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公開番号2025092976
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-23
出願番号2023208430
出願日2023-12-11
発明の名称異物除去装置、異物除去方法およびプログラム
出願人株式会社PFA
代理人個人
主分類B08B 11/00 20060101AFI20250616BHJP(清掃)
要約【課題】より簡単な構成で、より簡単に、異物を除去できるようにする。
【解決手段】異物除去装置は、所定の長さの棒の端部の少なくとも一方に粘着材を付けてなる異物除去材を用いて、対象物の表面に付着している異物を除去する。異物除去装置は、異物除去材が載置されたトレイを搬送する第1の搬送手段と、異物除去材を側面から挟み込んで異物除去材を挟持してトレイから取り出す挟持手段と、トレイ内の異物除去材を側面から挟み込める第1の角度位置、または挟持している異物除去材の粘着材を所定の除去方向に向ける第2の角度位置のいずれか一方に、挟持手段の角度位置を変位させる角度位置変位手段と、第2の角度位置にある挟持手段に挟持されている異物除去材の除去方向側に対象物を搬送する第2の搬送手段とを備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
所定の長さの棒の端部の少なくとも一方に粘着材を付けてなる異物除去材を用いて、対象物の表面に付着している異物を除去する異物除去装置において、
前記異物除去材が載置されたトレイを搬送する第１の搬送手段と、
前記異物除去材を側面から挟み込んで前記異物除去材を挟持してトレイから取り出す挟持手段と、
前記トレイ内の前記異物除去材を側面から挟み込める第１の角度位置、または挟持している前記異物除去材の前記粘着材を所定の除去方向に向ける第２の角度位置のいずれか一方に、前記挟持手段の角度位置を変位させる角度位置変位手段と、
前記第２の角度位置にある前記挟持手段に挟持されている前記異物除去材の前記除去方向側に前記対象物を搬送する第２の搬送手段と
を備える異物除去装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記第１の搬送手段は、前記異物除去材の長手方向に交差する向きに所定の間隔で並べられていた前記トレイを、前記異物除去材の長手方向に交差する向きに搬送する
異物除去装置。
【請求項３】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記挟持手段は、対向する部材で前記棒の側面を挟み込んで前記異物除去材を挟持する
異物除去装置。
【請求項４】
請求項３に記載の異物除去装置において、
前記挟持手段は、対向する２対の前記部材で前記棒の側面を挟み込む
異物除去装置。
【請求項５】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記第１の搬送手段は、上側が開いている容器を、前記第１の角度位置にある前記挟持手段の下側に搬送し、
前記挟持手段は、前記第１の角度位置において、挟持している前記異物除去材を前記容器の上側で放す
異物除去装置。
【請求項６】
請求項１に記載の異物除去装置において、
第２の搬送手段は、前記対象物を変位させて、前記第２の角度位置にある前記挟持手段に挟持されている前記異物除去材の前記粘着材に前記対象物を接触させる
異物除去装置。
【請求項７】
請求項１に記載の異物除去装置において、
前記第１の角度位置にある前記挟持手段に挟持されている前記異物除去材の前記粘着材を撮像する第１の撮像手段と、
前記第２の角度位置にある前記挟持手段に挟持されている前記異物除去材の前記粘着材を撮像する第２の撮像手段と、
前記第１の撮像手段で撮像された画像および前記第２の撮像手段で撮像された画像から、前記異物除去材の前記粘着材の位置を認識する第１の認識手段と
をさらに備える異物除去装置。
【請求項８】
請求項７に記載の異物除去装置において、
前記第２の搬送手段で搬送されている前記対象物を撮像する第３の撮像手段と、
前記第３の撮像手段で撮像された画像から、前記対象物の表面に付着している異物の位置を認識する第２の認識手段と
をさらに備える異物除去装置。
【請求項９】
請求項８に記載の異物除去装置において、
前記第１の認識手段で認識された前記粘着材の位置で、前記第２の認識手段で認識された前記対象物の表面に付着している異物の位置を補正する補正手段をさらに備える異物除去装置。
【請求項１０】
請求項７に記載の異物除去装置において、
前記第２の搬送手段で搬送されている前記対象物の上面の位置を検出する検出手段をさらに備える異物除去装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は異物除去装置、異物除去方法およびプログラムに関し、特に、対象物の表面に付着している異物を除去する異物除去装置、異物除去方法およびプログラムに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
カメラなどに使用されるイメージセンサや、レンズやガラスフィルタ等の光学製品は異物が付着していると製品不良となる。そのため、顕微鏡を通して目視で確認し、異物が付着している場合、エラストマー等の半固形の粘着材が付いた棒（以下、異物除去スティックと称する。）で、異物を粘着材側に転写することで異物除去する方法が一般的に行われている。
【０００３】
また、異物除去スティックによる異物の除去を自動機で行う場合もある。高解像度カメラを用いた画像検査装置で異物を検出し、異物のある場所に異物除去スティックを自動で押し当てて、異物を除去する装置が知られている。
【０００４】
しかしながら、この方式の場合、スティックの下面側で異物を吸着させるため、数回使うと異物除去効果が落ちるので、頻繁に異物除去スティックを交換する必要がある。異物除去スティックの角度を変えて除去する方法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、交換用スティック待機ステーションや、スティック交換の機構も複雑である。
【０００６】
さらに、異物除去スティックを用いる場合、人手で、１本ずつ、異物除去スティックの棒の部分（以下、スティックと称する。）の端部に、ツールグリッパで把持するためのホルダを装着して、交換用スティック待機ステーションに挿入しなければならなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
米国特許第１１４０００４９５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このように、交換用スティック待機ステーションや、スティック交換の機構も複雑であり、また、ホルダの装着や、交換用スティック待機ステーションへの挿入など面倒な作業が必要であった。
【０００９】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、より簡単な構成で、より簡単に、異物を除去できるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面の異物除去装置は、所定の長さの棒の端部の少なくとも一方に粘着材を付けてなる異物除去材を用いて、対象物の表面に付着している異物を除去する異物除去装置であって、異物除去材が載置されたトレイを搬送する第１の搬送手段と、異物除去材を側面から挟み込んで異物除去材を挟持してトレイから取り出す挟持手段と、トレイ内の異物除去材を側面から挟み込める第１の角度位置、または挟持している異物除去材の粘着材を所定の除去方向に向ける第２の角度位置のいずれか一方に、挟持手段の角度位置を変位させる角度位置変位手段と、第２の角度位置にある挟持手段に挟持されている異物除去材の除去方向側に対象物を搬送する第２の搬送手段とを備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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