端に有する、筒状の本体部と、
挿入される一方の前記複層管の端部を規制し、挿入される他方の前記複層管の端部を規制し、前記本体部から内側に向かって突出したストッパ部と、
前記ストッパ部に配置された電熱線を含む発熱部と、を有する、
電気融着継手と、が融着された配管構造であって、
前記一方の複層管の端部と前記他方の複層管の端部によって形成され、内側に突出したビードを備え、
前記ビードの内表面は、前記第１層によって形成され、前記第２層は前記第１層に覆われている、
配管構造。
【請求項１０】
請求項１～８のいずれか１項に記載の一対の複層管の端部同士が融着された配管構造であって、
前記一方の複層管の端部と前記他方の複層管の端部によって形成され、内側に突出したビードを備え、
前記ビードの内表面は、前記第１層によって形成され、前記第２層は前記第１層に覆われている、
配管構造。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、複層管、および配管構造に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置又は液晶表示装置等の精密デバイスの製造において、洗浄等の湿式工程で極めて高純度に精製された超純水が用いられている。金属イオン等が所定濃度以上水中に存在していると、ウエハ表面等に金属が吸着することで精密デバイスの品質に悪影響を及ぼすため、超純水中における不純物の制限が徹底して行われている。
【０００３】
超純水への不純物の混入は、超純水の輸送ラインを構成する配管においても生じる。配管の材質としては、ガスバリア性に優れたステンレス鋼等の金属が用いられたこともあるが、配管からの金属溶出の影響を考慮すると、樹脂を用いることが好ましいとされている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、超純水の配管用の多層管であって、フッ素樹脂からなり、超純水に接触する第１の樹脂層と、ガス不透過性樹脂からなり、前記第１の樹脂層の外周面に設けられた第２の樹脂層とを備えることを特徴とする多層管が開示されている。さらに、第２の樹脂層の外周面に、前記第２の樹脂層を保護する第３の樹脂層が設けられ、当該第３の樹脂層としてポリエチレンが用いられることが開示されている。
【０００５】
超純水用配管材の材料に用いられる樹脂の中でも、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）は、半導体分野において、超純水製造装置内の配管や、超純水製造装置からユースポイントへの超純水の輸送用配管として実用化されているものの全てに用いられており、超純水用配管材における技術的標準となっている。
【０００６】
ＰＶＤＦ等のフッ素樹脂製配管は、他の一般的な配管に比べ、施工性及びコスト性において不利な点がある。さらに、超高純度洗浄液が３－ジアルミノプロパンのようなジアルミノアルカンを含むことが多い上に６０℃の条件で用いられるため劣化が早いという問題もある。
【０００７】
そのため、例えば、特許文献２に示すような、最内層にポリオレフィン系樹脂が用いられた複層管が提案されている。特許文献２に示す複層管は、最内層を構成する第１のポリオレフィン系樹脂層と、第１のポリオレフィン系樹脂層の外側に配置された第２のポリオレフィン系樹脂層を有している。第１のポリオレフィン系樹脂層は、カルシウム溶出量が３０μｇ／ｍ
２
未満に設定され、超純水への不純物の混入が制限されている。
【０００８】
一方、管同士を接続する際には、バット融着、電気融着継手を介する融着等が用いられる。電気融着継手としては、両端部それぞれに接続対象の管が挿し込まれる管受口が形成された熱可塑性樹脂製の継手本体と、継手本体の内周面に内側に向かって突出した位置決め突起が設けられている（例えば特許文献３参照）。位置決め突起は、管受口に差し込まれた管の位置決めを行う。管受口に電熱線が設けられており、電熱線を発熱させることによって、電熱線周囲の樹脂と管の樹脂とが融着し、電気融着継手と管が接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
特開２０１０－２３４５７６公報
特開２０２１－５５７６４号公報
特開２０２３－４６６５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述のように管を融着する場合、施工不良があると漏水に繋がるため瞬時に施工不良が分かることが望まれている。また、特許文献３に示すような複層管の融着時において接合部の盛り上がり部（ビード）の流路側表面に、第１のポリオレフィン系樹脂層だけでなく、第２のポリオレフィン樹脂層が露出すると、水質低下に繋がる場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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