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公開番号2025114772
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-05
出願番号2025079707,2022545709
出願日2025-05-12,2021-08-26
発明の名称SmCo系磁石の製造方法
出願人TDK株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01F 41/26 20060101AFI20250729BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】表面磁束密度の高い磁石、並びにそれを用いた小型デバイス、マイクロアクチュエータ及びセンサーを提供すること。
【解決手段】Co基材、Co基材上のSm₂Co₁₇膜、及び、Sm₂Co₁₇膜上のSmCo₅膜を有するSmCo系磁石の製造方法であって、Sm源を含む浴中にCo基材を浸漬して反応拡散することで、Co基材と該Co基材上に形成されたSmCo₂膜とを有する積層体を得る反応拡散工程と、積層体を加熱することでCo基材及びSmCo₂膜を反応させ、Sm₂Co₁₇膜とSmCo₅膜とを形成する加熱工程と、を備える、SmCo系磁石の製造方法。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
Ｃｏ基材、前記Ｃｏ基材上のＳｍ
２
Ｃｏ
１７
膜、及び、前記Ｓｍ
２
Ｃｏ
１７
膜上のＳｍＣｏ
５
膜を有するＳｍＣｏ系磁石の製造方法であって、
Ｓｍ源を含む浴中にＣｏ基材を浸漬して反応拡散することで、Ｃｏ基材と該Ｃｏ基材上に形成されたＳｍＣｏ
２
膜とを有する積層体を得る反応拡散工程と、
前記積層体を加熱することで前記Ｃｏ基材及び前記ＳｍＣｏ
２
膜を反応させ、前記Ｓｍ
２
Ｃｏ
１７
膜と前記ＳｍＣｏ
５
膜とを形成する加熱工程と、
を備える、ＳｍＣｏ系磁石の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、磁石、並びにそれを用いた小型デバイス、マイクロアクチュエータ及びセンサーに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
各種電子機器の小型化が求められている中で、それらの機器に組み込まれるマイクロモータやマイクロアクチュエータ等の小型デバイスの開発が進められている。これらデバイスの大きさ及び性能は、デバイスに用いられる永久磁石の磁気特性に大きく影響される。
【０００３】
永久磁石として、高いエネルギー積を有する希土類金属間化合物の膜が注目されている。中でも、ＳｍＣｏ系磁石膜は、キュリー点が高いために磁気特性の熱安定性が求められる用途や、耐候性が高いために信頼性が求められる用途において、多くの需要がある。
【０００４】
例えば特許文献１には、膜面に対して垂直方向に磁化容易軸が配向した垂直磁気異方性を有する薄膜であってＣｕ又はＣｕ合金からなる下地上に形成され、Ｓｍ及びＣｏを含む合金からなることを特徴とするＳｍ－Ｃｏ合金系垂直磁気異方性薄膜が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第４６１４０４６号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、小型デバイスに用いられる永久磁石膜は、高い表面磁束密度が求められる。しかし、上記特許文献１に開示のＳｍ－Ｃｏ合金系垂直磁気異方性薄膜は、表面磁束密度の点で改善の余地がある。
【０００７】
本開示は、上記課題に鑑みてなされたものであり、表面磁束密度の高いＳｍＣｏ系磁石膜を提供することを目的とする。本開示は、表面磁束密度の高い磁石、並びにそれを用いた小型デバイス、マイクロアクチュエータ及びセンサーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面に係る磁石は、軟磁性材料を含むヨーク部と、ヨーク部の主面上に形成された硬磁性材料を含む磁石部と、を備え、磁石部とヨーク部との界面が凹凸形状である。
【０００９】
本発明の一側面に係る磁石は、ヨーク部と磁石部とを備え、界面が凹凸形状であることで、凹部に対して凸部の磁束密度を大きくすることができる。そのため、このような磁石は、表面磁束密度が高い。
【００１０】
ここで、界面の凹凸形状の凹凸度は、１．０＜凹凸度＜２．０であってもよい。凹凸度が１．０を超えると、凹部に対して凸部の磁束密度を大きくすることができる。凹凸度が２．０未満であると、磁石を製造する熱処理工程において熱処理の温度を低く、時間を短くできる傾向にある。そのため、磁石部の分解を抑制でき、磁束密度が一層向上する。
（【００１１】以降は省略されています）

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