特許ウォッチ

公開番号2025137123
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024036140
出願日2024-03-08
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B23Q 11/08 20060101AFI20250911BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】特に蛇腹又は/およびウォーターケースの表面にコンタミネーションが付着するのを防止できる加工装置を提供すること。
【解決手段】加工装置1は、被加工物を保持するチャックテーブル10と、切削ブレードによって被加工物を切削加工する切削ユニットと、切削ブレードおよび被加工物に切削水26を供給する切削水供給ノズルと、チャックテーブル10を移動させるX軸移動ユニットと、X軸移動ユニットに切削水26が侵入するのを防止する蛇腹7と、チャックテーブル10の外周に配設され切削水26を受け止めるウォーターケース50とを備え、蛇腹7及びウォーターケース50の表面は、切削水26が流れる上流側に疎水性を有する第1のコーティング層81と、切削水26が流れる下流側に親水性を有する第2のコーティング層82とを有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
加工装置であって、
被加工物を保持するチャックテーブルと、
スピンドルと、該スピンドルの先端に装着された加工工具によって該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
該加工工具および該被加工物に切削水を供給する切削水供給ユニットと、
該チャックテーブルを移動させる移動ユニットと、
該チャックテーブルの移動方向の両側部に固定され該チャックテーブルの移動経路を覆い該移動ユニットに該切削水が侵入するのを防止する蛇腹と、
該チャックテーブルの外周に配設され該被加工物を加工する際に供給された該切削水を受け止めるウォーターケースと、
を少なくとも備え、
該蛇腹又は／及び該ウォーターケースの表面には、該切削水が流れる上流側に疎水性を有する第１のコーティング層と、該切削水が流れる下流側に親水性を有する第２のコーティング層と、
を有する加工装置。
続きを表示（約 160 文字）【請求項２】
該第１のコーティング層は、上流側から下流側に向かって、該第１のコーティング層の面積が小さくなるように形成されている、
請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
該第１のコーティング層は、複数のコーティング層によって形成されている、
請求項１又は請求項２記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが表面に複数形成されたシリコンウェーハ（以下、単に被加工物と称する）は、裏面が研削されて所定の厚みに形成された後、切削装置によって個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
上記被加工物を個々のデバイスに分割する切削装置として、公知の切削装置が使用される。切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルと、スピンドルの先端に装着された切削ブレードと、チャックテーブルをＸ軸方向に移動する移動手段と、を備えており、切削ブレードを被加工物の外周よりも外側の位置に位置付けるとともに切削ブレードをチャックテーブルから所定の高さ位置に位置付けて、切削ブレードとチャックテーブルとを相対的に移動させて、被加工物を切削する。これを繰り返すことで被加工物を個々のデバイスに分割される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、切削加工時は、切削ブレードに切削水を供給しながら切削加工が実施される。そして、この切削水が切削装置のＸ軸移動機構やその他装置内部に侵入するのを防止するための蛇腹および蛇腹から切削水を受け止めるためにチャックテーブルの移動領域にウォーターケースが配設される（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平０９－１３９３６２号公報
特開２００２－１０３１７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
切削加工に供された切削水には、被加工物のコンタミネーション（研削屑ともいう）が含まれる。そして、コンタミネーションが含まれた切削水は、蛇腹からウォーターケースに流れ込む。そうすると、コンタミネーションが、蛇腹の表面やウォーターケースの底や内壁に付着し、堆積していく。
【０００７】
堆積したコンタミネーションは、飛散して被加工物に付着するおそれがある。そのため、定期的にウォーターケース内を清掃する必要があるが、現状は、オペレータが切削装置を止めて手作業で清掃していた。
【０００８】
本発明の目的は、特に蛇腹又は／およびウォーターケースの表面にコンタミネーションが付着するのを防止できる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、加工装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルと、該スピンドルの先端に装着された加工工具によって該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該加工工具および該被加工物に切削水を供給する切削水供給ユニットと、該チャックテーブルを移動させる移動ユニットと、該チャックテーブルの移動方向の両側部に固定され該チャックテーブルの移動経路を覆い該移動ユニットに該切削水が侵入するのを防止する蛇腹と、該チャックテーブルの外周に配設され該被加工物を加工する際に供給された該切削水を受け止めるウォーターケースと、を少なくとも備え、該蛇腹又は／及び該ウォーターケースの表面には、該切削水が流れる上流側に疎水性を有する第１のコーティング層と、該切削水が流れる下流側に親水性を有する第２のコーティング層と、を有することを特徴とする。
【００１０】
前記加工装置では、該第１のコーティング層は、上流側から下流側に向かって、該第１のコーティング層の面積が小さくなるように形成されても良い。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許