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公開番号2025142881
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-01
出願番号2024042479
出願日2024-03-18
発明の名称X線管及びX線検査装置
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類H01J 35/16 20060101AFI20250924BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】瞬断を抑えつつ小型化及び低コスト化が可能なX線管及びそれを備えたX線検査装置を提供する。
【解決手段】内部が真空領域Avとなる真空容器11と、真空容器11に設けられて電子を放出するフィラメント22と、真空容器11の端11bに設けられてフィラメント22からの電子の照射によってX線を放出するターゲット63と、を有し、ターゲット63の周囲を囲うとともに、ターゲット63へ向かう電子が通過可能な連通孔68を有する半閉鎖空間66が設けられ、半閉鎖空間66の内壁に、真空容器11内を真空引きするための開口部74が設けられている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
内部が真空領域（Ａｖ）となる真空容器（１１）と、
前記真空容器に設けられて電子を放出するフィラメント（２２）と、
前記真空容器の端（１１ｂ）に設けられて前記フィラメントからの電子の照射によってＸ線を放出するターゲット（６３）と、
を有し、
前記ターゲットの周囲を囲うとともに、前記ターゲットへ向かう電子が通過可能な連通孔（６８）を有する半閉鎖空間（６６）が設けられ、
前記半閉鎖空間の内壁に、前記真空容器内を真空引きするための開口部（７４）が設けられている、
Ｘ線管（１０）。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
前記半閉鎖空間の内壁に、前記ターゲットから放出されるＸ線を透過させて外部へ照射させる窓部（７２）が設けられている、
請求項１に記載のＸ線管。
【請求項３】
前記真空領域と前記半閉鎖空間との間に、前記真空領域側の面が平滑な隔壁（６７）を有し、前記隔壁に前記連通孔が形成されている、
請求項１に記載のＸ線管。
【請求項４】
前記ターゲットは、銅または銅合金から形成されたターゲット搭載部材（６２）に取り付けられている、
請求項１に記載のＸ線管。
【請求項５】
搬送される被検査物（Ｗ）に向けてＸ線を照射する、請求項１～４のいずれか一項に記載のＸ線管と、
前記被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器（８２）と、
前記Ｘ線検出器によって得られる画像情報に基づいて前記被検査物の検査を行う信号処理部（８３）とを備える、
Ｘ線検査装置（１００）。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線管及びＸ線検査装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、物品検査等に用いられるＸ線検査装置は、Ｘ線の発生源としてＸ線管を備えている。Ｘ線管は、真空容器内において、フィラメントから放出させた電子をターゲットに衝突させることにより発生するＸ線を窓部から照射する構造を有している。
【０００３】
特許文献１には、円筒形壁部の一端側がカラーによってキャップされ、他端側が陽極アセンブリによってキャップされた真空エンクロージャからなる真空容器を備えたＸ線管が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特表２０１５－５２５９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、Ｘ線管は、搭載されるＸ線検査装置の省スペース化や製造コストの低減のため、小型化が要求されている。一方、異常放電によるＸ線の瞬断を防止するためには、フィラメントから放出される電子を全てターゲットに到達させる必要があるが、フィラメントから放出される電子は、ターゲットと同電位にある周辺構造体の形状偏極部に到達しやすい傾向がある。例えば、上記特許文献１に記載のＸ線管において、真空引き用のパイプの接続部や穴などの開口部を円筒形壁部の一端側に設けられる陽極アセンブリに形成すると、この開口部からなる形状偏極部に電子が到達し、Ｘ線が瞬断するおそれがある。このため、Ｘ線管では、真空引きのための開口部などの必要構造部をターゲットより十分に離れた位置に配置する必要があり、小径化の制約となっている。
【０００６】
そこで本発明は、瞬断を抑えつつ小型化及び低コスト化が可能なＸ線管及びそれを備えたＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は下記構成からなる。
（１）内部が真空領域となる真空容器と、
前記真空容器に設けられて電子を放出するフィラメントと、
前記真空容器の端に設けられて前記フィラメントからの電子の照射によってＸ線を放出するターゲットと、
を有し、
前記ターゲットの周囲を囲うとともに、前記ターゲットへ向かう電子が通過可能な連通孔を有する半閉鎖空間が設けられ、
前記半閉鎖空間の内壁に、前記真空容器内を真空引きするための開口部が設けられている、
Ｘ線管。
（２）搬送される被検査物（Ｗ）に向けてＸ線を照射する、上記のＸ線管と、
前記被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器（８２）と、
前記Ｘ線検出器によって得られる画像情報に基づいて前記被検査物の検査を行う信号処理部（８３）とを備える、
Ｘ線検査装置。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、瞬断を抑えつつ小型化及び低コスト化が可能なＸ線管及びそれを備えたＸ線検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態に係るＸ線管の軸方向に沿う鉛直方向の断面図である。
図２は、実施形態に係るＸ線管の軸方向に沿う水平方向の断面図である。
図３は、Ｘ線管の一部を破断させた斜視図である。
図４は、図１におけるＩＶ－ＩＶ断面図である。
図５は、図１におけるＶ－Ｖ断面図である。
図６は、Ｘ線管の陰極構造部の側面図である。
図７は、Ｘ線管を備えたＸ線検査装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、実施形態に係るＸ線管１０の軸方向に沿う鉛直方向の断面図である。図２は、実施形態に係るＸ線管１０の軸方向に沿う水平方向の断面図である。図３は、Ｘ線管１０の一部を破断させた斜視図である。図４は、図１におけるＩＶ－ＩＶ断面図である。図５は、図１におけるＶ－Ｖ断面図である。図６は、Ｘ線管１０の陰極構造部１２の側面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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