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公開番号2025147986
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-07
出願番号2024048535
出願日2024-03-25
発明の名称研磨材分離装置、研磨材分離装置の制御方法及びプログラム
出願人株式会社大気社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類B24B 45/00 20060101AFI20250930BHJP(研削;研磨)
要約【課題】研磨材を傷つけることなく高精度に分離するための技術を提供する。
【解決手段】研磨材が装着される装着部と、当該装着部に装着されている研磨材と、の間に挿入される分離部材と、前記研磨材が装着されている前記装着部と、前記分離部材と、を相対移動させることによって前記装着部と前記研磨材との間に前記分離部材が挿入される状態にする制御手段と、を備える研磨材分離装置であって、前記分離部材に対して前記装着部の反対側に配され、前記分離部材によって前記装着部から一部が分離された研磨材と接触する分離補助部材を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
研磨材が装着される装着部と、当該装着部に装着されている研磨材と、の間に挿入される分離部材と、
前記研磨材が装着されている前記装着部と、前記分離部材と、を相対移動させることによって前記装着部と前記研磨材との間に前記分離部材が挿入される状態にする制御手段と、
を備える研磨材分離装置であって、
前記分離部材に対して前記装着部の反対側に配され、前記分離部材によって前記装着部から一部が分離された研磨材と接触する分離補助部材を備えることを特徴とする研磨材分離装置。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
前記制御手段は、
前記装着部及び前記研磨材を第１の方向に移動させて、前記研磨材の縁部を前記分離部材の端部に接触させ、
前記縁部が前記端部に接触した後、前記装着部及び前記研磨材を前記第１の方向と交差する第２の方向にさらに移動させ、
前記第２の方向への移動後、前記装着部及び前記研磨材を再び前記第１の方向に移動させて前記装着部と前記研磨材との間に前記分離部材を挿入することを特徴とする請求項１に記載の研磨材分離装置。
【請求項３】
前記第１の方向は、前記第２の方向と垂直であることを特徴とする請求項２に記載の研磨材分離装置。
【請求項４】
前記第１の方向は、鉛直下方であり、前記第２の方向は、水平方向であることを特徴とする請求項２に記載の研磨材分離装置。
【請求項５】
前記研磨材の面積は、前記研磨材と前記装着部との接触面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の研磨材分離装置。
【請求項６】
前記研磨材の分離動作の終了後に、前記装着部から前記研磨材が分離されたか否かを判定する判定手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の研磨材分離装置。
【請求項７】
前記判定手段により前記装着部から前記研磨材が分離されていないと判定された場合に報知を行う報知手段をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の研磨材分離装置。
【請求項８】
前記分離部材及び前記分離補助部材は、鉛直方向に延在し、
前記制御手段は、前記装着部及び前記研磨材を鉛直下方に移動させて、前記装着部と前記研磨材との間に前記分離部材を挿入することを特徴とする請求項１に記載の研磨材分離装置。
【請求項９】
前記装着部と前記研磨材との間に前記分離部材が挿入される際に、前記研磨材は、前記分離部材と前記分離補助部材との間に進入することを特徴とする請求項１に記載の研磨材分離装置。
【請求項１０】
前記分離補助部材は、前記分離部材と平行に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨材分離装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨材分離装置、研磨材分離装置の制御方法及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、２つの把持機構（クランプ装置）により研磨パッド（研磨材）を挟み込んだ状態で、研磨パッド取付板を含むロボットの端部を研磨パッドから離間させることで、研磨パッド取付板から研磨パッドを取り外すことを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
独国特許出願公開第１０２０２０１２２１１４号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、研磨パッドを強い力で挟持するため、研磨パッドが損傷してしまう可能性がある。その場合、研磨パッドを再利用することが難しくなる。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、研磨パッド等の研磨材を傷つけることなく高精度に分離するための技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成する本発明の一態様による研磨材分離装置は、
研磨材が装着される装着部と、当該装着部に装着されている研磨材と、の間に挿入される分離部材と、
前記研磨材が装着されている前記装着部と、前記分離部材と、を相対移動させることによって前記装着部と前記研磨材との間に前記分離部材が挿入される状態にする制御手段と、
を備える研磨材分離装置であって、
前記分離部材に対して前記装着部の反対側に配され、前記分離部材によって前記装着部から一部が分離された研磨材と接触する分離補助部材を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、研磨材を傷つけることなく高精度に分離することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
一実施形態に係る研磨材分離装置の全体構成を示す図。
一実施形態に係る制御装置の構成例を示す図。
一実施形態に係る研磨材分離処理の説明図。
一実施形態に係る研磨材分離処理の別の説明図。
一実施形態に係る検出部（測距センサ）の動作説明図。
一実施形態に係る部材の具体例を示す図。
一実施形態に係る検出部（光電センサ）の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴は任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
＜研磨材分離装置の全体構成＞
まず図１を参照して、本実施形態に係る研磨材分離装置の全体構成を説明する。研磨材分離装置１０は、ロボット２０と、制御装置３０と、分離部材（第１の部材）４０と、分離補助部材（第２の部材）５０と、検出部６０とを備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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