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公開番号2025030809
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-07
出願番号2023136430
出願日2023-08-24
発明の名称TMAH含有排水の処理方法
出願人栗田工業株式会社
代理人個人,個人
主分類C02F 3/28 20230101AFI20250228BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約【課題】嫌気処理槽内の有機酸蓄積を抑制してTMAH分解率を高く維持することができるTMAH含有排水の処理方法を提供する。
【解決手段】TMAH含有排水をCOD_Crの容積負荷4kg-COD_Cr/m³/d以上で嫌気処理槽に導入して処理するTMAH含有排水の処理方法において、処理水の有機酸濃度が有機酸のCOD_Cr換算濃度の合計として(「COD_Crの容積負荷」×50+100)mg/L以下であることを特徴とするTMAH含有排水の処理方法。好ましくは、前記TMAH含有排水は、TMAHをTOCの80wt%以上含み、かつTMAH濃度が5000mg/L以上で運転する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ＴＭＡＨ含有排水をＣＯＤ
Ｃｒ
の容積負荷４ｋｇ－ＣＯＤ
Ｃｒ
／ｍ
３
／ｄ以上で嫌気処理槽に導入して処理するＴＭＡＨ含有排水の処理方法において、
処理水の有機酸濃度が有機酸のＣＯＤ
Ｃｒ
換算濃度の合計として（「ＣＯＤ
Ｃｒ
の容積負荷」×５０＋１００）ｍｇ／Ｌ以下であることを特徴とするＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
前記ＴＭＡＨ含有排水は、ＴＭＡＨをＴＯＣの８０ｗｔ％以上含み、かつＴＭＡＨ濃度が５０００ｍｇ／Ｌ以上で嫌気処理する請求項１のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
【請求項３】
前記処理水の有機酸のＣＯＤ
Ｃｒ
換算濃度の合計が（「ＣＯＤ
Ｃｒ
の容積負荷」×５０＋１００）ｍｇ／Ｌより大きい場合、有機酸資化性のメタン生成細菌を含む汚泥を前記嫌気処理槽に添加することにより、処理水の有機酸濃度がＣＯＤ
Ｃｒ
換算濃度の合計として（「ＣＯＤ
Ｃｒ
の容積負荷」×５０＋１００）ｍｇ／Ｌ以下となるようにすることを特徴とする請求項２のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
【請求項４】
前記有機酸資化性のメタン生成細菌を含む汚泥を、前記嫌気処理槽内の汚泥保持量に対して０．５～３０％－ＶＳＳ添加することを特徴とする請求項３のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
【請求項５】
前記有機酸資化性メタン生成細菌を含む汚泥の有機酸活性が０．０１ｋｇ－ＣＯＤ
Ｃｒ
／ｋｇ－ＶＳＳ／ｄ以上であることを特徴とする請求項１のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
【請求項６】
前記有機酸資化性メタン生成細菌を含む汚泥を添加後における前記嫌気処理槽内の全体のメタン生成細菌に占める有機酸資化性メタン生成細菌の割合が１０～３０ｗｔ％であることを特徴とする請求項１のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
【請求項７】
前記有機酸資化性メタン生成細菌がMethanosarcina属である請求項３のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
【請求項８】
前記嫌気処理槽内の全体のメタン生成細菌に占めるMethanomethylovorans属の割合が３０～８０ｗｔ％である請求項６のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
【請求項９】
前記嫌気処理槽内のｐＨは７．０～８．３であることを特徴とする請求項１のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。
【請求項１０】
気相部の水素濃度が５％以下であることを特徴とする請求項１～９のいずれか１項のＴＭＡＨ含有排水の処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）含有排水の処理方法に係り、特にＴＭＡＨ含有排水を嫌気処理する方法に関する。
続きを表示（約 740 文字）【背景技術】
【０００２】
電子部品製造工程等から排出されるＴＭＡＨ含有排水の処理方法として、ＴＭＡＨ含有排水を嫌気処理する方法がある（特許文献１～３）。
【０００３】
特許文献１には、ＴＭＡＨ含有排水のＴＭＡＨ濃度を２００００ｍｇ／Ｌ以下として嫌気処理する方法が記載されている。
【０００４】
特許文献２には、ＴＭＡＨ含有排水に糖蜜を添加して嫌気処理することが記載されている。
【０００５】
特許文献３には、ＴＭＡＨ含有排水にリン酸塩、炭酸塩等のアルカリ度調整剤を添加して嫌気処理することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１０－１８４１７８号公報
特開２０１０－２７４２０７号公報
特開２０１１－１１１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＴＭＡＨ含有排水の嫌気処理運転を行っているときに急にＴＭＡＨ分解率が低下して処理水中の残留ＴＭＡＨ濃度が高くなることがある。
【０００８】
本発明者が種々研究を重ねたところ、このＴＭＡＨ分解率低下は、嫌気処理槽内に有機酸が蓄積することに起因することが認められた。
【０００９】
本発明は、かかる嫌気処理槽内の有機酸蓄積を抑制してＴＭＡＨ分解率を高く維持することができるＴＭＡＨ含有排水の処理方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は下記の方法を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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