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公開番号2025086788
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-09
出願番号2023201074
出願日2023-11-28
発明の名称フッ化水素酸含有水の処理装置、及びフッ化水素酸含有水の処理方法
出願人オルガノ株式会社
代理人弁理士法人YKI国際特許事務所
主分類B01D 39/06 20060101AFI20250602BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】フッ化水素酸含有水を処理する際、ろ材の溶解によるろ材の減少を抑え、装置を安定的に運転できるフッ化水素酸含有水の処理装置を提供する。
【解決手段】pH4未満のフッ化水素酸含有水の処理装置1であって、ろ材が充填されたろ過装置12と、ろ過装置12の後段に配置され、イオン交換体が充填された脱イオン装置16と、を有し、前記ろ材は、ケイ素の成分比率が90質量%以上であるろ過砂を含むことを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ｐＨ４未満のフッ化水素酸含有水の処理装置であって、
ろ材が充填されたろ過装置と、前記ろ過装置の後段に配置され、イオン交換体が充填された脱イオン装置と、を有し、
前記ろ材は、ケイ素の成分比率が９０質量％以上であるろ過砂を含むことを特徴とするフッ化水素酸含有水の処理装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記ろ過砂のアルミニウムの成分比率が２質量％以下であることを特徴とする請求項１に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項３】
前記ろ過装置には前記ろ材を支持する支持体が設けられ、
前記支持体は、ケイ素の成分比率が９０質量％以上であり、アルミニウムの成分比率が２質量％以下であり、有効径が２～６ｍｍの砂利であることを特徴とする請求項１又は２に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項４】
前記ろ材は、前記ろ過砂と炭素系ろ材の組合せから構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項５】
前記ろ材は、前記ろ過砂と合成樹脂製ろ材との組み合わせから構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項６】
前記フッ化水素酸含有水は半導体工場の除害設備の排水であって、前記排水のフッ素濃度が１００ｍｇ／Ｌ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のフッ化水素酸含有水の処理装置。
【請求項７】
ｐＨ４未満のフッ化水素酸含有水の処理方法であって、
ろ材が充填されたろ過装置に前記フッ化水素酸含有水を通水して、ろ過水を得るろ過工程と、
イオン交換体が充填された脱イオン装置に前記ろ過水を通水して、イオン交換処理水を得る脱イオン工程と、を有し、
前記ろ材は、ケイ素の成分比率が９０質量％以上であるろ過砂を含むことを特徴とするフッ化水素酸含有水の処理方法。
【請求項８】
前記ろ過砂のアルミニウムの成分比率が２質量％以下であることを特徴とする請求項７に記載のフッ化水素酸含有水の処理方法。
【請求項９】
前記ろ過装置には、前記ろ材を支持する支持体が設けられ、
前記支持体は、ケイ素の成分比率が９０質量％以上であり、アルミニウムの成分比率が２質量％以下であり、有効径が２～６ｍｍの砂利であることを特徴とする請求項７又は８に記載のフッ化水素酸含有水の処理方法。
【請求項１０】
前記ろ材は、前記ろ過砂と炭素系ろ材の組合せから構成されることを特徴とする請求項７又は８に記載のフッ化水素酸含有水の処理方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ化水素酸含有水の処理装置、及びフッ化水素酸含有水の処理方法の技術に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、各産業において生産拠点での取水量および排水量を低減するため、排水から水回収を行って水を再利用するケースが増えている。この水回収を行う水処理システムは原水水質に応じて様々であるが、例えば凝集沈殿、除濁膜、砂ろ過などの濁質除去工程の後、ＲＯ膜やイオン交換などの脱イオン工程を行うことが一般的である。
【０００３】
例えば半導体工場においては、ＨＦガス成分をスクラバーで処理したフッ化水素酸含有排水（例えば、除害系設備の排水：除害系排水）が排出されるが、このようなフッ化水素酸を含む水から水回収を行う場合、フッ化水素酸によって、各材料が溶解されることが問題となる。なお、半導体工場においては、高い水回収率が求められる場合が多いため、脱イオン工程をＲＯ膜でなくイオン交換体により行うことも多い。
【０００４】
例えば、特許文献１には、フッ素含有排水から水回収を晶析＋砂ろ過＋イオン交換樹脂で行うフローが開示されている。なお、晶析は、晶析槽内のｐＨを４～１０の範囲に調整し、フッ化水素酸をフッ化物イオンとする中性域で行われている。
【０００５】
水回収を行う際、ろ材として主成分がＳｉＯ
２
であるろ過砂と炭素系のアンスラサイトを用いた２層ろ過を適用することが多いが、フッ化水素酸のまま通水すると、ろ過砂の部分がＨＦによってケイフッ化物イオンとなって溶解して消失するという課題がある。
【０００６】
また、ろ過砂から溶出したＳｉＯ
２
やＡｌ等の成分が、後段の処理に影響を与えるという課題もある。具体的には、イオン交換樹脂への負荷量が増大するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００１－９６２８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明の目的は、フッ化水素酸含有水を処理する際、ろ材の溶解によるろ材の減少を抑え、装置を安定的に運転できるフッ化水素酸含有水の処理装置及び処理方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本実施形態は、ｐＨ４未満のフッ化水素酸含有水の処理装置であって、ろ材が充填されたろ過装置と、前記ろ過装置の後段に配置され、イオン交換体が充填された脱イオン装置と、を有し、前記ろ材は、ケイ素の成分比率が９０質量％以上であるろ過砂を含むことを特徴とする。
【００１０】
また、前記フッ化水素酸含有水の処理装置において、前記ろ過砂のアルミニウムの成分比率は２質量％以下であることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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