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公開番号2025103814
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023221462
出願日2023-12-27
発明の名称接合装置、および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H01L 21/52 20060101AFI20250702BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】接合装置におけるパーティクルの発生を低減するために有利な技術を提供する。
【解決手段】第1部材を第2部材に接合する処理を行う接合装置は、前記処理において、前記第1部材に接触させるチャックを保持する第1保持部と、前記第1保持部への前記チャックの取り付け、および/または、前記第1保持部からの前記チャックの取り外しにおいて、前記チャックを保持する第2保持部と、前記第1保持部と前記チャックとの間に働く第1引力と、前記第2保持部と前記チャックとの間に働く第2引力とのバランスを制御する制御部と、を備える。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
第１部材を第２部材に接合する処理を行う接合装置であって、
前記処理において、前記第１部材に接触させるチャックを保持する第１保持部と、
前記第１保持部への前記チャックの取り付け、および／または、前記第１保持部からの前記チャックの取り外しにおいて、前記チャックを保持する第２保持部と、
前記第１保持部と前記チャックとの間に働く第１引力と、前記第２保持部と前記チャックとの間に働く第２引力とのバランスを制御する制御部と、
を備えることを特徴とする接合装置。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記取り付けにおいて前記第１引力を前記第２引力よりも大きくし、前記取り外しにおいて前記第２引力を前記第１引力よりも大きくするように、前記バランスを制御する、ことを特徴とする請求項１に記載の接合装置。
【請求項３】
前記第１保持部および前記チャックの少なくとも一方には、前記チャックと前記第１保持部とを互いに引き付ける力を発生する第１永久磁石が設けられている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の接合装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第１引力を変更することにより前記バランスを制御する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の接合装置。
【請求項５】
前記第１保持部は、前記チャックを引き付ける負圧を発生する第１負圧発生部を含み、
前記制御部は、前記第１負圧発生部に発生させる負圧を変更することにより前記第１引力を変更する、ことを特徴とする請求項４に記載の接合装置。
【請求項６】
前記第１保持部は、前記チャックを引き付ける磁力を発生する第１電磁石を含み、
前記制御部は、前記第１電磁石に発生させる磁力を変更することにより前記第１引力を変更する、ことを特徴とする請求項４に記載の接合装置。
【請求項７】
前記第２保持部は、前記チャックを引き付けるための第２永久磁石を有する、ことを特徴とする請求項４に記載の接合装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記第２引力を変更することにより前記バランスを制御する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の接合装置。
【請求項９】
前記第２保持部は、前記チャックを引き付ける負圧を発生する第２負圧発生部を含み、
前記制御部は、前記第２負圧発生部に発生させる負圧を変更することにより前記第２引力を変更する、ことを特徴とする請求項８に記載の接合装置。
【請求項１０】
前記第２保持部は、前記チャックを引き付ける磁力を発生する第２電磁石を含み、
前記制御部は、前記第２電磁石に発生させる磁力を変更することにより前記第２引力を変更する、ことを特徴とする請求項８に記載の接合装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合装置、および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス等を製造する半導体製造装置として、接合物であるダイを、被接合物である基板上に接合する接合装置が知られている。例えば、接合装置では、ダイシングテープ上に配置されている複数のダイから１つのダイをピックアップする工程と、ピックアップされたダイを搬送する工程と、搬送されたダイを基板上に接合する工程とが行われる。これらの工程においてダイを保持するヘッドの先端には、ダイに接触させる治具が設けられる。当該治具は、コレットチャックと呼ばれることがあり、以下では単にコレットと表記することがある。
【０００３】
コレットは、着脱自在にヘッドに設けられており、ダイの品種（例えばサイズ）に応じて交換されることもあれば、コレットの破損や汚染などの理由で交換されることもある。そのため、接合装置には、ヘッドへのコレットの取り付けおよび取り外しを行うための機構が設けられうる。特許文献１には、爪構造を有する開閉アームでコレットを把持して、ヘッド（コレットホルダ）へのコレットの取り付け、および、ヘッドからのコレットの取り外しを行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－２０６８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されている技術では、爪構造を有する開閉アームでコレットを把持する際に開閉アームがコレットと摺動するため、コレットの取り付けや取り外しを行うたびにパーティクルが発生しうる。このようなパーティクルがコレットに付着してしまうと、パーティクルの影響でダイが傾いてコレットにより保持されるなど、ダイを高精度に基板上に接合することが困難になりうる。そのため、コレットの取り付けや取り外しにおけるパーティクルの発生を低減する技術が望まれる。
【０００６】
そこで、本発明は、接合装置におけるパーティクルの発生を低減するために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての接合装置は、第１部材を第２部材に接合する処理を行う接合装置であって、前記処理において、前記第１部材に接触させるチャックを保持する第１保持部と、前記第１保持部への前記チャックの取り付け、および／または、前記第１保持部からの前記チャックの取り外しにおいて、前記チャックを保持する第２保持部と、前記第１保持部と前記チャックとの間に働く第１引力と、前記第２保持部と前記チャックとの間に働く第２引力とのバランスを制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、接合装置におけるパーティクルの発生を低減するために有利な技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
接合装置の構成例を示す図
ピックアップヘッドの構成例を示す図
コレット交換部の構成例を示す図
コレット、コレットホルダ、交換ホルダの具体的な構成の代表例を示す図
取外処理の具体例を示す図
取外処理を示すフローチャート
取付処理を示すフローチャート
実施例１のコレット、コレットホルダ、交換ホルダの構成例を示す図
実施例２のコレット、コレットホルダ、交換ホルダの構成例を示す図
実施例３のコレット、コレットホルダ、交換ホルダの構成例を示す図
実施例４のコレット、コレットホルダ、交換ホルダの構成例を示す図
実施例５のコレット、コレットホルダ、交換ホルダの構成例を示す図
実施例６のコレット、コレットホルダ、交換ホルダの構成例を示す図
変形例１のコレット、コレットホルダ、交換ホルダの構成例を示す図
変形例２のコレット、コレットホルダ、交換ホルダの構成例を示す図
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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