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公開番号2025106913
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-17
出願番号2024000513
出願日2024-01-05
発明の名称排ガスの処理装置
出願人クリーン・テクノロジー株式会社
代理人個人,個人
主分類B01D 53/70 20060101AFI20250710BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】排ガスに含まれる窒素酸化物の除害効率を高めることができるようにした排ガスの処理装置を提供すること。
【解決手段】加熱装置1に排ガスを旋回流として導入する排ガス導入部6を備えるとともに、排ガス導入部6に導入した排ガスに対して、気体と液体を混合した状態で噴霧するノズル7を設けるようにする。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
排ガスを導入して加熱分解処理する加熱装置を備えた排ガスの処理装置において、前記加熱装置に排ガスを旋回流として導入する排ガス導入部を備えるとともに、該排ガス導入部に導入した排ガスに対して、気体と液体を混合した状態で噴霧するノズルを設けるようにしたことを特徴とする排ガスの処理装置。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
前記気体が、窒素ガス、空気、ＣＤＡ、アルゴンガス、アンモニア、メタンの一種又は二種以上からなることを特徴とする請求項１に記載の排ガスの処理装置。
【請求項３】
前記液体が、水、食塩水、墨汁、尿素水、アルカリ性液体、酸性液体、アルコールの一種又は二種以上からなることを特徴とする請求項１に記載の排ガスの処理装置。
【請求項４】
前記噴霧を、旋回流の上方から噴霧するようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の排ガスの処理装置。
【請求項５】
前記噴霧を、旋回流の流動方向に沿って噴霧するようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の排ガスの処理装置。
【請求項６】
前記噴霧を、旋回流の流動方向に対向して噴霧するようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の排ガスの処理装置。
【請求項７】
前記排ガスと熱交換することで予熱した液体を、ノズルに供給するようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の排ガスの処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、排ガスの処理装置に関し、特に、排ガスに含まれる窒素酸化物の除害効率を高めることができるようにした排ガスの処理装置に関するものである。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
ＰＦＣ（perfluoro-compound、パーフルオロ化合物）ガスは、ＣＦ
４
、Ｃ
２
Ｆ
６
、Ｃ
３
Ｆ
８
、ＳＦ
６
、ＮＦ
３
等の総称であり、ＰＦＣガスは、半導体エッチング用ガスや半導体用ＣＶＤ装置のクリーニング用ガス、絶縁ガス等に使用されている。
このＰＦＣガスは、地球温暖化ガスであり、大気放出の規制対象になっているため、種々の分解方法が検討されており、例えば、ヒータによって加熱分解処理した後、水で洗浄処理する処理方法及び処理装置が提案されている。
【０００３】
ところで、ＰＦＣガスを熱分解にて処理する場合、Ｆ
２
等の腐食性ガスが発生する。このため、ヒータ式の熱分解ではヒータの炉心管等の配管の腐食が大きな問題となり、従来では、炉心管等の配管に耐食性に富んだ金属や高純度セラミックスを用いる必要があり、処理装置が高価になるという問題があった。
【０００４】
この問題に対処するため、本件出願人は、先に、フッ素化合物を含有する排ガスを導入して加熱分解処理する加熱装置を備え、この加熱装置に排ガスを旋回流として導入する排ガス導入部を備えるとともに、旋回流の中心位置に水蒸気発生機構を設けたフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置を提案した（特許文献１参照。）。
【０００５】
特許文献１に開示されたフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置は、フッ素化合物を含有する排ガスの腐食性を弱めるとともに、排ガスが流通する配管を加熱水蒸気により生成される酸化皮膜により保護することにより、排ガスが流通する配管の腐食を大幅に抑制することができ、従来のＰＦＣガス等のフッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び処理装置が有する問題点を解消できるものであった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００５－１５２８５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、この種の排ガスには、Ｎ
２
Ｏ（窒素酸化物）が含まれることがあるが、特許文献１に開示されたフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置によっては、窒素酸化物の除害効率が低いという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記従来のフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置が有する問題点に鑑み、フッ素化合物を含有する排ガスの腐食性を弱めるとともに、排ガスが流通する配管を加熱水蒸気により生成される酸化皮膜により保護することにより、排ガスが流通する配管の腐食を大幅に抑制することができる特許文献１に開示されたフッ素化合物を含有する排ガスの処理装置の利点を享有しながら、排ガスに含まれる窒素酸化物の除害効率を高めることができるようにした排ガスの処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の排ガスの処理装置は、排ガスを導入して加熱分解処
理する加熱装置を備えた排ガスの処理装置において、前記加熱装置に排ガスを旋回流として導入する排ガス導入部を備えるとともに、該排ガス導入部に導入した排ガスに対して、気体と液体を混合した状態で噴霧するノズルを設けるようにしたことを特徴とする。
【００１０】
この場合において、前記気体が、窒素ガス、空気、ＣＤＡ、アルゴンガス、アンモニア、メタンの一種又は二種以上から選択することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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