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公開番号2025077721
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-19
出願番号2023190134
出願日2023-11-07
発明の名称不揮発性不純物の定量方法
出願人オルガノ株式会社
代理人弁理士法人YKI国際特許事務所
主分類G01N 27/60 20060101AFI20250512BHJP(測定;試験)
要約【課題】液中の不揮発性不純物の定量を可能とする方法を提供する。
【解決手段】不揮発性不純物の定量方法は、標準物質の濃度が既知である標準液を荷電化粒子検出器により測定して得られた測定値に基づいて、検量線を作成する第1工程と、不揮発性不純物を含む試料液を前記荷電化粒子検出器により測定して得られた測定値と、前記検量線とを使用して、前記不揮発性不純物を定量する第2工程と、を有し、前記標準物質は、当該標準物質濃度1mg/Lの溶液を前記荷電化粒子検出器により測定して得られたスペクトル中のピークの高さ(H)と幅(W)の比(H/W)が3以上となる物質であることを特徴とする。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項1】
標準物質の濃度が既知である標準液を荷電化粒子検出器(Charged Aerosol Detector)により測定して得られた測定値に基づいて、検量線を作成する第1工程と、
不揮発性不純物を含む試料液を前記荷電化粒子検出器により測定して得られた測定値と、前記検量線とを使用して、前記不揮発性不純物を定量する第2工程と、を有し、
前記標準物質は、当該標準物質濃度1mg/Lの溶液を前記荷電化粒子検出器により測定して得られたスペクトル中のピークの高さ(H)と幅(W)の比(H/W)が3以上となる物質であることを特徴とする不揮発性不純物の定量方法。
続きを表示(約 160 文字)【請求項2】
前記試料液の溶媒は、水、イソプロピルアルコール(IPA)、メタノール(MeOH)、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)からなる群から選択される少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性不純物の定量方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、不揮発性不純物の定量方法の技術に関する。
続きを表示(約 1,300 文字)【背景技術】
【0002】
水や有機溶媒等の液中の不純物分析において、金属の分析にはICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析)が用いられ、有機物の分析にはGC(ガスクロマトグラフィー)が用いられるのが一般的である。また、不揮発性有機物等の不揮発性不純物の分析には、LC(液体クロマトグラフィー)が用いられる場合があるが、不揮発性不純物の種類によって感度が異なるため、不揮発性不純物を定量することは困難である。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【0003】
クロマトグラフ科学会学術誌CHROMATOGRAPHY, Vol.32 No.3 161-170頁、2011年
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
そこで、本開示の目的は、液中の不揮発性不純物の定量を可能とすることである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示の一態様である不揮発性不純物の定量方法は、標準物質の濃度が既知である標準液を荷電化粒子検出器により測定して得られた測定値に基づいて、検量線を作成する第1工程と、不揮発性不純物を含む試料液を前記荷電化粒子検出器により測定して得られた測定値と、前記検量線とを使用して、前記不揮発性不純物を定量する第2工程と、を有し、前記標準物質は、当該標準物質濃度1mg/Lの溶液を前記荷電化粒子検出器により測定して得られたスペクトル中のピークの高さ(H)と幅(W)の比(H/W)が3以上となる物質であることを特徴とする。
【0006】
前記不揮発性不純物の定量方法において、前記試料液の溶媒は、水、イソプロピルアルコール(IPA)、メタノール(MeOH)、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)からなる群から選択される少なくとも1つを含むことが好ましい。
【発明の効果】
【0007】
本開示によれば、液中の不揮発性不純物を定量することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
荷電化粒子検出器の構成を示すブロック図である。
標準物質を含む標準液を荷電化粒子検出器により測定して得られたスペクトルの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
本開示の実施形態について以下説明する。本実施形態は一例であって、本開示は本実施形態に限定されるものではない。
【0010】
本実施形態における不揮発性不純物の定量方法は、標準物質の濃度が既知である標準液を荷電化粒子検出器(Charged Aerosol Detector)により測定して得られた測定値に基づいて、検量線を作成する第1工程と、不揮発性不純物を含む試料液を前記荷電化粒子検出器により測定して得られた測定値と、前記検量線とを使用して、前記不揮発性不純物を定量する第2工程と、を有する。
(【0011】以降は省略されています)

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