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公開番号
2025064496
公報種別
公開特許公報(A)
公開日
2025-04-17
出願番号
2023174319
出願日
2023-10-06
発明の名称
水分量モニタ装置、光電素子、及び光電素子の製造方法
出願人
国立大学法人 和歌山大学
代理人
個人
主分類
G01N
21/3554 20140101AFI20250410BHJP(測定;試験)
要約
【課題】水分量モニタのための光を狭帯域化する。
【解決手段】開示の対象の水分量モニタ装置は、水によって吸収される第1波長域の光を、前記対象へ照射する発光素子と、前記発光素子によって光が照射された前記対象から反射した光又は前記対象を透過した光を受光し、受光強度に応じた信号を出力する受光素子と、前記信号に基づいて、前記対象の水分量モニタ結果を生成するプロセッサと、
を備える。前記発光素子及び前記受光素子の少なくともいずれか一方の光電素子は、第1量子構造によって、前記第1波長域中にピーク波長を有する第1素子を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲
【請求項1】
対象の水分量モニタ装置であって、
水によって吸収される第1波長域の光を、前記対象へ照射する発光素子と、
前記発光素子によって光が照射された前記対象から反射した光又は前記対象を透過した光を受光し、受光強度に応じた信号を出力する受光素子と、
前記信号に基づいて、前記対象の水分量モニタ結果を生成するプロセッサと、
を備え、
前記発光素子及び前記受光素子の少なくともいずれか一方の光電素子は、第1量子構造によって、前記第1波長域中にピーク波長を有する第1素子を備える
水分量モニタ装置。
続きを表示(約 1,200 文字)
【請求項2】
前記光電素子は、第2量子構造によって、前記第1波長域よりも水による吸収係数が小さい第2波長域中にピーク波長を有する第2素子を更に備える
請求項1に記載の水分量モニタ装置。
【請求項3】
前記第1量子構造及び前記第2量子構造は、同一基板上に形成されている
請求項2に記載の水分量モニタ装置。
【請求項4】
前記第1素子及び前記第2素子それぞれのピーク波長は、離散的に存在する
請求項2に記載の水分量モニタ装置。
【請求項5】
前記第1素子は、
GaAs基板と、
前記GaAs基板上に形成されたシードInAs量子ドットと、
前記シードInAs量子ドット上に、スペーサ層を介して、積層されたアクティブInAs量子ドットと、
前記アクティブInAs量子ドット上に形成されたInGaAsキャッピング層と、
を備える
請求項1に記載の水分量モニタ装置。
【請求項6】
前記光電素子は、第2量子構造によって、前記第1波長域よりも水による吸収係数が小さい第2波長域中にピーク波長を有する第2素子を更に備え、
前記第2量子構造は、前記GaAs基板上に形成されている
請求項5に記載の水分量モニタ装置。
【請求項7】
前記第1波長域は、1400nmから1500nmの波長域であり、
前記第2波長域は、1000nmから1100nmの波長域である
請求項6に記載の水分量モニタ装置。
【請求項8】
GaAs基板と、
前記GaAs基板上に形成されたシードInAs量子ドットと、
前記シードInAs量子ドット上に、スペーサ層を介して、積層されたアクティブInAs量子ドットと、
前記アクティブInAs量子ドット上に形成されたInGaAsキャッピング層と、
を備え、
1400nmから1500nmの波長範囲内にピーク波長を有する
水分量モニタ装置用の光電素子。
【請求項9】
水分量モニタ装置用の光電素子の製造方法であって、
GaAs基板上に、シードInAs量子ドットを形成し、
前記シードInAs量子ドット上に、スペーサ層を形成し、
前記スペーサ層上にアクティブInAs量子ドットを形成し、
前記アクティブInAs量子ドット上に、InGaAsによってキャッピング層を形成する、
ことを備え、
前記スペーサ層及びキャッピング層の少なくともいずれか一方のキャッピングレートは、0.5ML/s以上である
光電素子の製造方法。
【請求項10】
前記スペーサ層及びキャッピング層の少なくともいずれか一方のキャッピングレートは、1.0ML/s以上である
請求項9に記載の光電素子の製造方法。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本開示は、水分量モニタ装置、光電素子、及び光電素子の製造方法に関する。
続きを表示(約 1,500 文字)
【背景技術】
【0002】
非特許文献1は、被験者の皮膚の水分量を測定するために、ハロゲンランプの光が照射された被験者を、波長1060nm及び1450nmの干渉フィルタを取り付けた近赤外カメラを用いて撮影することを開示している。また、非特許文献1は、1060nm及び1450nmの干渉フィルタを取り付けた近赤外カメラによって、1060nm及び1450nmの2枚の分光画像を取得し、2枚の分光画像の強度比較から水分量(保湿状態)に関する情報を取得することを開示している。
【0003】
非特許文献1において、1450nmの光は、水による吸収係数が大きい波長(水吸収波長)の光であり、1060nmの光は、水による吸収係数が小さい波長(参照波長)の光である。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【0004】
中村睦子・中内茂樹、“近赤外分光画像でみる化粧品の保湿効果”、光学39巻11号、529-533頁、一般社団法人日本光学会、2010年
【発明の概要】
【0005】
非特許文献1に開示の技術では、広帯域の光を出力するハロゲンランプ(白熱電球)が光源として用いられる。広帯域の光には、水分量を求めるのに必要な波長以外の波長の光も含まれるため、それらを除くための干渉フィルタを通す必要がある。その結果、信号雑音比(SN比)が低下し、水分量の測定感度の低下、又は、測定時間の増大などの問題が生じるおそれがある。また、干渉フィルタやレンズなどの光学素子を含むハロゲンランプを用いると、光源装置が大型化しやすいという問題もある。同様の課題が、受光装置についても発生する。
【0006】
したがって、かかる問題に対するいずれかの解決が望まれる。
【0007】
本開示のある側面は、対象の水分量モニタ装置である。開示の装置は、水によって吸収される第1波長域の光を、前記対象へ照射する発光素子と、前記発光素子によって光が照射された前記対象から反射した光又は前記対象を透過した光を受光し、受光強度に応じた信号を出力する受光素子と、前記信号に基づいて、前記対象の水分量モニタ結果を生成するプロセッサと、を備え、前記発光素子及び前記受光素子の少なくともいずれか一方の光電素子は、第1量子構造によって、前記第1波長域中にピーク波長を有する第1素子を備える。
【0008】
本開示の他の側面は、光電素子である。開示の光電素子は、GaAs基板と、前記GaAs基板上に形成されたシードInAs量子ドットと、前記シードInAs量子ドット上に、スペーサ層を介して、積層されたアクティブInAs量子ドットと、前記アクティブInAs量子ドット上に形成されたInGaAsキャッピング層と、を備え、1400nmから1500nmの波長範囲内に発光または吸光ピーク波長を有する。
【0009】
本開示の他の側面は、光電素子の製造方法である。開示の方法は、GaAs基板上に、シードInAs量子ドットを形成し、前記シードInAs量子ドット上に、スペーサ層を形成し、前記スペーサ層上にアクティブInAs量子ドットを形成し、前記アクティブInAs量子ドット上に、InGaAsによってキャッピング層を形成する、ことを備え、前記スペーサ層及びキャッピング層の少なくともいずれか一方のキャッピングレートは、0.5ML/s以上である。
【0010】
更なる詳細は、後述の実施形態として説明される。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)
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