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公開番号2025104438
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-10
出願番号2023222247
出願日2023-12-28
発明の名称エッチング用金属体、エッチング用金属体の外観検査方法
出願人TOPPANホールディングス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01N 21/892 20060101AFI20250703BHJP(測定;試験)
要約【課題】平坦性に優れるエッチング用金属体及びエッチング用金属体の平坦性を簡便に解析できるエッチング用金属体の外観検査方法の提供。
【解決手段】エッチング用金属体の表面における平坦部の輝度と凹凸部の輝度との差が60未満、輝度は下記の外観検査方法で測定されるエッチング用金属体。
(外観検査方法)
エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記表面における平坦部の輝度が100となるように白色照明光の照度を調整し、エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し白色照明光の反射光を得た状態で、エッチング用金属体の表面の画像データを検査部で取得し、画像データからエッチング用金属体の表面における平坦部と凹凸部にわたってエッチング用金属体の表面の輝度のプロファイルを取得して、平坦部の輝度のピークと凹凸部の輝度のピークを抽出し平坦部の輝度と凹凸部の輝度差(平坦部の輝度-凹凸部の輝度)を算出する。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
エッチングパターン形成用に用いられるエッチング用金属体であって、
前記エッチング用金属体の表面における平坦部の輝度と凹凸部の輝度との差が６０未満であり、
前記輝度は、下記のエッチング用金属体の外観検査方法で測定される、エッチング用金属体。
（エッチング用金属体の外観検査方法）
エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記エッチング用金属体の表面における平坦部の輝度が１００となるように、前記白色照明光の照度を調整し、前記エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記エッチング用金属体の表面で反射した前記白色照明光の反射光を得た状態で、前記エッチング用金属体の表面の画像データを検査部で取得し、前記画像データから、前記エッチング用金属体の表面における前記平坦部と前記凹凸部にわたって、前記エッチング用金属体の表面の輝度のプロファイルを取得して、前記平坦部の輝度のピークと前記凹凸部の輝度のピークを抽出し、前記平坦部の輝度と前記凹凸部の輝度差（平坦部の輝度－凹凸部の輝度）を算出する。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記エッチング用金属体の厚さが５μｍ以上５０μｍ以下である、請求項１に記載のエッチング用金属体。
【請求項３】
前記エッチング用金属体は鉄系金属である、請求項１に記載のエッチング用金属体。
【請求項４】
前記鉄系金属は、ステンレス合金製、鉄－ニッケル系合金製、または、鉄－ニッケル－コバルト系合金製である、請求項３に記載のエッチング用金属体。
【請求項５】
エッチングパターン形成用に用いられるエッチング用金属体の表面の外観検査方法であって、
エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記エッチング用金属体の表面における平坦部の輝度が１００となるように、前記白色照明光の照度を調整する工程と、
前記エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記エッチング用金属体の表面で反射した前記白色照明光の反射光を得た状態で、前記エッチング用金属体の表面の画像データを検査部で取得する工程と、
前記画像データから、前記エッチング用金属体の表面における平坦部と凹凸部にわたって、前記エッチング用金属体の表面の輝度のプロファイルを取得して、前記平坦部の輝度のピークと前記凹凸部の輝度のピークを抽出し、前記平坦部の輝度と前記凹凸部の輝度差（平坦部の輝度－凹凸部の輝度）を算出する工程と、を有する、エッチング用金属体の外観検査方法。
【請求項６】
前記エッチング用金属体を、前記検査部に対して時計回りに－４５°、０°、＋４５°の３方向に配置して、前記エッチング用金属体の表面の画像データを取得する、請求項５に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
【請求項７】
前記検査部を、前記エッチング用金属体に対して時計回りに－４５°、０°、＋４５°の３方向に配置して、前記エッチング用金属体の表面の画像データを取得する、請求項５に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
【請求項８】
前記エッチング用金属体の表面に対して入射する前記白色照明光の前記エッチング用金属体の鉛直面となす角度Ａ、および前記エッチング用金属体の表面から受光する前記反射光の前記エッチング用金属体の鉛直面となす角度Ｂが９０°未満である、請求項５に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
【請求項９】
前記角度Ａと前記角度Ｂが異なる、請求項８に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
【請求項１０】
前記角度Ａと前記角度Ｂの差が１°以上１０°以下である、請求項８に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチング用金属体、エッチング用金属体の外観検査方法に関する。
続きを表示（約 3,700 文字）【背景技術】
【０００２】
金属箔の製造工程や、金属箔を使用した生産ラインにおいて、金属箔の表面に凹凸が生じることをゼロにすることができない。特にフォトリソグラフィプロセスを行うレジスト形成工程において、ドライフィルムを用いた場合であっても、液体を用いた場合であっても、レジストが金属箔の表面の凹凸に追従しにくいことがある。レジストが金属箔の表面の凹凸に追従しない場合、金属箔をエッチングすると、金属箔に欠陥（目的とするエッチングが施されない箇所）が生じる。しかしながら、金属箔の表面の凹凸は、程度によって問題ない場合がある。凹凸の程度は、凹凸の高さや深さを厳密に計測することによって閾値を設けることができるものの、製造装置で凹凸の高さや深さを厳密に計測することは、製造に要する時間が長くなることから現実的ではない。また、金属箔を検査する場合、破壊検査が一般的であるため、測定対象の金属箔は製品としての形状を維持できない。
【０００３】
従来の金属箔等の金属エッチング用基材の表面に生じた凹凸（変形）の評価方法としては、例えば、第１の照明光のピーク波長と第２の照明光のピーク波長との波長差が５ｎｍ以上９０ｎｍ以下である測定装置により、金属体に第１の照明光および第２の照明光を少なくとも照射し、金属体からの照明光の反射光を互いに区別して測定し、測定装置による反射光の輝度値の測定結果に基づいて金属体の形状を検査するための情報を算出する演算処理装置により、第１の照明光の反射光の輝度値と、第２の照明光の反射光の輝度値との差分を用いて、情報として金属体の表面の傾きを算出する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６１１９９２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されている方法は、少なくとも２つの照明光を用いた検査方法であるため、解析が複雑になるという課題があった。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、平坦性に優れるエッチング用金属体、およびエッチング用金属体の平坦性を簡便に解析することができるエッチング用金属体の外観検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、本発明は、以下の態様を有する。
［１］エッチングパターン形成用に用いられるエッチング用金属体であって、
前記エッチング用金属体の表面における平坦部の輝度と凹凸部の輝度との差が６０未満であり、
前記輝度は、下記のエッチング用金属体の外観検査方法で測定される、エッチング用金属体。
（エッチング用金属体の外観検査方法）
エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記エッチング用金属体の表面における平坦部の輝度が１００となるように、前記白色照明光の照度を調整し、前記エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記エッチング用金属体の表面で反射した前記白色照明光の反射光を得た状態で、前記エッチング用金属体の表面の画像データを検査部で取得し、前記画像データから、前記エッチング用金属体の表面における前記平坦部と前記凹凸部にわたって、前記エッチング用金属体の表面の輝度のプロファイルを取得して、前記平坦部の輝度のピークと前記凹凸部の輝度のピークを抽出し、前記平坦部の輝度と前記凹凸部の輝度差（平坦部の輝度－凹凸部の輝度）を算出する。
［２］前記エッチング用金属体の厚さが５μｍ以上５０μｍ以下である、［１］に記載のエッチング用金属体。
［３］前記エッチング用金属体は鉄系金属である、［１］に記載のエッチング用金属体。
［４］前記鉄系金属は、ステンレス合金、鉄－ニッケル系合金、または、鉄－ニッケル－コバルト系合金である、［３］に記載のエッチング用金属体。
［５］エッチングパターン形成用に用いられるエッチング用金属体の表面の外観検査方法であって、
エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記エッチング用金属体の表面における平坦部の輝度が１００となるように、前記白色照明光の照度を調整する工程と、
前記エッチング用金属体の表面に対して白色照明光を照射し、前記エッチング用金属体の表面で反射した前記白色照明光の反射光を得た状態で、前記エッチング用金属体の表面の画像データを検査部で取得する工程と、
前記画像データから、前記エッチング用金属体の表面における平坦部と凹凸部にわたって、前記エッチング用金属体の表面の輝度のプロファイルを取得して、前記平坦部の輝度のピークと前記凹凸部の輝度のピークを抽出し、前記平坦部の輝度と前記凹凸部の輝度差（平坦部の輝度－凹凸部の輝度）を算出する工程と、を有する、エッチング用金属体の外観検査方法。
［６］前記エッチング用金属体を、前記検査部に対して時計回りに－４５°、０°、＋４５°の３方向に配置して、前記エッチング用金属体の表面の画像データを取得する、［５］に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
［７］前記検査部を、前記エッチング用金属体に対して時計回りに－４５°、０°、＋４５°の３方向に配置して、前記エッチング用金属体の表面の画像データを取得する、［５］に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
［８］前記エッチング用金属体の表面に対して入射する前記白色照明光の前記エッチング用金属体の鉛直面となす角度Ａ、および前記エッチング用金属体の表面から受光する前記反射光の前記エッチング用金属体の鉛直面となす角度Ｂが９０°未満である、［５］に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
［９］前記角度Ａと前記角度Ｂが異なる、［８］に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
［１０］前記角度Ａと前記角度Ｂの差が１°以上１０°以下である、［８］に記載のエッチング用金属体の外観検査方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、平坦性に優れるエッチング用金属体、およびエッチング用金属体の平坦性を簡便に解析することができるエッチング用金属体の外観検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の一実施形態に係るエッチング用金属体の外観検査方法で用いられる外観検査装置を模式的に示す側面図である。
本発明の一実施形態に係るエッチング用金属体の外観検査方法で用いられる外観検査装置を模式的に示す上面図である。
本発明の一実施形態に係るシート状のエッチング用金属体の外観検査方法で用いられる外観検査装置を模式的に示し、検査部に対して搬送台が回転した状態を示す上面図である。
本発明の一実施形態に係るエッチング用金属体の外観検査方法で用いられる外観検査装置を模式的に示し、ステージを支持する支持部を拡大して示す側面図である。
本発明の一実施形態に係るエッチング用金属体の外観検査方法で用いられる外観検査装置を模式的に示し、ステージが第１位置に位置する状態の上面図である。
本発明の一実施形態に係るエッチング用金属体の外観検査方法で用いられる外観検査装置を模式的に示し、ステージが第２位置に位置する状態の上面図である。
実験例６において、外観検査装置を用いて、ステンレス板の表面を撮像し、ステンレス板の表面の画像データを取得した結果を示す図である。
実験例７において、ラインカメラでステンレス板の表面を撮像した画像データである。
実験例７において、ステンレス板における輝度差（平坦部の輝度－凹凸部の輝度）を算出した結果を示す図である。
実験例７において、ベース部を基準としたステンレス板の表面の変位量と輝度差の関係を示す図である。
実験例８において、エッチング後のメタルマスクの小開口を株式会社ミツトヨ製ＱＶ－ＡＣＣＥＬ８０８によって撮影した画像である。
実験例８において、エッチング後のメタルマスクの小開口を株式会社ミツトヨ製ＱＶ－ＡＣＣＥＬ８０８によって撮影した画像である。
実験例８において、エッチング後のメタルマスクの小開口を株式会社ミツトヨ製ＱＶ－ＡＣＣＥＬ８０８によって撮影した画像である。
実験例８において、エッチング後のメタルマスクの小開口を株式会社ミツトヨ製ＱＶ－ＡＣＣＥＬ８０８によって撮影した画像である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［エッチング用金属体］
本発明の一実施形態に係るエッチング用金属体ついて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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