特許ウォッチ

公開番号2025134187
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-17
出願番号2024031935
出願日2024-03-04
発明の名称成膜装置
出願人株式会社レゾナック・ハードディスク
代理人弁理士法人ITOH
主分類C23C 14/56 20060101AFI20250909BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】キャリアを搬送する回転部材の位置精度を維持しつつ、基板の損傷又は落下を抑制することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様に係る成膜装置において、キャリアを搬送する搬送機構は、チャンバ内に設けられ、前記キャリアを支持する支持ユニットを有し、前記支持ユニットは、前記キャリアを支持する複数の回転部材を有し、且つ前記キャリアの搬送方向の上流側から下流側へ延びており、前記複数の回転部材は、前記支持ユニットの前記上流側から前記下流側へ一列に並んで配置されており、前記各回転部材は、円環状を有する回転部材外周部と、前記回転部材外周部の内側に設けられるベアリングと、前記回転部材外周部の内周面と前記ベアリングの外周面との間に設けられる緩衝部材と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持するキャリアと、
前記基板に対して成膜処理を行う複数のチャンバと、
前記複数のチャンバのうち少なくとも１つの内部を減圧する真空ポンプと、
前記チャンバ内を密閉空間にするゲートバルブと、
前記キャリアを前記ゲートバルブ内及び前記複数のチャンバ内へ搬送する搬送機構と、
を備え、
前記複数のチャンバのうち少なくとも１つは、前記基板の加熱機構を有し、
前記搬送機構は、前記チャンバ内に設けられ、前記キャリアを支持する支持ユニットを有し、
前記支持ユニットは、前記キャリアを支持する複数の回転部材を有し、且つ前記キャリアの搬送方向の上流側から下流側へ延びており、
前記複数の回転部材は、前記支持ユニットの前記上流側から前記下流側へ一列に並んで配置されており、
前記各回転部材は、円環状を有する回転部材外周部と、前記回転部材外周部の内側に設けられるベアリングと、前記回転部材外周部の内周面と前記ベアリングの外周面との間に設けられる緩衝部材と、を有する、成膜装置。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記回転部材外周部は、内周面に設けられ、前記緩衝部材を収容する凹部を有し、
前記回転部材は、前記回転部材外周部の内周面と、前記ベアリングの外周面との間に形成される間隙を有し、
前記緩衝部材と前記ベアリングの外周面とは、接触している、請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記ベアリングは、前記回転部材外周部の内側に、軸方向に沿って２つ設けられ、
前記緩衝部材は、前記２つのベアリングのそれぞれの外周面に対向して複数設けられている、請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記緩衝部材は、円環状の弾性部材であり、前記凹部は、円環状に形成されている、請求項３に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記回転部材外周部は、一端に設けられた円環状の鍔部を有し、
前記キャリアは、前記鍔部に鉛直方向下側から支持されると被支持面を有し、
前記緩衝部材は、鉛直方向から見たとき、少なくとも前記鍔部と重なる位置に配置されている、請求項４に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記キャリアは、前記基板を内側に配置する孔部が設けられた基板ホルダと、前記基板ホルダの孔部の周囲に弾性変形可能に取り付けられた複数の支持部材とを備え、
前記複数の支持部材は、前記基板の外周端部と当接し、前記孔部の内側に嵌め込まれた前記基板を支持する、請求項５に記載の成膜装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、成膜装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、基板を保持するキャリアを複数のチャンバ内に順次搬送させて基板に対して成膜処理を行う成膜装置が知られている（例えば、特許文献１を参照）。このような成膜装置は、複数のチャンバがゲートバルブを経由して接続された構造を有している場合が多く、キャリアがゲートバルブを通過する際に上下方向に振動し、この振動で基板が損傷を受けることがあり、又は落下することがあった。
【０００３】
特許文献２には、ゲートバルブを経由して接続されたチャンバの間をキャリアが通過する際のキャリアに加わる衝撃を緩和することを可能としたインライン式成膜装置が開示されている。衝撃を緩和する構成として、キャリアをガイドするガイド機構である主ベアリングを支持する支軸と軸孔との間に、筒状の弾性部材が配置された緩衝機構、又は複数のＯリングが軸方向に並んで配置された緩衝機構が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平８－２７４１４２号公報
特開２０１０－３３６４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に記載のインライン式成膜装置では、緩衝部材としての複数のＯリングが、主ベアリングを支持する支軸と軸孔との間に配置されているため、緩衝部材に加わるモーメントが大きくなる。よって、緩衝部材が変形し、主ベアリングの位置精度を維持することが難しいという問題があった。また、緩衝部材の変形を抑えるために緩衝部材の硬度を高めることが考えられるが、真空環境下で使用可能な緩衝部材の種類は少なく、硬度の選択範囲が一定の硬度以上に限られる。緩衝部材の硬度を高めると、緩衝性が失われ、主ベアリングに加わる振動を低減することが難しくなる。
【０００６】
そこで、本開示の技術は、上記課題に鑑み、キャリアを搬送する回転部材の位置精度を維持しつつ、基板の損傷又は落下を抑制することが可能な成膜装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る成膜装置は、基板を保持するキャリアと、前記基板に対して成膜処理を行う複数のチャンバと、前記複数のチャンバのうち少なくとも１つの内部を減圧する真空ポンプと、前記チャンバ内を密閉空間にするゲートバルブと、前記キャリアを前記ゲートバルブ内及び前記複数のチャンバ内へ搬送する搬送機構と、を備え、前記複数のチャンバのうち少なくとも１つは、前記基板の加熱機構を有し、前記搬送機構は、前記チャンバ内に設けられ、前記キャリアを支持する支持ユニットを有し、前記支持ユニットは、前記キャリアを支持する複数の回転部材を有し、且つ前記キャリアの搬送方向の上流側から下流側へ延びており、前記複数の回転部材は、前記支持ユニットの前記上流側から前記下流側へ一列に並んで配置されており、前記各回転部材は、円環状を有する回転部材外周部と、前記回転部材外周部の内側に設けられるベアリングと、前記回転部材外周部の内周面と前記ベアリングの外周面との間に設けられる緩衝部材と、を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示の成膜装置によれば、キャリアを搬送する回転部材の位置精度を維持しつつ、基板の損傷又は落下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
一実施形態に係る成膜装置の平面図である。
一実施形態に係る成膜装置によって製造される記録媒体の断面図である。
一実施形態に係る成膜装置のチャンバの側面図である。
一実施形態に係る成膜装置のキャリアの側面図（ａ）及び正面図（ｂ）である。
一実施形態に係る支持ユニットの側面図である。
一実施形態に係る支持ユニットの平面図である。
一実施形態に係る支持ユニットの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本開示の実施形態について詳細に説明する。各図面において、同一構成要素には同一符号を付与し、重複した説明を適宜省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許