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公開番号2025142882
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-01
出願番号2024042480
出願日2024-03-18
発明の名称真空管、X線管及びX線検査装置
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類H01J 35/06 20060101AFI20250924BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】部品点数を抑えて低コスト化が可能な真空管、X線管及びそれを備えたX線検査装置を提供する。
【解決手段】真空領域Av内に設けられたフィラメント22から電子を放出する真空管からなるX線管10であって、真空領域Avを形成する真空容器11の一部を構成するセラミックス製のフィラメント支持部21と、フィラメント支持部21に支持されて真空領域Avと外部とに貫通する導電棒であるフィラメント電極31及びウェーネルト電極32と、を備え、フィラメント22は、フィラメント電極31に接続されて通電され、これらのフィラメント電極31及びウェーネルト電極32のうちのウェーネルト電極32は、ネジ孔33からなるネジ構造を有する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
真空領域（Ａｖ）内に設けられたフィラメント（２２）から電子を放出する真空管（１０）であって、
前記真空領域を形成する真空容器（１１）の一部を構成する非導電部材（２１）と、
前記非導電部材に支持されて前記真空領域と外部とに貫通する少なくとも３本の導電棒（３１，３２）と、
を備え、
前記フィラメントは、前記導電棒に接続されて通電され、
複数の前記導電棒は、少なくとも１本がネジ構造（３３）を有する、
真空管。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
ネジ構造を有する前記導電棒には、前記フィラメントから放出される電子を制御するウェーネルト（２３）がネジ止めされる、
請求項１に記載の真空管。
【請求項３】
前記ウェーネルトは、前記導電棒にネジ止めされる取付壁部（５１）と、前記取付壁部に取り付けられる壁体（５５）と、を有し、
前記壁体は、前記フィラメントが収容されるスリット（５６）を有し、前記取付壁部に対して変位可能に取り付けられる、
請求項２に記載の真空管。
【請求項４】
ネジ構造を有する前記導電棒とネジ構造のない前記導電棒とに、分子吸着部材（５９）の両端の端子（５９ａ）がそれぞれ接続されている、
請求項１に記載の真空管。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか一項の真空管において、
前記フィラメントから放出された電子が照射されるターゲット（６３）と、
前記ターゲットに電子が照射されて放出されたＸ線を透過させる窓部（７２）と、
を備える、
Ｘ線管（１０）。
【請求項６】
搬送される被検査物（Ｗ）に向けてＸ線を照射する、請求項５に記載のＸ線管と、
前記被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器（８２）と、
前記Ｘ線検出器によって得られる画像情報に基づいて前記被検査物の検査を行う信号処理部（８３）とを備える、
Ｘ線検査装置（１００）。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空管、Ｘ線管及びＸ線検査装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
容器内を真空状態とした真空管として、特許文献１には、フィラメントから放出される電子を絞る孔部を有するウェーネルトを備えた電子銃が開示されている。
【０００３】
また、特許文献２には、金属製の円筒形壁部の一端側がセラミックス製のカラーによってキャップされ、他端側が陽極アセンブリによってキャップされた真空エンクロージャからなる真空容器を備えたＸ線管が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開昭４９－１７１６６号公報（第２図）
特表２０１５－５２５９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載の電子銃では、フィラメントの電極が貫通された絶縁板を介してウェーネルトを当板にネジ止め固定しているため、部品点数が多く、コストが嵩んでしまう。
【０００６】
特に、特許文献２に記載のＸ線管のような金属－セラミック製の真空管では、高精度に形成できるが原材料や製造設備が高価であるため、部品点数を少なくしてコストを抑えることが要求される。
【０００７】
そこで本発明は、部品点数を抑えて低コスト化が可能な真空管、Ｘ線管及びそれを備えたＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は下記構成からなる。
（１）真空領域内に設けられたフィラメントから電子を放出する真空管であって、
前記真空領域を形成する真空容器の一部を構成する非導電部材と、
前記非導電部材に支持されて前記真空領域と外部とに貫通する少なくとも３本の導電棒と、
を備え、
前記フィラメントは、前記導電棒に接続されて通電され、
複数の前記導電棒は、少なくとも１本がネジ構造を有する、
真空管。
（２）上記（１）の真空管において、
前記フィラメントから放出された電子が照射されるターゲットと、
前記ターゲットに電子が照射されて放出されたＸ線を透過させる窓部と、
を備える、
Ｘ線管。
（３）搬送される被検査物（Ｗ）に向けてＸ線を照射する、上記（３）のＸ線管と、
前記被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器（８２）と、
前記Ｘ線検出器によって得られる画像情報に基づいて前記被検査物の検査を行う信号処理部（８３）とを備える、
Ｘ線検査装置。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、部品点数を抑えて低コスト化が可能な真空管、Ｘ線管及びそれを備えたＸ線検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
図１は、実施形態に係る真空管の一例であるＸ線管の軸方向に沿う鉛直方向の断面図である。
図２は、実施形態に係る真空管の一例であるＸ線管の軸方向に沿う水平方向の断面図である。
図３は、Ｘ線管の一部を破断させた斜視図である。
図４は、図１におけるＩＶ－ＩＶ断面図である。
図５は、図１におけるＶ－Ｖ断面図である。
図６は、Ｘ線管の陰極構造部の側面図である。
図７は、Ｘ線管を備えたＸ線検査装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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